蒸鍍設(shè)備的制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及顯示器制備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種蒸鍍設(shè)備，包括：工藝坩堝；預(yù)熔坩堝，預(yù)熔坩堝用于熔化和存儲蒸鍍材料；加熱源，為預(yù)熔坩堝提供熱量；搬運機構(gòu)，用于夾持預(yù)熔坩堝、并驅(qū)動預(yù)熔坩堝為工藝坩堝添加液態(tài)化的蒸鍍材料。本實用新型提供的蒸鍍設(shè)備，通過設(shè)置預(yù)熔坩堝、加熱源和搬運機構(gòu)，可以使得每次工藝坩堝內(nèi)的蒸鍍材料低于一定質(zhì)量時，直接將液態(tài)的蒸鍍材料添加至工藝坩堝內(nèi)，這樣可以保持工藝坩堝在高溫狀態(tài)下，直接添加蒸鍍材料，不需要往復調(diào)節(jié)工藝坩堝的溫度。本實用新型提供的蒸鍍設(shè)備，可以減少工藝腔體的開腔頻率，也可以減少工藝腔體內(nèi)的氣氛變差現(xiàn)象的發(fā)生，提高蒸鍍設(shè)備蒸鍍的膜的品質(zhì)。
【專利說明】
蒸鍍設(shè)備
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及顯示器制備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種蒸鍍設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]目前的有機電激光顯示(Organic Light-Emitting D1de，0LED)在制備時，一般采用真空蒸鍍技術(shù)形成膜層，即利用蒸鍍機，在真空環(huán)境下，升溫加熱材料，使材料熔化揮發(fā)或者升華，在玻璃基板上沉積一層層有機材料，形成OLED器件。
[0003]由于OLED器件的陰極一般使用金屬材料，例如鋁、鎂銀合金等。鋁的熔化溫度約750°C，工藝溫度約1200°C，所使用的坩禍材質(zhì)一般為氮化鋁等耐高溫的陶瓷材料。
[0004]目前蒸鍍機中金屬材料(鋁)的填料裝置和方式有2種:
[0005]第一種:如圖1所示，圖1為現(xiàn)有技術(shù)的填料裝置的一種結(jié)構(gòu)示意圖，填料裝置包括:鋁線盤轉(zhuǎn)動機構(gòu)01，即加熱源旁邊有鋁線盤轉(zhuǎn)動機構(gòu)，鋁線盤轉(zhuǎn)動機01轉(zhuǎn)動時，鋁線盤轉(zhuǎn)動機01中的鋁線斜向伸入工藝坩禍02中，此時工藝坩禍02中的鋁液處于工藝溫度之上，當鋁線接近鋁液面時，鋁線便熔化滴入鋁液中，從而實現(xiàn)連續(xù)自動填料。
[0006]第二種:如圖2所示，圖2為現(xiàn)有技術(shù)的填料裝置的另一種結(jié)構(gòu)示意圖，填料裝置包括:鋁球轉(zhuǎn)盤03，位于鋁球轉(zhuǎn)盤03下方的旋轉(zhuǎn)填料盤04，當工藝坩禍02中的鋁液不足于保持膜厚均一性時，在高于工藝溫度的情況下，工藝坩禍02快速揮發(fā)其內(nèi)的殘余材料，待速率監(jiān)測系統(tǒng)監(jiān)測工藝坩禍02無蒸發(fā)速率后，表示工藝坩禍中的鋁液已揮發(fā)完畢，此時將工藝坩禍02的溫度逐漸降低至200°C以下，通過鋁球轉(zhuǎn)盤03將鋁顆粒添加到旋轉(zhuǎn)填料盤04內(nèi)，旋轉(zhuǎn)填料盤04旋轉(zhuǎn)至工藝坩禍02上方，將鋁顆粒添加至工藝坩禍02內(nèi)。
