1.一種晶圓夾緊裝置，其特征在于，包括由固定盤（1a）及固定桿（1b）構(gòu)成的轉(zhuǎn)盤（1），導(dǎo)向柱（2）及活動夾（3）；固定盤（1a）位于轉(zhuǎn)盤（1）的中心，固定桿（1b）設(shè)置在固定盤（1a）的周圍；導(dǎo)向柱（2）固定在固定桿（1b）的端部，活動夾（3）鉸接于固定桿（1b）的端部，晶圓（7）放置在導(dǎo)向柱（2）上；活動夾（3）上設(shè)置有彈性裝置，彈性裝置推動活動夾（3）沿鉸接處旋轉(zhuǎn)，周向夾緊放置在導(dǎo)向柱（2）上的晶圓（7）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓夾緊裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向柱（2）上設(shè)置有導(dǎo)向斜面（2a）和臺階（2b），晶圓（7）沿導(dǎo)向斜面（2a）向下，由臺階（2b）限制晶圓（7）的縱向位移。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓夾緊裝置，其特征在于，所述活動夾（3）包括夾板（3a）及立柱（3b），立柱（3b）上設(shè)置有導(dǎo)向孔，彈性裝置設(shè)置在立柱（3b）的導(dǎo)向孔內(nèi)；彈性裝置與固定桿（1b）連接，推動活動夾（3）沿鉸接處轉(zhuǎn)動，夾緊放置在導(dǎo)向柱（2）上的晶圓（7）。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述晶圓夾緊裝置，其特征在于，所述彈性裝置包括調(diào)節(jié)桿（5）及壓簧（6），壓簧（6）套在調(diào)節(jié)桿（5）的外側(cè)，調(diào)節(jié)桿（5）及壓簧（6）的組件安裝在立柱（3b）的導(dǎo)向孔內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓夾緊裝置，其特征在于，所述固定桿（1b）的數(shù)量至少三個，其均布在固定盤（1a）的周圍。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述晶圓夾緊裝置，其特征在于，所述固定桿（1b）及其與固定盤（1a）的連接處為圓弧形結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓夾緊裝置，其特征在于，所述活動夾（3）通過轉(zhuǎn)軸（4）與固定桿（1b）鉸接。