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半導(dǎo)體激光器側(cè)面耦合軸向泵浦的堿金屬激光器的制作方法

文檔序號(hào):12738142閱讀:273來源:國知局
半導(dǎo)體激光器側(cè)面耦合軸向泵浦的堿金屬激光器的制作方法與工藝

本發(fā)明屬于激光技術(shù)領(lǐng)域,更具體地涉及一種半導(dǎo)體激光器側(cè)面耦合軸向泵浦的堿金屬激光器。



背景技術(shù):

DPAL(半導(dǎo)體泵浦堿金屬蒸氣激光器)是一種增益介質(zhì)為蒸氣狀態(tài)堿金屬的新型光泵浦氣體激光器,增益介質(zhì)的溫度通常為100~200℃。DPAL的增益介質(zhì)主要為蒸氣狀態(tài)的鉀、銣或銫,其能級(jí)結(jié)構(gòu)如圖1所示。n是最外層電子所在電子層數(shù),K、Rb、Cs對(duì)應(yīng)的n分別為4、5、6。nS1/2為基態(tài)能級(jí),nP1/2和nP3/2為最外層電子自旋-軌道相互作用而劈裂產(chǎn)生的激發(fā)態(tài)能級(jí)。由基態(tài)至兩上能級(jí)的躍遷分別對(duì)應(yīng)于D1和D2線。

DPAL激光器首先于2003年實(shí)現(xiàn)了堿金屬激光器D1線的激光輸出。DPAL采用對(duì)應(yīng)D2線波長的泵浦源泵浦,具有95%以上的量子效率,且增益介質(zhì)是氣體,熱透鏡效應(yīng)不明顯。因此,DPAL被認(rèn)為是一種有望實(shí)現(xiàn)單口徑MW級(jí)激光輸出的新型激光器。其在高功率輸出方面的潛力也得到了國內(nèi)外眾多高功率激光器研發(fā)機(jī)構(gòu)的關(guān)注。

目前常用的軸向泵浦結(jié)構(gòu)如圖2所示。半導(dǎo)體激光器輸出的泵浦光,經(jīng)過光束整形之后被聚焦透鏡聚焦,經(jīng)由鍍有對(duì)泵浦光全透、對(duì)發(fā)射激光全反的雙色膜腔鏡進(jìn)入堿金屬激光器諧振腔內(nèi)。泵浦光焦斑位于堿金屬蒸氣室中心位置處。堿金屬蒸氣室中堿金屬原子在泵浦光的泵浦作用下形成增益,在激光諧振腔的諧振放大作用下,產(chǎn)生并輸出激光。此結(jié)構(gòu)有效增益主要形成于焦斑附近位置處,因此不能對(duì)腔模內(nèi)的堿金屬原子進(jìn)行有效利用,大大降低了激光的輸出效率;再者,此結(jié)構(gòu)僅適用于使用單個(gè)半導(dǎo)體激光泵浦模塊進(jìn)行泵浦,難以實(shí)現(xiàn)多泵浦模塊的級(jí)聯(lián)使用,從而難以實(shí)現(xiàn)DPAL的高功率輸出。

另外一種常用泵浦結(jié)構(gòu)為側(cè)面泵浦,常用的泵浦結(jié)構(gòu)如圖3所示。激光頭四個(gè)側(cè)面分別留有激光窗口和泵浦窗口。使整形后的泵浦光由泵浦光窗口入射,在諧振腔方向輸出激光。此結(jié)構(gòu)很難獲得較好的模式匹配,從而導(dǎo)致激光器光光效率低下。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

基于上述問題,本發(fā)明的目的在于提出一種半導(dǎo)體激光器側(cè)面耦合軸向泵浦的堿金屬激光器,用于解決以上技術(shù)問題的至少之一。

為了達(dá)到上述目的,本發(fā)明提出一種半導(dǎo)體激光器側(cè)面耦合軸向泵浦的堿金屬激光器,包括n個(gè)半導(dǎo)體泵浦源、m個(gè)堿金屬蒸氣室和一諧振腔,該堿金屬激光器還包括n個(gè)轉(zhuǎn)向元件,與n個(gè)半導(dǎo)體泵浦源一一對(duì)應(yīng),用于分別改變n個(gè)半導(dǎo)體泵浦源發(fā)出的泵浦光的傳播方向;不管n個(gè)轉(zhuǎn)向元件如何設(shè)置,n個(gè)半導(dǎo)體泵浦源發(fā)出的泵浦光在m個(gè)堿金屬蒸氣室中最終為近軸光;其中,n、m為自然數(shù)。

