技術(shù)編號(hào)：11561858
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種腔體零件清潔裝置,屬于半導(dǎo)體零部件機(jī)械制造加工技術(shù)領(lǐng)域,特別用于防止加工過程中顆粒殘留對(duì)半導(dǎo)體制程造成污染。背景技術(shù)當(dāng)前腔體類工件中,部份零件在完成成品加工前,腔體內(nèi)已經(jīng)加工到位,通過焊接或粘接等方式將腔體封住,只留下進(jìn)出口，因?yàn)樵诶^續(xù)的加工過程中,加工鐵屑或冷卻液中細(xì)小的顆粒通過零件的進(jìn)出口進(jìn)入已密封的腔體內(nèi)，在最終成品的腔體內(nèi)會(huì)造成PARTICLE(顆粒)的殘留，進(jìn)而導(dǎo)致在客戶端半導(dǎo)體制程污染，影響到晶元質(zhì)量，半導(dǎo)體制程對(duì)于零件的加工過程中的殘留和清潔要求非常嚴(yán)格,稍有不慎...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。