本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路制造領(lǐng)域，特別是涉及一種集成電路自動測試機(jī)(ate，autotestequipment)電源測試通道擴(kuò)展結(jié)構(gòu)；本發(fā)明還涉及一種ate電源測試通道擴(kuò)展結(jié)構(gòu)的測試應(yīng)用方法。

背景技術(shù)：

如圖1所示，是現(xiàn)有ate電源測試通道擴(kuò)展結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖；ate的測試電源通道102(powersupply，ps)在固定配置下數(shù)量是有限的，圖1中虛線框101表示ate中配置的總的測試電源通道102，包括有多個，圖1中顯示了2個測試電源通道102，為了分別這兩個測試電源通道102，在圖1中還分別用ps1和ps2表示對應(yīng)的測試電源通道102。

為了提高被測器件104(deviceundertest，dut)測試同測數(shù)，通常會在ate以外對測試電源通道102進(jìn)行擴(kuò)展，圖1所示結(jié)構(gòu)為現(xiàn)有常見的擴(kuò)展方案：主要是一個測試電源通道102的輸出端并不直接連接被測器件104，而是將每個測試電源通道102的輸出端都同時連接多個電源擴(kuò)展支路，在電源擴(kuò)展支路中包括一個支路選擇開關(guān)103，電源擴(kuò)展支路的輸出端連接對應(yīng)的被測器件104。圖1中，為了區(qū)分不同支路上的支路選擇開關(guān)103，對各支路選擇開關(guān)103還進(jìn)行了編號表示，如圖1中的k11、k12至k1n以及k21、k22至k2n；各支路的被測器件104也分別用dut11、dut12至dut1n以及dut21、dut22至dut2n表示。由圖1可以看出，每一個測試電源通道102都連接有n個電源擴(kuò)展支路，每一個電源擴(kuò)展支路分別提供電源到對應(yīng)的被測器件104，提供到被測器件104的電源分別用p11、p12至p1n以及p21、p22至p2n表示。

圖1所示的現(xiàn)有結(jié)構(gòu)能夠方便地擴(kuò)展測試電源通道102的通道數(shù)，但是由于多個被測器件104直接共享一個測試電源通道102的資源，當(dāng)測試過程中如果其中一個被測器件104因故障導(dǎo)致電源管腳電流過大情況，當(dāng)該電流超出測試電源通道102的驅(qū)動電流能力，便會拉低測試電源通道102的設(shè)定輸出電壓，從而影響共享該測試電源通道102的其他被測器件104的正常測試，導(dǎo)致其他被測器件104的測試異常。如圖2所示，是圖1所示結(jié)構(gòu)在一個被測器件104出現(xiàn)過流時狀態(tài)圖，圖2中dut11出現(xiàn)了故障從而使其對應(yīng)的電源擴(kuò)展支路出現(xiàn)大電流，為了更加形象的表示，圖2中還用“施害dut”表示dut11，用“受害dut”表示ps1對應(yīng)的其它各dut即dut12至dut1n，在dut11對應(yīng)的電源擴(kuò)展支路中用箭頭線表示大電流，可以看出由于dut11對應(yīng)的電源擴(kuò)展支路出現(xiàn)了大電流，使得ps1的輸出電壓下降，而ps1的輸出電壓下降后會使得dut12至dut1n對應(yīng)的電源即p12至p1n的電壓下降，從而會影響dut12至dut1n的正常測試，導(dǎo)致dut12至dut1n的測試異常。如圖3a所示，是采用圖1所示的結(jié)構(gòu)進(jìn)行多個被測器件104共享一個ps電源時的測試結(jié)果圖；圖3a中，標(biāo)記201對應(yīng)的圓圈所示的各區(qū)域中的被測器件104就存在一個被測器件104出現(xiàn)過流時共享相同ps電源的其它各被測器件104出現(xiàn)測試異常的情形；如圖3b所示，是對同一晶圓上的各被測器件104進(jìn)行1個被測器件104獨享一個ps電源時的測試結(jié)果圖，可以看出，圖3b中不再出現(xiàn)圖3a的標(biāo)記201所示區(qū)域中的測試異常情形，也即圖3a中存在測試過殺(overkill)情形。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種ate電源測試通道擴(kuò)展結(jié)構(gòu)，具有過流隔離功能，能防止多支路共享電源測試通道時由過流引起的測試過殺；為此，本發(fā)明還提供一種ate電源測試通道擴(kuò)展結(jié)構(gòu)的測試應(yīng)用方法。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供的ate電源測試通道擴(kuò)展結(jié)構(gòu)，包括：多個電源測試通道，各所述電源測試通道包括多個電源擴(kuò)展支路，各所述電源擴(kuò)展支路的輸入端連接對應(yīng)的所述電源測試通道的輸出端，各所述電源擴(kuò)展支路的輸出端連接一個被測器件。