進(jìn)一步地,上述n個(gè)半導(dǎo)體泵浦源發(fā)出的泵浦光經(jīng)對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)換元件改變傳播方向后,會(huì)聚點(diǎn)分別位于m個(gè)堿金屬蒸氣室內(nèi)的不同位置。

進(jìn)一步地,上述n個(gè)轉(zhuǎn)向元件為偏振分光棱鏡、中心有孔的平面反射鏡、中心有孔的凹面反射鏡和鍍有雙色膜的平面反射鏡的任意組合。

進(jìn)一步地,上述轉(zhuǎn)向元件的主體材料為對(duì)近紅外激光吸收率低于1%、透過率大于98%的材料。

進(jìn)一步地,上述n個(gè)轉(zhuǎn)向元件的位置為位于m個(gè)堿金屬蒸氣室的內(nèi)部、左側(cè)和右側(cè)的任意組合。

進(jìn)一步地,上述堿金屬蒸氣室為1個(gè),轉(zhuǎn)向元件為3個(gè),其中2個(gè)轉(zhuǎn)向元件位于堿金屬蒸氣室內(nèi)部,1個(gè)轉(zhuǎn)向元件位于堿金屬蒸氣室的左側(cè)或右側(cè)。

進(jìn)一步地,上述堿金屬蒸氣室為1個(gè),轉(zhuǎn)向元件為5個(gè),該5個(gè)轉(zhuǎn)向元件均位于所述堿金屬蒸氣室內(nèi)。

進(jìn)一步地,上述堿金屬蒸氣室為1個(gè),轉(zhuǎn)向元件為4個(gè),其中2個(gè)轉(zhuǎn)向元件位于堿金屬蒸氣室內(nèi),2個(gè)轉(zhuǎn)向元件分別位于堿金屬蒸氣室的兩側(cè)。

進(jìn)一步地,上述堿金屬蒸汽室為2個(gè),轉(zhuǎn)向元件為8個(gè),其中2個(gè)轉(zhuǎn)向元件位于一堿金屬蒸氣室內(nèi),2個(gè)轉(zhuǎn)向元件位于另一堿金屬蒸氣室內(nèi),4個(gè)轉(zhuǎn)向元件分別位于2個(gè)堿金屬蒸氣室的兩側(cè)。

進(jìn)一步地,上述n個(gè)半導(dǎo)體泵浦源為環(huán)形激光器、Bar條或疊陣激光器。

本發(fā)明提出的半導(dǎo)體激光器側(cè)面耦合軸向泵浦的堿金屬激光器具有以下有益效果:

1、本發(fā)明提出的結(jié)構(gòu),可以通過多個(gè)半導(dǎo)體激光泵浦模塊側(cè)面耦合的方式,實(shí)現(xiàn)了泵浦源在縱向方向的疊加和多泵浦模塊的級(jí)聯(lián)使用,從而實(shí)現(xiàn)DPAL的高功率輸出;

2、本發(fā)明提出的結(jié)構(gòu),通過轉(zhuǎn)向元件,使泵浦光成為近軸光,且轉(zhuǎn)換成的近軸光的焦點(diǎn)位置處于堿金屬蒸氣室內(nèi)的不同位置,從而實(shí)現(xiàn)大焦深,充分利用堿金屬蒸氣室內(nèi)的堿金屬蒸氣原子,保證更長的增益長度,實(shí)現(xiàn)更好的模式匹配;

3、本發(fā)明提出的激光器由于采用平面鏡等光束轉(zhuǎn)向元件,與采用鍍雙色膜的耦合入腔方案相比,耦合元件具有很高的抗損傷特性,可應(yīng)用于高功率輸出的場(chǎng)景;

4、本發(fā)明中單個(gè)元件的加工難度低,降低了系統(tǒng)的復(fù)雜程度。

附圖說明

圖1是堿金屬蒸氣激光器的能級(jí)結(jié)構(gòu)圖;

圖2是典型的軸向泵浦堿金屬蒸氣激光器的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖3是典型的側(cè)面泵浦堿金屬蒸氣激光器的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖4是本發(fā)明實(shí)施例1中提出的側(cè)面耦合軸向泵浦的堿金屬蒸氣激光器的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖5是本發(fā)明實(shí)施例2中提出的側(cè)面耦合軸向泵浦的堿金屬蒸氣激光器的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖6是本發(fā)明實(shí)施例3中提出的側(cè)面耦合軸向泵浦的堿金屬蒸氣激光器的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖7是本發(fā)明實(shí)施例4中提出的側(cè)面耦合軸向泵浦的堿金屬蒸氣激光器的結(jié)構(gòu)示意圖;