[0007]此兩種方式均有不足之處，第一種方式中，由于鋁線是斜向伸入坩禍中的，鋁線要接近鋁液面才能熔化，若故障，鋁線添加不及時，導致鋁液面低于一定程度，再次恢復添加鋁線時，鋁線無法接觸到鋁液面，而是直接觸碰到坩禍內(nèi)壁，由于坩禍是氮化鋁之類的陶瓷材料，而且在1200°C的高溫下，坩禍極容易開裂損壞，從而導致整個坩禍里的鋁液泄漏至加熱源里，損毀加熱源;第二種方式，雖然不會直接損毀坩禍，但是由于每次使用完鋁液后，需要高溫加熱，并往復升降溫，嚴重縮短使用壽命，且整個非使用時間大約有8小時，填料效率較低，同時也會降低工藝坩禍的蒸鍍效率。
【實用新型內(nèi)容】
[0008]本實用新型提供了一種蒸鍍設(shè)備，用以提高蒸鍍設(shè)備蒸鍍的膜的品質(zhì)，提高蒸鍍效率。
[0009]為達到上述目的，本實用新型提供以下技術(shù)方案:
[0010]本實用新型提供了一種蒸鍍設(shè)備，包括:
[0011]工藝坩禍；
[0012]預(yù)熔坩禍，所述預(yù)熔坩禍用于熔化和存儲蒸鍍材料；
[0013]加熱源，為所述預(yù)熔坩禍提供熱量；
[0014]搬運機構(gòu)，用于夾持所述預(yù)熔坩禍、并驅(qū)動所述預(yù)熔坩禍為所述工藝坩禍添加液態(tài)化的蒸鍍材料。
[0015]本實用新型提供的蒸鍍設(shè)備，通過設(shè)置預(yù)熔坩禍、加熱源和搬運機構(gòu)，可以使得每次工藝坩禍內(nèi)的蒸鍍材料低于一定質(zhì)量時，直接將液態(tài)的蒸鍍材料添加至工藝坩禍內(nèi)，這樣可以保持工藝坩禍在高溫狀態(tài)下，直接添加蒸鍍材料，不需要往復調(diào)節(jié)工藝坩禍的溫度。
[0016]由于本實用新型提供的蒸鍍設(shè)備，可以直接為工藝坩禍添加液態(tài)的蒸鍍材料，故，本實用新型提供的蒸鍍設(shè)備，可以減少工藝腔體的開腔頻率，也可以減少工藝腔體內(nèi)的氣氛變差現(xiàn)象的發(fā)生，提高蒸鍍設(shè)備蒸鍍的膜的品質(zhì)。
[0017]為了保持預(yù)熔坩禍內(nèi)蒸鍍材料的量，可以設(shè)置一填料裝置，可以為預(yù)熔坩禍不斷添加固態(tài)的蒸鍍材料。
[0018]在一些可選的實施方式中，所述搬運機構(gòu)為機械手。
[0019]在一些可選的實施方式中，所述機械手的夾持端上均設(shè)有絕熱單元。絕熱單元的設(shè)置一方面可以防止預(yù)熔坩禍溫度過高，對機械手的夾持端造成腐蝕，另一方面可以減緩預(yù)熔坩禍溫度降低的速度。上述絕熱單元的材料可以為石英棉等，這里就不再一一贅述。
[0020]在一些可選的實施方式中，所述絕熱單元與所述預(yù)熔坩禍接觸的部分上均設(shè)有用于給所述預(yù)熔坩禍加熱的加熱單元。加熱單元的設(shè)置可以保證預(yù)熔坩禍在被從加熱源中移出進行填料時，預(yù)熔坩禍的溫度降低的現(xiàn)象的發(fā)生，進而可以減少液態(tài)的蒸鍍材料再次凝固的現(xiàn)象的發(fā)生。
[0021]在一些可選的實施方式中，所述預(yù)熔坩禍外露出所述加熱源的部分為所述預(yù)熔坩禍高度的1/3?1/10。這樣的設(shè)置，便于搬運機構(gòu)夾持預(yù)熔坩禍。
[0022]在一些可選的實施方式中，所述預(yù)熔坩禍的外輪廓為圓柱形，所述預(yù)熔坩禍的一端設(shè)有導液口。導熱口的設(shè)置便于預(yù)熔坩禍傾倒蒸鍍材料。
[0023]在一些可選的實施方式中，所述機械手的夾持端包括:兩個半圓形的子夾持部?？梢允沟脢A持端可以夾持不同半徑的圓柱形的預(yù)熔坩禍。
[0024]在一些可選的實施方式中，所述預(yù)熔坩禍為金屬材料的預(yù)熔坩禍。金屬材料的預(yù)熔坩禍的導熱性較好，便于其內(nèi)的蒸鍍材料熔化。
