本發(fā)明涉及化學(xué)機(jī)械拋光后清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓夾緊設(shè)備。

背景技術(shù)：

在晶圓加工中，需要化學(xué)機(jī)械拋光處理（Chemical Mechanical Polishing，CMP）。拋光處理后的晶圓需要進(jìn)行清洗作業(yè)。在晶圓清洗工序中，需要對(duì)晶圓進(jìn)行固定。

目前在旋轉(zhuǎn)清洗干燥工藝環(huán)節(jié)中，晶圓固定裝置的結(jié)構(gòu)一般比較復(fù)雜，尤其高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，晶圓受到空氣擾動(dòng)，產(chǎn)生振動(dòng)，影響晶圓潔凈度，影響應(yīng)用加工質(zhì)量。

因此，亟需設(shè)計(jì)一種結(jié)構(gòu)合理的晶圓夾緊裝置，安裝快捷，固定可靠，減少空氣流阻，降低晶圓的振動(dòng)頻率，提高晶圓的顆粒度，保證晶圓加工質(zhì)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供的一種晶圓夾緊裝置，應(yīng)用于化學(xué)機(jī)械拋光后清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，其結(jié)構(gòu)合理，安裝、拆卸快捷，減少空氣流阻，降低晶圓的振動(dòng)頻率，提高晶圓的顆粒度。

本發(fā)明的技術(shù)方案：

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種晶圓夾緊裝置，包括由固定盤及固定桿構(gòu)成的轉(zhuǎn)盤，導(dǎo)向柱及活動(dòng)夾。

固定盤位于轉(zhuǎn)盤的中心，固定桿設(shè)置在固定盤的周圍；導(dǎo)向柱固定在固定桿的端部，活動(dòng)夾鉸接于固定桿的端部，晶圓放置在導(dǎo)向柱上；活動(dòng)夾上設(shè)置有彈性裝置，彈性裝置推動(dòng)活動(dòng)夾沿鉸接處旋轉(zhuǎn)，周向夾緊放置在導(dǎo)向柱上的晶圓。

進(jìn)一步地，所述導(dǎo)向柱上設(shè)置有導(dǎo)向斜面和臺(tái)階，用于晶圓的導(dǎo)向與限位。晶圓沿導(dǎo)向斜面向下，由臺(tái)階限制晶圓的縱向位移。

進(jìn)一步地，活動(dòng)夾包括夾板及立柱，立柱上設(shè)置有導(dǎo)向孔，彈性裝置設(shè)置在立柱的導(dǎo)向孔內(nèi)；彈性裝置與固定桿連接，推動(dòng)活動(dòng)夾沿鉸接處轉(zhuǎn)動(dòng)，夾緊放置在導(dǎo)向柱上的晶圓。通過(guò)彈性裝置，實(shí)現(xiàn)活動(dòng)夾的開合，對(duì)放置在導(dǎo)向柱上的晶圓的夾緊與松開。

進(jìn)一步地，所述彈性裝置包括調(diào)節(jié)桿及壓簧，壓簧套在調(diào)節(jié)桿的外側(cè)，調(diào)節(jié)桿及壓簧的組件安裝在導(dǎo)向孔內(nèi)；彈性裝置結(jié)構(gòu)合理，調(diào)節(jié)靈活，通過(guò)調(diào)節(jié)壓簧的壓縮量，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓夾緊力的調(diào)整，具有較強(qiáng)的適用性。

進(jìn)一步地，所述固定桿的數(shù)量至少三個(gè)，其均布在固定盤的周圍，這樣設(shè)置在固定桿上的導(dǎo)向柱對(duì)晶圓定心，并均勻夾緊，有效保證晶圓夾緊的可靠性。

進(jìn)一步地，所述固定桿及其與固定盤的連接處為圓弧形結(jié)構(gòu)，圓弧形結(jié)構(gòu)有利于減少空氣流阻，降低晶圓旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)，提高晶圓顆粒度。

進(jìn)一步地，所述活動(dòng)夾通過(guò)轉(zhuǎn)軸與固定桿鉸接，以實(shí)現(xiàn)活動(dòng)夾的靈活開合。

本發(fā)明有益效果：

本發(fā)明提供的一種晶圓夾緊裝置，應(yīng)用于化學(xué)機(jī)械拋光后清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，其結(jié)構(gòu)合理，有效解決了現(xiàn)場(chǎng)存在的問(wèn)題，產(chǎn)生以下技術(shù)效果：

（1）本申請(qǐng)所述晶圓夾緊裝置，固定桿及其對(duì)應(yīng)的活動(dòng)夾的數(shù)量至少三個(gè)，且沿固定盤圓周均勻排列，有效保證了夾緊的可靠性；

（2）本申請(qǐng)所述晶圓夾緊裝置，采用具有彈性裝置的活動(dòng)夾，晶圓安裝、拆卸便捷，提高加工效率；

（3）本申請(qǐng)所述晶圓夾緊裝置的主體結(jié)構(gòu)采用圓弧形結(jié)構(gòu)，有效減少空氣流阻，降低晶圓旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)，提高晶圓顆粒度。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的軸測(cè)圖；

