技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種蒸鍍裝置，包括：主基板，輔助基板，其中，所述主基板包括掩膜版吸附部。本實(shí)用新型提供的蒸鍍裝置，有效的避免了蒸鍍過程中，基板在對位過程中由于自身重量而下垂，導(dǎo)致掩膜版與基板對位誤差較大問題，提高產(chǎn)品良率。

技術(shù)研發(fā)人員：郭建華
受保護(hù)的技術(shù)使用者：長春海譜潤斯科技有限公司
文檔號碼：201621464876
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.29
技術(shù)公布日：2017.06.27