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白,以下結(jié)合具體實(shí)施例,并參照附圖,對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。

本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體激光器側(cè)面耦合軸向泵浦的堿金屬激光器,包括n個(gè)半導(dǎo)體泵浦源、m個(gè)堿金屬蒸氣室和一諧振腔,該堿金屬激光器還包括n個(gè)轉(zhuǎn)向元件,與n個(gè)半導(dǎo)體泵浦源一一對(duì)應(yīng),用于分別改變n個(gè)半導(dǎo)體泵浦源發(fā)出的泵浦光的傳播方向;不管n個(gè)轉(zhuǎn)向元件如何設(shè)置,n個(gè)半導(dǎo)體泵浦源發(fā)出的泵浦光在m個(gè)堿金屬蒸氣室中最終為近軸光;其中,n、m為自然數(shù)。

上述n個(gè)轉(zhuǎn)向元件為偏振分光棱鏡、中心有孔的平面反射鏡、中心有孔的凹面反射鏡和鍍有雙色膜的平面反射鏡的任意組合。

優(yōu)選地,上述轉(zhuǎn)向元件的主體材料為對(duì)近紅外激光吸收率低于1%、透過率大于98%的材料,該主體材料主要應(yīng)用于上述轉(zhuǎn)向元件的反射面。

上述n個(gè)半導(dǎo)體泵浦源發(fā)出的泵浦光經(jīng)對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)換元件改變傳播方向后,會(huì)聚點(diǎn)分別位于m個(gè)堿金屬蒸氣室內(nèi)的不同位置,目的是保證在m個(gè)堿金屬蒸氣室內(nèi)傳播的泵浦光不會(huì)完全重合,從而保證更長的增益長度,充分利用堿金屬蒸氣室內(nèi)的堿金屬原子,實(shí)現(xiàn)更好的模式匹配。

上述n個(gè)轉(zhuǎn)向元件位于每個(gè)堿金屬蒸氣室的內(nèi)部、左側(cè)和右側(cè)的任意組合。

優(yōu)選地,上述堿金屬蒸氣室為1個(gè),轉(zhuǎn)向元件為3個(gè),其中2個(gè)轉(zhuǎn)向元件位于堿金屬蒸氣室內(nèi)部,1個(gè)轉(zhuǎn)向元件位于堿金屬蒸氣室的左側(cè)或右側(cè)。

優(yōu)選地,上述堿金屬蒸氣室為1個(gè),轉(zhuǎn)向元件為5個(gè),該5個(gè)轉(zhuǎn)向元件均位于堿金屬蒸氣室內(nèi)。

優(yōu)選地,上述堿金屬蒸氣室為1個(gè),轉(zhuǎn)向元件為4個(gè),其中2個(gè)轉(zhuǎn)向元件位于堿金屬蒸氣室內(nèi),2個(gè)轉(zhuǎn)向元件分別位于堿金屬蒸氣室的兩側(cè)。

優(yōu)選地,上述堿金屬蒸汽室為2個(gè),轉(zhuǎn)向元件為8個(gè),其中2個(gè)轉(zhuǎn)向元件位于一堿金屬蒸氣室內(nèi),2個(gè)轉(zhuǎn)向元件位于另一堿金屬蒸汽室內(nèi),4個(gè)轉(zhuǎn)向元件分別位于2個(gè)堿金屬蒸氣室的兩側(cè)。

優(yōu)選地,上述n個(gè)半導(dǎo)體泵浦源為環(huán)形激光器、Bar條或疊陣激光器。

實(shí)際使用時(shí),泵浦光由放置在光軸上的轉(zhuǎn)向元件進(jìn)行反射進(jìn)入堿金屬蒸氣室,通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)向元件的位置及其與光軸的角度,可保證被反射后的泵浦光入射至堿金屬蒸氣室內(nèi)腔模的不同位置,從而保證更長的增益長度,充分利用堿金屬蒸氣室內(nèi)的堿金屬原子,實(shí)現(xiàn)更好的模式匹配。

由于上述結(jié)構(gòu)可采用多個(gè)半導(dǎo)體泵浦源進(jìn)行泵浦,因此可以實(shí)現(xiàn)多泵浦模塊的級(jí)聯(lián)使用,實(shí)現(xiàn)高功率輸出。

