本實(shí)用新型涉及一種腔體零件清潔裝置,屬于半導(dǎo)體零部件機(jī)械制造加工技術(shù)領(lǐng)域,特別用于防止加工過程中顆粒殘留對半導(dǎo)體制程造成污染。

背景技術(shù)：

當(dāng)前腔體類工件中,部份零件在完成成品加工前,腔體內(nèi)已經(jīng)加工到位,通過焊接或粘接等方式將腔體封住,只留下進(jìn)出口，因?yàn)樵诶^續(xù)的加工過程中,加工鐵屑或冷卻液中細(xì)小的顆粒通過零件的進(jìn)出口進(jìn)入已密封的腔體內(nèi)，在最終成品的腔體內(nèi)會(huì)造成PARTICLE(顆粒)的殘留，進(jìn)而導(dǎo)致在客戶端半導(dǎo)體制程污染，影響到晶元質(zhì)量，半導(dǎo)體制程對于零件的加工過程中的殘留和清潔要求非常嚴(yán)格,稍有不慎就會(huì)造成重大損失。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型為了克服現(xiàn)有技術(shù)中整體加工環(huán)境對密封腔體類零件造成的污染，提供了一種結(jié)構(gòu)簡單，成本低，通用性強(qiáng)的腔體零件清潔裝置。

本實(shí)用新型提供了一種基于冷卻液循環(huán)的腔體零件清潔裝置，包括冷卻液循環(huán)系統(tǒng)和密封板，通過若干密封板密封腔體零件的腔體并且只留有供冷卻液通過的進(jìn)口孔和出口孔，冷卻液循環(huán)系統(tǒng)的冷卻液輸出管連接腔體零件的進(jìn)口孔，腔體零件的腔體構(gòu)成冷卻液循環(huán)路徑的一部分,冷卻液循環(huán)系統(tǒng)中設(shè)有過濾裝置。

進(jìn)一步優(yōu)選，包括腔體零件固定裝置，所述腔體零件固定裝置由機(jī)臺(tái)、底板、固定板、壓板構(gòu)成，底板通過螺栓固定在機(jī)臺(tái)上，固定板通過若干連接柱固定在底板上方，固定板上通過螺栓安裝若干壓板，壓板壓緊密封板并將腔體零件固定。通過腔體零件固定裝置可固定腔體零件，并密封通道，使腔體零件只留有冷卻液進(jìn)口孔和出口孔。

進(jìn)一步優(yōu)選，包括一個(gè)轉(zhuǎn)接頭，轉(zhuǎn)接頭固定在氣缸的推桿上，轉(zhuǎn)接頭的進(jìn)口連接冷卻液輸出管，轉(zhuǎn)接頭的出口連接腔體零件的進(jìn)口孔，所述氣缸通過氣缸固定板固定在固定板下方。

進(jìn)一步優(yōu)選，所述冷卻液循環(huán)系統(tǒng)包括冷卻液泵、冷卻液儲(chǔ)存槽，冷卻液泵的冷卻液輸出管連接腔體零件的進(jìn)口孔，腔體零件的出口孔下方設(shè)有冷卻液回收槽，冷卻液回收槽通過管路連接冷卻液儲(chǔ)存槽，冷卻液儲(chǔ)存槽連接冷卻液泵的冷卻液輸入管。通過該冷卻液循環(huán)系統(tǒng)使得冷卻液可循環(huán)利用。

進(jìn)一步優(yōu)選，所述冷卻液泵的冷卻液輸出管上安裝過濾裝置。過濾裝置雖然可安裝于冷卻液循環(huán)管路的其他位置，但是只有安裝在冷卻液泵的冷卻液輸出管上，才能最好的杜絕顆粒進(jìn)入腔體零件內(nèi)。

進(jìn)一步優(yōu)選，機(jī)臺(tái)設(shè)有若干倒T型槽，所述固定板均勻分布螺孔，底板開設(shè)多個(gè)孔。采用這樣的結(jié)構(gòu)，不但方便安裝腔體零件固定裝置，方便固定腔體工件，而且便于回收冷卻液。

本實(shí)用新型利用經(jīng)過過濾的冷卻液流經(jīng)腔體,從而避免加工中產(chǎn)生的各種雜質(zhì)顆粒等進(jìn)入腔體零件的腔體，并且就算腔體中有顆粒也可經(jīng)由冷卻液帶走，進(jìn)而降低顆粒污染的風(fēng)險(xiǎn)。

