技術(shù)特征:
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及液晶顯示裝置、EL顯示裝置以及其制造方法。本發(fā)明的課題是不增加在具有晶體管的顯示裝置的制造工序中使用的光掩模個(gè)數(shù)而提高晶體管的可靠性。在該晶體管中,省略用來(lái)形成島狀半導(dǎo)體層的光刻工序及蝕刻工序,不增加光掩模個(gè)數(shù)而制造島狀半導(dǎo)體層。具體地說(shuō),通過(guò)形成柵電極的工序、形成用來(lái)減少蝕刻工序等所造成的損傷的保護(hù)層的工序、形成源電極及漏電極的工序、形成接觸孔的工序、形成像素電極的工序的五個(gè)光刻工序制造液晶顯示裝置。并且本發(fā)明的一個(gè)方式的液晶顯示裝置具有在形成接觸孔的工序同時(shí)形成且用來(lái)斷開(kāi)半導(dǎo)體層的溝槽部分。
技術(shù)研發(fā)人員:山崎舜平;小山潤(rùn)
受保護(hù)的技術(shù)使用者:株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所
技術(shù)研發(fā)日:2012.11.07
技術(shù)公布日:2017.07.21