各所述電源擴(kuò)展支路包括：支路選擇開關(guān)和過流保護(hù)電路；所述過流保護(hù)電路用于檢測對應(yīng)的所述電源擴(kuò)展支路的電流大小，在所述電流擴(kuò)展支路的電流正常時保持所述電源擴(kuò)展支路和所述被測器件的連接；在所述電流擴(kuò)展支路過流時斷開所述電源擴(kuò)展支路和所述被測器件的連接，防止過流的所述電流擴(kuò)展支路將對應(yīng)的所述電源測試通道的輸出電壓拉低從而影響連接同一所述電源測試通道的其它所述電源擴(kuò)展支路的測試。

進(jìn)一步的改進(jìn)是，所述過流保護(hù)電路包括：過流檢測電阻、過流檢測比較器和過流保護(hù)開關(guān)；所述支路選擇開關(guān)、所述過流檢測電阻和所述過流保護(hù)開關(guān)串聯(lián)連接，所述過流檢測電阻在所述電源擴(kuò)展支路的輸入端和輸出端之間形成一個電壓降，所述過流檢測比較器檢測所述過流檢測電阻的電壓降的大小并根據(jù)所述過流檢測電阻的電壓降形成一個和參考電壓比較的信號，所述過流檢測比較器的輸出端輸出一個根據(jù)比較結(jié)果形成的控制信號到所述過流保護(hù)開關(guān)，所述過流保護(hù)開關(guān)在所述控制信號的控制下導(dǎo)通或斷開；當(dāng)所述電源擴(kuò)展支路過流時所述過流檢測電阻的電壓降會超范圍，所述控制信號使所述過流保護(hù)開關(guān)斷開；當(dāng)所述電源擴(kuò)展支路的電流正常時所述過流檢測電阻的電壓降在正常范圍，所述控制信號使所述過流保護(hù)開關(guān)保持導(dǎo)通。

進(jìn)一步的改進(jìn)是，所述過流檢測比較器的正相輸入端連接所述電源擴(kuò)展支路的輸出端，所述過流檢測比較器的反相輸入端連接參考電壓；所述過流保護(hù)開關(guān)為低電平常開型開關(guān)。

當(dāng)所述過流檢測電阻的電壓降在正常范圍時，所述過流檢測比較器的正相輸入端的電壓大于所述參考電壓，所述控制信號為1，所述過流保護(hù)開關(guān)導(dǎo)通。

當(dāng)所述過流檢測電阻的電壓降在超范圍時，所述過流檢測比較器的正相輸入端的電壓小于所述參考電壓，所述控制信號為0，所述過流保護(hù)開關(guān)斷開。

進(jìn)一步的改進(jìn)是，所述參考電壓的公式為：vref＝vcc-δvcc，vref為所述參考電壓，vcc為所述電源測試通道的輸出電壓，δvcc為可容許誤差，即在vcc至vcc-δvcc的范圍內(nèi)所述被測器件能進(jìn)行正常測試。

所述過流檢測電阻的最小值的公式為：rmin＝δvcc/itrig。

所述過流檢測電阻的最大值的公式為：rmax＝δvcc/imax。

所述過流檢測電阻的電阻大小在rmin和rmax之間皆可。

其中，rmin為所述過流檢測電阻的最小值，rmax為所述過流檢測電阻的最大值，itrig為過流觸發(fā)值，imax為各所述被測器件在各種測試條件下的電流規(guī)格的最大值，itrig大于imax。