附圖說明

圖1是一種腔體零件示意圖。

圖2是本實(shí)用新型的基于冷卻液循環(huán)的腔體零件清潔裝置的示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖進(jìn)一步詳細(xì)闡明本實(shí)用新型。

如圖1所示的腔體零件，設(shè)有腔體，和腔體相通的孔。為了防止顆粒進(jìn)入腔體中，并清除腔體中的顆粒，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了如圖2所示的腔體零件清潔裝置，包括冷卻液循環(huán)系統(tǒng)、若干用于密封腔體的密封板5、腔體零件固定裝置，所述腔體零件固定裝置由機(jī)臺(tái)1、底板2、固定板3、若干壓板4構(gòu)成，機(jī)臺(tái)1設(shè)有若干倒T型槽，底板2通過螺栓固定在機(jī)臺(tái)1上，固定板3通過若干連接柱固定在底板2上方，固定板3上通過螺栓安裝若干壓板4，壓板4壓緊密封板5并將腔體零件固定。通過若干密封板5密封腔體零件的腔體并且只留有供冷卻液通過的進(jìn)口孔和出口孔，冷卻液循環(huán)系統(tǒng)的冷卻液輸出管連接腔體零件的進(jìn)口孔5，腔體零件的腔體構(gòu)成冷卻液循環(huán)路徑的一部分。通過冷卻液循環(huán)帶走腔體中的顆粒。

更具體的是，所述冷卻液循環(huán)系統(tǒng)包括冷卻液泵、冷卻液儲(chǔ)存槽，冷卻液泵的冷卻液輸出管連接腔體零件的進(jìn)口孔，腔體零件的出口孔下方設(shè)有冷卻液回收槽，冷卻液回收槽通過管路連接冷卻液儲(chǔ)存槽，冷卻液儲(chǔ)存槽連接冷卻液泵的冷卻液輸入管。

要使冷卻液可以清潔腔體，首先必須保證冷卻液清潔，因此所述冷卻液泵的冷卻液輸出管上安裝過濾裝置，通過過濾裝置凈化冷卻液，過濾裝置也可以安裝循環(huán)路徑的其他地方。

為了方便連接冷卻液輸出管，采用一個(gè)如圖2所示的轉(zhuǎn)接頭8，轉(zhuǎn)接頭8固定在氣缸6的推桿上，轉(zhuǎn)接頭8的進(jìn)口連接冷卻液泵的冷卻液輸出管，轉(zhuǎn)接頭8的出口連接腔體零件的進(jìn)口孔，所述氣缸6通過氣缸固定板7固定在固定板3下方，可以采用螺釘連接固定。

所述冷卻液循環(huán)系統(tǒng)采用數(shù)控機(jī)臺(tái)自身的冷卻液循環(huán)系統(tǒng),使腔體零件在加工過程中,腔體零件的腔體形成冷卻液循環(huán)的一部份。

特別的是，所述固定板3均勻分布螺孔，可便于安裝壓板，便于固定不同規(guī)格的腔體零件，并且經(jīng)過腔體工件的腔體流出的冷卻液可透過螺孔往下漏，底板2開設(shè)多個(gè)孔，便于冷卻液往下流，冷卻液依次透過固定板3、底板2，并匯集到機(jī)臺(tái)1的倒T型槽中，最終匯入冷卻液回收槽。倒T型槽既用于安裝底板2，又起到冷卻液回收的作用。

例如，圖1所示的腔體零件加工時(shí)，采用密封板5密封腔體，并采用若干壓板4固定在固定板5上，使用塑料軟管冷卻液循環(huán)系統(tǒng)的冷卻液輸出口和轉(zhuǎn)接頭8，通過氣缸6的行程調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)接頭8與腔體零件的進(jìn)口孔的接觸面，安裝好后,啟動(dòng)冷卻液泵,冷卻液被輸出,通過過濾網(wǎng)凈化后流到轉(zhuǎn)接頭8,再經(jīng)過轉(zhuǎn)接頭8轉(zhuǎn)換流經(jīng)腔體拐角孔進(jìn)入零件的腔體,再從腔體中一排小孔流出回流到冷卻回收槽、冷卻液儲(chǔ)存槽，循環(huán)完成.這樣在加工零件表面,特別在加工零件一排孔處,從小孔中有冷卻液流出,加工中產(chǎn)生的屑隨冷卻液流走,不會(huì)通過小孔進(jìn)入到零件的腔體中。使用此實(shí)用新型技術(shù)后,在腔體內(nèi)沒有再檢測到雜質(zhì)和顆粒等殘留.不僅保證了零件的加工質(zhì)量,還保證了零件的使用質(zhì)量。