為了使半導(dǎo)體泵浦源排布更加緊密,本發(fā)明中的轉(zhuǎn)向元件可在沿光軸放置的同時(shí)使其反射面依次沿光軸旋轉(zhuǎn)一定角度,具體的放置方案需以在保證模式匹配的基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)最大半導(dǎo)體泵浦源排布為原則。相應(yīng)的,橫向的半導(dǎo)體激光器可在光軸方向呈螺旋形排布,以期獲得更大的增益長度。

以下通過具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明提出的半導(dǎo)體激光器側(cè)面耦合軸向泵浦堿金屬激光器進(jìn)行詳細(xì)描述。

實(shí)施例1

如圖4所示,本實(shí)施例提出一種半導(dǎo)體激光器側(cè)面耦合軸向泵浦的堿金屬激光器,包括3個(gè)半導(dǎo)體泵浦源1、1個(gè)堿金屬蒸氣室2和諧振腔,還包括3個(gè)轉(zhuǎn)向元件5,3個(gè)轉(zhuǎn)向元件5與3個(gè)半導(dǎo)體泵浦源1一一對(duì)應(yīng),用于分別改變3個(gè)半導(dǎo)體泵浦源發(fā)出的泵浦光的傳播方向;3個(gè)半導(dǎo)體泵浦源發(fā)出的泵浦光在堿金屬蒸氣室2中最終為近軸光。

其中,諧振腔包括一反射鏡3和一輸出耦合鏡4,所述堿金屬蒸氣室2置于反射鏡3和輸出耦合鏡4之間;3個(gè)轉(zhuǎn)向元件5采用中心有孔的全反凹面鏡,其中心孔的直徑大于諧振腔腔模的大小,其中2個(gè)轉(zhuǎn)向元件置于堿金屬蒸氣室和輸出耦合鏡之間,1個(gè)轉(zhuǎn)向元件置于堿金屬蒸氣室內(nèi);3個(gè)半導(dǎo)體泵浦源1采用環(huán)形半導(dǎo)體激光器,其位置與3個(gè)轉(zhuǎn)向元件一一對(duì)應(yīng),根據(jù)3個(gè)轉(zhuǎn)向元件的焦距,調(diào)節(jié)3個(gè)轉(zhuǎn)向元件的位置,以使半導(dǎo)體泵浦源發(fā)射的泵浦光經(jīng)轉(zhuǎn)向元件反射和聚焦后,焦點(diǎn)位于堿金屬蒸氣室內(nèi)腔模的不同位置。

本實(shí)施例中的泵浦光轉(zhuǎn)向元件還可為偏振分光棱鏡(PBS)、中心有孔平面反射鏡等。

實(shí)施例2

如圖5所示,本實(shí)施例提出一種半導(dǎo)體激光器側(cè)面耦合軸向泵浦的堿金屬激光器,包括5個(gè)半導(dǎo)體泵浦源1、1個(gè)堿金屬蒸氣室2和諧振腔,還包括5個(gè)轉(zhuǎn)向元件5,5個(gè)轉(zhuǎn)向元件5與5個(gè)半導(dǎo)體泵浦源1一一對(duì)應(yīng),用于分別改變5個(gè)半導(dǎo)體泵浦源發(fā)出的泵浦光的傳播方向;5個(gè)半導(dǎo)體泵浦源發(fā)出的泵浦光在堿金屬蒸氣室2中最終為近軸光。

其中,諧振腔包括一反射鏡3和一輸出耦合鏡4,所述堿金屬蒸氣室2置于反射鏡3和輸出耦合鏡4之間;5個(gè)轉(zhuǎn)向元件5采用中心有孔的全反凹面鏡,其中心孔的直徑大于諧振腔腔模的大小,5個(gè)轉(zhuǎn)向元件5置于堿金屬蒸氣室內(nèi);5個(gè)半導(dǎo)體泵浦源1采用環(huán)形半導(dǎo)體激光器,其位置與5個(gè)轉(zhuǎn)向元件一一對(duì)應(yīng),根據(jù)5個(gè)轉(zhuǎn)向元件的焦距,調(diào)節(jié)5個(gè)轉(zhuǎn)向元件的位置,以使半導(dǎo)體泵浦源發(fā)射的泵浦光經(jīng)轉(zhuǎn)向元件反射和聚焦后,焦點(diǎn)位于堿金屬蒸氣室內(nèi)腔模的不同位置。