進(jìn)一步的改進(jìn)是，itrig為imax的3倍～5倍。

進(jìn)一步的改進(jìn)是，在ate的初始化過程中，所述過流檢測比較器的反相輸入端連接一個初始化電壓，所述初始化電壓小于0v，使初始化過程中所述過流檢測比較器的輸出端輸出大小為1的所述控制信號并使所述過流保護(hù)開關(guān)導(dǎo)通。

初始化完成后所述過流檢測比較器的反相輸入端連接到所述參考電壓。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供的ate電源測試通道擴(kuò)展結(jié)構(gòu)的測試應(yīng)用方法包括如下步驟：

步驟一、將被測器件連接到各所述電源擴(kuò)展支路的輸出端并建立失效被測器件的編號列表，在進(jìn)行各所述被測器件的第一項測試項目之前初始化所述編號列表。

步驟二、進(jìn)入當(dāng)前測試項目，根據(jù)所述編號列表設(shè)置各所述電源擴(kuò)展支路的所述支路選擇開關(guān)的狀態(tài)，所述編號列表中對應(yīng)編號的所述被測器件所對應(yīng)的各所述支路選擇開關(guān)設(shè)置為斷開狀態(tài)，其它各所述支路選擇開關(guān)設(shè)置為導(dǎo)通狀態(tài)。

步驟三、設(shè)置各所述電源測試通道的上電參數(shù)，將各所述電源測試通道上電后的輸出電壓設(shè)置為當(dāng)前測試項目所需電壓。

步驟四、進(jìn)行初始化設(shè)置，初始化過程中各所述支路選擇開關(guān)為導(dǎo)通狀態(tài)的各所述電源擴(kuò)展支路都導(dǎo)通。

步驟五、進(jìn)行當(dāng)前測試項目的測試，測試過程中，所述過流保護(hù)電路檢測對應(yīng)的所述電源擴(kuò)展支路的電流大小，在所述電流擴(kuò)展支路的電流正常時保持所述電源擴(kuò)展支路和所述被測器件的連接；在所述電流擴(kuò)展支路過流時斷開所述電源擴(kuò)展支路和所述被測器件的連接，防止過流的所述電流擴(kuò)展支路將對應(yīng)的所述電源測試通道的輸出電壓拉低從而影響連接同一所述電源測試通道的其它所述電源擴(kuò)展支路的測試。

步驟六、當(dāng)前測試項目結(jié)束，將當(dāng)前測試項目中出現(xiàn)過流的所述電流擴(kuò)展支路對應(yīng)的被測器件的編號添加到所述編號列表中。

步驟七、重復(fù)步驟二至六進(jìn)行各所述被測器件的下一個測試項目，直至各所述被測器件的所有測試項目都完成。

進(jìn)一步的改進(jìn)是，所述過流保護(hù)電路包括：過流檢測電阻、過流檢測比較器和過流保護(hù)開關(guān)；所述支路選擇開關(guān)、所述過流檢測電阻和所述過流保護(hù)開關(guān)串聯(lián)連接，所述過流檢測電阻在所述電源擴(kuò)展支路的輸入端和輸出端之間形成一個電壓降，所述過流檢測比較器檢測所述過流檢測電阻的電壓降的大小并根據(jù)所述過流檢測電阻的電壓降形成一個和參考電壓比較的信號，所述過流檢測比較器的輸出端輸出一個根據(jù)比較結(jié)果形成的控制信號到所述過流保護(hù)開關(guān)，所述過流保護(hù)開關(guān)在所述控制信號的控制下導(dǎo)通或斷開；當(dāng)所述電源擴(kuò)展支路過流時所述過流檢測電阻的電壓降會超范圍，所述控制信號使所述過流保護(hù)開關(guān)斷開；當(dāng)所述電源擴(kuò)展支路的電流正常時所述過流檢測電阻的電壓降在正常范圍，所述控制信號使所述過流保護(hù)開關(guān)保持導(dǎo)通；所述參考電壓在步驟四的上電后且初始化完成之后以及步驟五進(jìn)行當(dāng)前測試項目的測試之前進(jìn)行設(shè)置。

