技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
在旋轉(zhuǎn)保持單元中，通過設(shè)置在旋轉(zhuǎn)板上的多個(gè)卡盤銷以與基板的外周端部抵接的狀態(tài)保持基板，使旋轉(zhuǎn)板圍繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。在清洗單元中，通過頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)使清洗頭一邊按壓被多個(gè)卡盤銷保持的基板的背面一邊移動(dòng)，借助清洗頭的研磨除去基板的背面的異物。借助輔助銷在基板上產(chǎn)生克服清洗頭對(duì)基板的背面施加的負(fù)載的反作用力?；蛘?，通過清洗刷進(jìn)一步對(duì)通過清洗頭清洗后或清洗中的基板的背面進(jìn)行清洗。

技術(shù)研發(fā)人員：西山耕二
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社斯庫(kù)林集團(tuán)
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.25
技術(shù)公布日：2017.08.08