本實(shí)施例中的泵浦光轉(zhuǎn)向元件還可為偏振分光棱鏡(PBS)、中心有孔平面反射鏡等。

實(shí)施例3

如圖6所示,本實(shí)施例提出一種半導(dǎo)體激光器側(cè)面耦合軸向泵浦的堿金屬激光器,包括4個(gè)半導(dǎo)體泵浦源1、1個(gè)堿金屬蒸氣室2和諧振腔,還包括4個(gè)轉(zhuǎn)向元件5,4個(gè)轉(zhuǎn)向元件5與4個(gè)半導(dǎo)體泵浦源1一一對(duì)應(yīng),用于分別改變4個(gè)半導(dǎo)體泵浦源發(fā)出的泵浦光的傳播方向;4個(gè)半導(dǎo)體泵浦源發(fā)出的泵浦光在堿金屬蒸氣室2中最終為近軸光。。

其中,諧振腔包括一反射鏡3和一輸出耦合鏡4,所述堿金屬蒸氣室置于反射鏡3和輸出耦合鏡4之間;4個(gè)轉(zhuǎn)向元件5采用中心有孔的全反凹面鏡,其中心孔的直徑大于諧振腔腔模的大小,其中2個(gè)轉(zhuǎn)向元件5置于堿金屬蒸氣室內(nèi),1個(gè)置于反射鏡和堿金屬蒸氣室之間,另1個(gè)置于輸出耦合鏡和堿金屬蒸氣室之間;4個(gè)半導(dǎo)體泵浦源1采用環(huán)形半導(dǎo)體激光器,其位置與4個(gè)轉(zhuǎn)向元件一一對(duì)應(yīng),根據(jù)4個(gè)轉(zhuǎn)向元件的焦距,調(diào)節(jié)4個(gè)轉(zhuǎn)向元件的位置,以使半導(dǎo)體泵浦源發(fā)射的泵浦光經(jīng)轉(zhuǎn)向元件反射和聚焦后,焦點(diǎn)位于堿金屬蒸氣室內(nèi)腔模的不同位置。

本實(shí)施例中的泵浦光轉(zhuǎn)向元件還可為偏振分光棱鏡(PBS)、中心有孔平面反射鏡等。

實(shí)施例4

如圖7所示,本實(shí)施例提出一種半導(dǎo)體激光器側(cè)面耦合軸向泵浦的堿金屬激光器,包括8個(gè)半導(dǎo)體泵浦源1、2個(gè)堿金屬蒸氣室2和諧振腔,還包括8個(gè)轉(zhuǎn)向元件5,8個(gè)轉(zhuǎn)向元件5與8個(gè)半導(dǎo)體泵浦源1一一對(duì)應(yīng),用于分別改變8個(gè)半導(dǎo)體泵浦源發(fā)出的泵浦光的傳播方向;8個(gè)半導(dǎo)體泵浦源發(fā)出的泵浦光在2個(gè)堿金屬蒸氣室2中最終為近軸光。。

其中,諧振腔包括一反射鏡3和一輸出耦合鏡4,所述2個(gè)蒸氣室置于反射鏡3和輸出耦合鏡4之間;8個(gè)轉(zhuǎn)向元件5采用中心有孔的全反凹面鏡,其中心孔的直徑大于諧振腔腔模的大小,其中2個(gè)轉(zhuǎn)向元件5置于第一堿金屬蒸氣室與第二堿金屬蒸氣室之間,1個(gè)置于輸出耦合鏡與第二堿金屬蒸氣室之間,另1個(gè)置于反射鏡與第一堿金屬蒸氣室之間;2個(gè)置于第一堿金屬蒸氣室內(nèi)部;2個(gè)置于第二堿金屬蒸氣室內(nèi)部;8個(gè)半導(dǎo)體泵浦源1采用環(huán)形半導(dǎo)體激光器,其位置與8個(gè)轉(zhuǎn)向元件一一對(duì)應(yīng),根據(jù)8個(gè)轉(zhuǎn)向元件的焦距,調(diào)節(jié)8個(gè)轉(zhuǎn)向元件的位置,以使半導(dǎo)體泵浦源發(fā)射的泵浦光經(jīng)轉(zhuǎn)向元件反射和聚焦后,焦點(diǎn)位于堿金屬蒸氣室內(nèi)腔模的不同位置,以實(shí)現(xiàn)雙端泵浦。

本實(shí)施例中的泵浦光轉(zhuǎn)向元件還可為偏振分光棱鏡(PBS)、中心有孔平面反射鏡等。

以上所述的具體實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明,應(yīng)理解的是,以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已,并不用于限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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