進(jìn)一步的改進(jìn)是，所述過流檢測比較器的正相輸入端連接所述電源擴(kuò)展支路的輸出端，所述過流檢測比較器的反相輸入端連接參考電壓；所述過流保護(hù)開關(guān)為低電平常開型開關(guān)。

當(dāng)所述過流檢測電阻的電壓降在正常范圍時，所述過流檢測比較器的正相輸入端的電壓大于所述參考電壓，所述控制信號為1，所述過流保護(hù)開關(guān)導(dǎo)通。

當(dāng)所述過流檢測電阻的電壓降在超范圍時，所述過流檢測比較器的正相輸入端的電壓小于所述參考電壓，所述控制信號為0，所述過流保護(hù)開關(guān)斷開。

進(jìn)一步的改進(jìn)是，所述參考電壓的公式為：vref＝vcc-δvcc，vref為所述參考電壓，vcc為所述電源測試通道的輸出電壓，δvcc為可容許誤差，即在vcc至vcc-δvcc的范圍內(nèi)所述被測器件能進(jìn)行正常測試。

所述過流檢測電阻的最小值的公式為：rmin＝δvcc/itrig。

所述過流檢測電阻的最大值的公式為：rmax＝δvcc/imax。

所述過流檢測電阻的電阻大小在rmin和rmax之間皆可。

其中，rmin為所述過流檢測電阻的最小值，rmax為所述過流檢測電阻的最大值，itrig為過流觸發(fā)值，imax為各所述被測器件在各種測試條件下的電流規(guī)格的最大值，itrig大于imax。

進(jìn)一步的改進(jìn)是，itrig為imax的3倍～5倍。

進(jìn)一步的改進(jìn)是，步驟四的初始化設(shè)置中設(shè)置連接所述過流檢測比較器的反相輸入端的小于0v的初始化電壓，在ate上電后的初始化過程中，所述初始化電壓使所述過流檢測比較器的輸出端輸出大小為1的所述控制信號并使所述過流保護(hù)開關(guān)導(dǎo)通。

初始化完成后進(jìn)行所述參考電壓的設(shè)置并使所述過流檢測比較器的反相輸入端連接到所述參考電壓。

本發(fā)明在各電源擴(kuò)展支路中設(shè)置有過流保護(hù)電路，過流保護(hù)電路能檢測測試時對應(yīng)的電源擴(kuò)展支路的電流大小，在電流擴(kuò)展支路的電流正常時保持電源擴(kuò)展支路和被測器件的連接；在電流擴(kuò)展支路過流時斷開電源擴(kuò)展支路和被測器件的連接，從而能防止過流的電流擴(kuò)展支路將對應(yīng)的電源測試通道的輸出電壓拉低從而影響連接同一電源測試通道的其它電源擴(kuò)展支路的測試，所以本發(fā)明能實現(xiàn)過流隔離，能防止多支路共享電源測試通道時由過流引起的測試過殺，從而能提高測試準(zhǔn)確性和測試效率。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明：

圖1是現(xiàn)有ate電源測試通道擴(kuò)展結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖；

圖2是圖1所示結(jié)構(gòu)在一個被測器件出現(xiàn)過流時狀態(tài)圖；

圖3a是采用圖1所示的結(jié)構(gòu)進(jìn)行多個被測器件共享一個ps電源時的測試結(jié)果圖；

圖3b是對同一晶圓上的各被測器件進(jìn)行1個被測器件獨享一個ps電源時的測試結(jié)果圖；

圖4是本發(fā)明實施例ate電源測試通道擴(kuò)展結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖；

