技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種集成電路制造方法，包括：接收具有兩個(gè)鄰接區(qū)塊的一目標(biāo)集成電路設(shè)計(jì)布局，兩個(gè)鄰接區(qū)塊中的每一個(gè)具有根據(jù)一圖案間距間隔開的目標(biāo)圖案，兩個(gè)鄰接區(qū)塊具有不同的圖案間距；于目標(biāo)圖案之間的間隔中填充芯軸圖案化候選區(qū)；以一第一顏色以及一第二顏色著色芯軸圖案化候選區(qū)，包括：將芯軸圖案化候選區(qū)中的第一個(gè)著上第一顏色；以及將任意兩個(gè)相鄰的芯軸圖案化候選區(qū)著上不同顏色；移除以第二顏色著色的芯軸圖案化候選區(qū)；以及輸出用于掩模制造的計(jì)算機(jī)可讀取格式的一芯軸圖案，芯軸圖案包括以第一顏色著色的芯軸圖案化候選區(qū)。

技術(shù)研發(fā)人員：江嘉評(píng);張雅婷;鄭文立;鄭年富;池明輝;黃文俊;劉如淦;高蔡勝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.23
技術(shù)公布日：2017.11.10