1.一種集成有功率傳輸芯片的封裝結(jié)構(gòu)的封裝方法,其特征在于,所述封裝結(jié)構(gòu)包括用電芯片及連接于所述用電芯片下方的功率傳輸芯片;所述功率傳輸芯片用于將外部電源的電壓轉(zhuǎn)換成所述用電芯片所需的多個(gè)電壓,并提供多條對(duì)接所述用電芯片的供電軌道;所述封裝方法包括如下步驟:
提供一載體,并在所述載體上形成粘附層;
將所述功率傳輸芯片的有源元件與無(wú)源元件放置于所述粘附層上,其中,所述有源元件及無(wú)源元件具有焊盤(pán)的一面與所述粘附層接觸;
在所述粘附層上形成覆蓋所述有源元件與無(wú)源元件的塑封層,并對(duì)所述塑封層進(jìn)行研磨,以減薄所述塑封層;
去除所述載體及粘附層,暴露出所述焊盤(pán);
形成多個(gè)上下貫穿所述塑封層的通孔,并在所述通孔中填充導(dǎo)電材料,得到導(dǎo)電柱;
在所述塑封層與所述焊盤(pán)相同一側(cè)的表面上形成所述功率傳輸芯片的再布線(xiàn)層;所述再布線(xiàn)層的導(dǎo)電部分與所述導(dǎo)電柱及所述焊盤(pán)連接,實(shí)現(xiàn)所述有源元件與無(wú)源元件之間的電連接,并提供多條對(duì)接所述用電芯片的供電軌道;
通過(guò)多個(gè)第一凸塊結(jié)構(gòu)將所述用電芯片與所述再布線(xiàn)層連接,實(shí)現(xiàn)所述用電芯片與多條所述供電軌道的對(duì)接;
在所述塑封層與所述焊盤(pán)相對(duì)一側(cè)的表面上形成多個(gè)與所述導(dǎo)電柱連接的第二凸塊結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成有功率傳輸芯片的封裝結(jié)構(gòu)的封裝方法,其特征在于:所述外部電源的電壓高于所述用電芯片所需的電壓。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成有功率傳輸芯片的封裝結(jié)構(gòu)的封裝方法,其特征在于:所述有源元件包括控制器及降壓變換器;所述無(wú)源元件包括電容、電感和電阻。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成有功率傳輸芯片的封裝結(jié)構(gòu)的封裝方法,其特征在于:通過(guò)多個(gè)第一凸塊結(jié)構(gòu)將所述用電芯片與所述再布線(xiàn)層連接之后,還包括通過(guò)底部填充膠填滿(mǎn)所述用電芯片底部與所述在布線(xiàn)層之間間隙的步驟,以及通過(guò)塑封材料將所述用電芯片周?chē)牟襟E。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成有功率傳輸芯片的封裝結(jié)構(gòu)的封裝方法,其特征在于:所述再布線(xiàn)層包括介電層及形成于所述介電層中的至少一層金屬連線(xiàn)及至少一層導(dǎo)電栓;所述金屬連線(xiàn)通過(guò)所述導(dǎo)電栓實(shí)現(xiàn)與所述有源元件、無(wú)源元件及導(dǎo)電柱的電連接,且當(dāng)所述介電層中形成有多層金屬連線(xiàn)時(shí),多層金屬連線(xiàn)之間通過(guò)所述導(dǎo)電栓實(shí)現(xiàn)層間電連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成有功率傳輸芯片的封裝結(jié)構(gòu)的封裝方法,其特征在于:所述第一凸塊結(jié)構(gòu)包括微凸塊;所述第二凸塊結(jié)構(gòu)包括球柵陣列焊球。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成有功率傳輸芯片的封裝結(jié)構(gòu)的封裝方法,其特征在于:所述用電芯片為專(zhuān)用集成電路。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成有功率傳輸芯片的封裝結(jié)構(gòu)的封裝方法,其特征在于:形成所述塑封層的方法包括壓縮成型、傳遞模塑、液封成型、真空層壓、旋涂中的任意一種或多種。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成有功率傳輸芯片的封裝結(jié)構(gòu)的封裝方法,其特征在于:形成所述通孔的方法包括激光打孔、機(jī)械鉆孔、反應(yīng)離子刻蝕、納米壓印中的任意一種或多種。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成有功率傳輸芯片的封裝結(jié)構(gòu)的封裝方法,其特征在于:形成所述導(dǎo)電柱的方法包括電鍍、化學(xué)鍍、絲印、引線(xiàn)鍵合中的一種或多種。