圖5是圖4所示結(jié)構(gòu)在測試過程中各被測器件的電流都正常時的狀態(tài)圖；

圖6是圖4所示結(jié)構(gòu)在測試過程中出現(xiàn)被測器件的過流時的狀態(tài)圖。

具體實施方式

如圖4所示，是本發(fā)明實施例ate電源測試通道擴(kuò)展結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖；本發(fā)明實施例ate電源測試通道擴(kuò)展結(jié)構(gòu)包括：多個電源測試通道1，如圖4中虛線框301所示，在虛線框301中包括了多個所述電源測試通道1，由于各所述電源測試通道1都相同，故圖4中僅顯示了一個電源測試通道1，同時，在圖4中還用ps1表示對應(yīng)的一個電源測試通道1。

各所述電源測試通道1包括多個電源擴(kuò)展支路，由圖4中顯示了一個電源測試通道1共有n個電源擴(kuò)展支路。

各所述電源擴(kuò)展支路的輸入端連接對應(yīng)的所述電源測試通道1的輸出端，各所述電源擴(kuò)展支路的輸出端連接一個被測器件4。為了更清楚的表示，圖4中，ps1對應(yīng)的各電源擴(kuò)展支路對應(yīng)的被測器件4還分別用dut11、dut12至dut1n表示，各所述電源擴(kuò)展支路的輸出端輸出的電源分別用ps11、ps12至ps1n表示。

各所述電源擴(kuò)展支路包括：支路選擇開關(guān)2和過流保護(hù)電路3。為了更清楚的表示支路選擇開關(guān)2，圖4中，ps1對應(yīng)的各電源擴(kuò)展支路對應(yīng)的支路選擇開關(guān)2還分別用k11、k12至k1n表示。

所述過流保護(hù)電路3用于檢測對應(yīng)的所述電源擴(kuò)展支路的電流大小，在所述電流擴(kuò)展支路的電流正常時保持所述電源擴(kuò)展支路和所述被測器件4的連接；在所述電流擴(kuò)展支路過流時斷開所述電源擴(kuò)展支路和所述被測器件4的連接，防止過流的所述電流擴(kuò)展支路將對應(yīng)的所述電源測試通道1的輸出電壓拉低從而影響連接同一所述電源測試通道1的其它所述電源擴(kuò)展支路的測試。

本發(fā)明實施例中，所述過流保護(hù)電路3包括：過流檢測電阻5、過流檢測比較器7和過流保護(hù)開關(guān)6。為了更清楚的表示，圖4中，ps1對應(yīng)的各電源擴(kuò)展支路對應(yīng)的過流檢測電阻5還分別用r11、r12至r1n表示,過流保護(hù)開關(guān)6還分別用kk11、kk12至kk1n表示，過流檢測比較器7還分別用comp11、comp12至comp1n表示。

所述支路選擇開關(guān)2、所述過流檢測電阻5和所述過流保護(hù)開關(guān)6串聯(lián)連接，所述過流檢測電阻5在所述電源擴(kuò)展支路的輸入端和輸出端之間形成一個電壓降，所述過流檢測比較器7檢測所述過流檢測電阻5的電壓降的大小并根據(jù)所述過流檢測電阻5的電壓降形成一個和參考電壓vref比較的信號，所述過流檢測比較器7的輸出端輸出一個根據(jù)比較結(jié)果形成的控制信號到所述過流保護(hù)開關(guān)6，所述過流保護(hù)開關(guān)6在所述控制信號的控制下導(dǎo)通或斷開；當(dāng)所述電源擴(kuò)展支路過流時所述過流檢測電阻5的電壓降會超范圍，所述控制信號使所述過流保護(hù)開關(guān)6斷開；當(dāng)所述電源擴(kuò)展支路的電流正常時所述過流檢測電阻5的電壓降在正常范圍，所述控制信號使所述過流保護(hù)開關(guān)6保持導(dǎo)通。

較佳為，所述過流檢測比較器7的正相輸入端即+端連接所述電源擴(kuò)展支路的輸出端，所述過流檢測比較器7的反相輸入端即-端連接參考電壓vref；所述過流保護(hù)開關(guān)6為低電平常開型開關(guān)。

