技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提供一種提高晶圓洗邊精度的裝置，包括旋轉(zhuǎn)盤和邊膠清洗裝置，旋轉(zhuǎn)盤上卡設(shè)涂覆有光刻膠的晶圓，邊膠清洗裝置內(nèi)盛裝有洗邊溶液，邊膠清洗裝置還包括將洗邊溶液噴灑于晶圓的洗邊區(qū)域的噴嘴，該裝置還包括對(duì)洗邊區(qū)域?qū)挾冗M(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的監(jiān)測(cè)裝置，監(jiān)測(cè)裝置包括探測(cè)光發(fā)射器和探測(cè)光接收器，探測(cè)光發(fā)射器適于發(fā)射出探測(cè)光照射于晶圓的邊緣，探測(cè)光接收器適于接收晶圓的邊緣反射的光，并根據(jù)反射的光的能量判斷洗邊區(qū)域?qū)挾鹊淖兓?。本?shí)用新型提高晶圓洗邊精度的裝置可以對(duì)洗邊區(qū)域?qū)挾冗M(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，防止洗邊線的偏移；從而改善了晶圓剝落缺陷，提升了晶圓的良率。

技術(shù)研發(fā)人員：王艷蓉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中芯國(guó)際集成電路制造（北京）有限公司;中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司
文檔號(hào)碼：201720033202
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.11
技術(shù)公布日：2017.08.11