圖2是本發(fā)明的剖視圖；

圖3是本發(fā)明之轉(zhuǎn)盤的軸測(cè)圖；

圖4是本發(fā)明之導(dǎo)向柱的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本發(fā)明之活動(dòng)夾的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是本發(fā)明的應(yīng)用實(shí)施例；

圖7是圖6的局部放大圖。

其中：

1.轉(zhuǎn)盤；1a.固定盤；1b.固定桿；2.導(dǎo)向柱；2a.導(dǎo)向斜面；2b.臺(tái)階；3.活動(dòng)夾；3a.夾板；3b.立柱；4.轉(zhuǎn)軸；5.調(diào)節(jié)桿；6.壓簧；7.晶圓。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明的一種晶圓夾緊裝置進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明：

圖1至圖7是本申請(qǐng)所述的一種晶圓夾緊裝置的相關(guān)示意圖。

圖1是一種晶圓夾緊裝置的軸測(cè)圖，其包括轉(zhuǎn)盤1，導(dǎo)向柱2及活動(dòng)夾3。圖2是本發(fā)明的剖視圖，通過(guò)剖視圖可以清晰的表示各個(gè)部件的連接及位置關(guān)系。

轉(zhuǎn)盤1的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖3所示，其包括固定盤1a及固定桿1b，固定盤1a位于轉(zhuǎn)盤1的中心，固定桿1b設(shè)置在固定盤1a的周圍，其直接或間接的與驅(qū)動(dòng)單元連接。

導(dǎo)向柱2固定在固定桿1b的端部，活動(dòng)夾3鉸接于固定桿1b的端部，晶圓7放置在導(dǎo)向柱2上，活動(dòng)夾3上設(shè)置有彈性裝置，彈性裝置推動(dòng)活動(dòng)夾3沿鉸接處旋轉(zhuǎn)，周向夾緊放置在導(dǎo)向柱2上的晶圓7（圖6示出）。

圖4是本發(fā)明之導(dǎo)向柱的結(jié)構(gòu)示意圖，導(dǎo)向柱2上設(shè)置有導(dǎo)向斜面2a及臺(tái)階2b，晶圓7沿導(dǎo)向斜面2a向下，由臺(tái)階2b限制晶圓7的縱向位移；所述固定桿1b的數(shù)量至少三個(gè)，其均布在固定盤1a的周圍。在圖6所示的實(shí)施例中，固定桿1b的數(shù)量為四個(gè)，固定桿1b呈十字形固定在固定盤1a上（如圖3所示）。這樣設(shè)置在固定桿上的導(dǎo)向柱對(duì)晶圓定心，并均勻夾緊，有效保證晶圓夾緊的可靠性。

本發(fā)明之活動(dòng)夾的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖5所示?；顒?dòng)夾3包括夾板3a及立柱3b，立柱3b上設(shè)置有導(dǎo)向孔，彈性裝置設(shè)置在立柱3b的導(dǎo)向孔內(nèi)；彈性裝置與固定桿1b連接，推動(dòng)活動(dòng)夾3沿鉸接處轉(zhuǎn)動(dòng)，夾緊放置在導(dǎo)向柱2上的晶圓7。

圖7是圖6的局部放大圖，所述彈性裝置包括調(diào)節(jié)桿5及壓簧6，壓簧6套在調(diào)節(jié)桿5的外側(cè)，調(diào)節(jié)桿5及壓簧6的組件安裝在導(dǎo)向孔內(nèi)，螺母擰在活動(dòng)夾3上，以壓緊壓簧6。本發(fā)明所述的彈性裝置結(jié)構(gòu)合理，調(diào)節(jié)靈活，通過(guò)調(diào)節(jié)壓簧6的壓縮量，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓夾緊力的調(diào)整，具有較強(qiáng)的適用性。

在本發(fā)明中，所述固定桿1b及其與固定盤1a的連接處為圓弧形結(jié)構(gòu)，圓弧形結(jié)構(gòu)有利于減少空氣流阻，降低晶圓旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)，提高晶圓顆粒度。

下面結(jié)合圖6所示實(shí)施例，描述晶圓夾緊裝置的具體使用步驟。

首先，晶圓7經(jīng)過(guò)化學(xué)機(jī)械拋光處理后，活動(dòng)夾3上的立柱3b被推動(dòng)裝置推動(dòng)，活動(dòng)夾3上部的夾板3a打開；

接著，將晶圓7沿著導(dǎo)向柱2上的導(dǎo)向斜面2a下落，然后水平擱在導(dǎo)向柱2上的臺(tái)階2b上；

最后，脫開推動(dòng)裝置，在壓簧6的作用下，活動(dòng)夾3上的夾板3a向中心夾緊，將晶圓7夾緊。

本發(fā)明提供的一種晶圓夾緊裝置，應(yīng)用于化學(xué)機(jī)械拋光后清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，其結(jié)構(gòu)合理，安裝快捷，固定可靠；主體采用圓弧形結(jié)構(gòu)，減少空氣流阻，降低晶圓的振動(dòng)頻率，提高晶圓的顆粒度，保證晶圓加工質(zhì)量。

本發(fā)明不局限于上述實(shí)施方式，任何人在本發(fā)明的啟示下都可得出其他各種形式的產(chǎn)品，但不論在其形狀或結(jié)構(gòu)上作任何變化，凡是具有與本申請(qǐng)相同或相近似的技術(shù)方案，均落在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。