當(dāng)所述過流檢測電阻5的電壓降在正常范圍時，所述過流檢測比較器7的正相輸入端的電壓大于所述參考電壓vref，所述控制信號為1，所述過流保護(hù)開關(guān)6導(dǎo)通。

當(dāng)所述過流檢測電阻5的電壓降在超范圍時，所述過流檢測比較器7的正相輸入端的電壓小于所述參考電壓vref，所述控制信號為0，所述過流保護(hù)開關(guān)6斷開。

更優(yōu)選擇為，所述參考電壓vref的公式為：vref＝vcc-δvcc，vref為所述參考電壓，vcc為所述電源測試通道1的輸出電壓，δvcc為可容許誤差，即在vcc至vcc-δvcc的范圍內(nèi)所述被測器件4能進(jìn)行正常測試，vcc是根據(jù)所述被測器件4的測試項目的需要進(jìn)行設(shè)置，例如，一個測試項目對應(yīng)的vcc為5v，δvcc為0.01v，則vref為4.99v。

所述過流檢測電阻5的最小值的公式為：rmin＝δvcc/itrig。

所述過流檢測電阻5的最大值的公式為：rmax＝δvcc/imax。

所述過流檢測電阻5的電阻大小在rmin和rmax之間皆可。

其中，rmin為所述過流檢測電阻5的最小值，rmax為所述過流檢測電阻5的最大值，itrig為過流觸發(fā)值，imax為各所述被測器件4在各種測試條件下的電流規(guī)格的最大值，itrig大于imax。itrig在大于imax的條件下也不宜過大，本發(fā)明實施例中itrig為imax的3倍～5倍。

所述參考電壓vref是在測試過程中加入的，由于在ate上電之前所述電源擴(kuò)展支路的輸出端的電壓為0，為了在啟動過程即初始化過程中使各所述過流保護(hù)開關(guān)6都導(dǎo)通，所述參考電壓vref在啟動過程中不能加入到所述過流檢測比較器7的反相輸入端，而是需要在ate的初始化過程中，所述過流檢測比較器7的反相輸入端連接一個初始化電壓，所述初始化電壓小于0v，使初始化過程中所述過流檢測比較器7的輸出端輸出大小為1的所述控制信號并使所述過流保護(hù)開關(guān)6導(dǎo)通。初始化完成后所述過流檢測比較器7的反相輸入端才連接到所述參考電壓vref。

本發(fā)明實施例電路能夠很好的實現(xiàn)過流隔離：

如圖5所示，是圖4所示結(jié)構(gòu)在測試過程中各被測器件的電流都正常時的狀態(tài)圖，為了更清楚的表示，圖5中，ps1對應(yīng)的各電源擴(kuò)展支路對應(yīng)的電流還分別用i11、i12至i1n表示，各電源擴(kuò)展支路的輸出端電壓分別用v11、v12至v1n表示；可以看出i11、i12至i1n都沒有過流，故各電源擴(kuò)展支路在所述過流檢測電阻5上的電壓降都小于δvcc，使得各所述過流檢測比較器7的正相輸入端的電壓即v11、v12至v1n都大于參考電壓vref，使各所述過流檢測比較器7的輸出端都輸出信號1即圖5中的“1”，各過流保護(hù)開關(guān)6即kk11、kk12至kk1n都導(dǎo)通，各被測器件4實現(xiàn)正常測試。

如圖6所示，是圖4所示結(jié)構(gòu)在測試過程中出現(xiàn)被測器件的過流時的狀態(tài)圖，圖6中顯示i11出現(xiàn)過流，這會使得v11小于參考電壓vref，從而使得comp11的輸出端輸出信號0即圖6中的“0”，kk11斷開，dut11所對應(yīng)的電源擴(kuò)展支路斷開，其它各電源擴(kuò)展支路依然正常工作；由于過流的dut11所對應(yīng)的電源擴(kuò)展支路斷開，故不會對ps1的輸出電壓造成降低的影響，從而也不會影響其它各電源擴(kuò)展支路的測試。

本發(fā)明實施例測試應(yīng)用方法采用圖4所示的本發(fā)明實施例ate電源測試通道擴(kuò)展結(jié)構(gòu)進(jìn)行測試，如下步驟：

步驟一、將被測器件4連接到各所述電源擴(kuò)展支路的輸出端并建立失效被測器件4的編號列表，在進(jìn)行各所述被測器件4的第一項測試項目之前初始化所述編號列表。

步驟二、進(jìn)入當(dāng)前測試項目，根據(jù)所述編號列表設(shè)置各所述電源擴(kuò)展支路的所述支路選擇開關(guān)2的狀態(tài)，所述編號列表中對應(yīng)編號的所述被測器件4所對應(yīng)的各所述支路選擇開關(guān)2設(shè)置為斷開狀態(tài)，其它各所述支路選擇開關(guān)2設(shè)置為導(dǎo)通狀態(tài)。

步驟三、設(shè)置各所述電源測試通道1的上電參數(shù)，將各所述電源測試通道1上電后的輸出電壓設(shè)置為當(dāng)前測試項目所需電壓，如：當(dāng)前測試項目所需電壓為5v時，能將vcc設(shè)置為5v。

步驟四、進(jìn)行初始化設(shè)置，初始化過程中各所述支路選擇開關(guān)2為導(dǎo)通狀態(tài)的各所述電源擴(kuò)展支路都導(dǎo)通，也即所有在步驟二中被選擇的各所述電源擴(kuò)展支路都導(dǎo)通。

步驟五、進(jìn)行當(dāng)前測試項目的測試之前進(jìn)行所述參考電壓vref設(shè)置，本發(fā)明實施例中，所述參考電壓vref設(shè)置為vref＝vcc-δvcc，如：vcc為5v，δvcc為0.01v時，vref為4.99v。

進(jìn)行當(dāng)前測試項目的測試，測試過程中，所述過流保護(hù)電路3檢測對應(yīng)的所述電源擴(kuò)展支路的電流大小，在所述電流擴(kuò)展支路的電流正常時保持所述電源擴(kuò)展支路和所述被測器件4的連接；在所述電流擴(kuò)展支路過流時斷開所述電源擴(kuò)展支路和所述被測器件4的連接，防止過流的所述電流擴(kuò)展支路將對應(yīng)的所述電源測試通道1的輸出電壓拉低從而影響連接同一所述電源測試通道1的其它所述電源擴(kuò)展支路的測試。

如圖5所示，各看出i11、i12至i1n都沒有過流，故各電源擴(kuò)展支路在所述過流檢測電阻5上的電壓降都小于δvcc，使得各所述過流檢測比較器7的正相輸入端的電壓即v11、v12至v1n都大于參考電壓vref，使各所述過流檢測比較器7的輸出端都輸出信號1即圖5中的“1”，各過流保護(hù)開關(guān)6即kk11、kk12至kk1n都導(dǎo)通，各被測器件4實現(xiàn)正常測試。

如圖6所示，當(dāng)i11出現(xiàn)過流時，會使得v11小于參考電壓vref，從而使得comp11的輸出端輸出信號0即圖6中的“0”，kk11斷開，dut11所對應(yīng)的電源擴(kuò)展支路斷開，其它各電源擴(kuò)展支路依然正常工作；由于過流的dut11所對應(yīng)的電源擴(kuò)展支路斷開，故不會對ps1的輸出電壓造成降低的影響，從而也不會影響其它各電源擴(kuò)展支路的測試。

步驟六、當(dāng)前測試項目結(jié)束，將當(dāng)前測試項目中出現(xiàn)過流的所述電流擴(kuò)展支路對應(yīng)的被測器件4的編號添加到所述編號列表中，如圖6中的dut11的編號將會添加到所述編號列表中。

步驟七、重復(fù)步驟二至六進(jìn)行各所述被測器件4的下一個測試項目，直至各所述被測器件4的所有測試項目都完成。

以上通過具體實施例對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說明，但這些并非構(gòu)成對本發(fā)明的限制。在不脫離本發(fā)明原理的情況下，本領(lǐng)域的技術(shù)人員還可做出許多變形和改進(jìn)，這些也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。