[0025]在一些可選的實施方式中，所述蒸鍍材料為鋁，所述預(yù)熔坩禍被所述加熱源加熱時的溫度為850°C?1100°C之間。鋁的熔化溫度大約在750°C左右，鋁發(fā)生揮發(fā)的溫度大約在1200°C左右，故將所述坩禍被所述加熱源加熱時的溫度控制在850°C?1100°C之間，可以即保證鋁熔化，用保證鋁不會大量揮發(fā)。
[0026]在一些可選的實施方式中，上述蒸鍍設(shè)備還包括:
[0027]用于容納所述工藝坩禍的第一腔室；
[0028]用于容納所述預(yù)熔坩禍的第二腔室，且所述第一腔室和所述第二腔室通過閥門連通。當不需要給工藝坩禍填料時，保持第一腔室是封閉狀態(tài)，當需要填料時再第一腔室打開，可以避免第一腔室溫度不斷變化的現(xiàn)象的發(fā)生，因為在蒸鍍成膜時，第一腔室內(nèi)部會沉積一層金屬薄膜，金屬薄膜特別是Ag薄膜很容易氧化，并且吸水，第一腔室溫度變化，會使得金屬薄膜吸附的水和氧等慢慢的釋放，使得工藝腔體的氣氛變差，從而影響后續(xù)的成膜品質(zhì)。
【附圖說明】
[0029]此處所說明的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，構(gòu)成本實用新型的一部分，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型的不當限定。在附圖中:
[0030]圖1為現(xiàn)有技術(shù)的填料裝置的一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031 ]圖2為現(xiàn)有技術(shù)的填料裝置的另一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖3為本實用新型提供的蒸鍍設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖4為本實用新型提供的蒸鍍設(shè)備的一種使用狀態(tài)圖；
[0034]圖5為本實用新型提供的機械手的夾持端的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0035]圖中:
[0036]01-鋁線盤轉(zhuǎn)動機構(gòu)02-工藝坩禍
[0037]03-鋁球轉(zhuǎn)盤04-旋轉(zhuǎn)填料盤
[0038]1-工藝坩禍2-預(yù)熔坩禍
[0039]3-搬運機構(gòu)31-子夾持部
[0040]4-第一腔室5-第二腔室[0041 ] 6-傳感器
【具體實施方式】
[0042]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。
[0043]如圖3所示，圖3為本實用新型提供的蒸鍍設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；本實用新型提供了一種蒸鍍設(shè)備，包括:
[0044]工藝坩禍I;
[0045]預(yù)熔坩禍2，預(yù)熔坩禍2用于熔化和存儲蒸鍍材料；
[0046]加熱源，為預(yù)熔坩禍2提供熱量；
[0047]搬運機構(gòu)3，用于夾持預(yù)熔坩禍2、并驅(qū)動預(yù)熔坩禍2為工藝坩禍I添加液態(tài)化的蒸鍍材料。
[0048]本實用新型提供的蒸鍍設(shè)備，通過設(shè)置預(yù)熔坩禍2、加熱源和搬運機構(gòu)3，可以使得每次工藝坩禍I內(nèi)的蒸鍍材料低于一定質(zhì)量時，直接將液態(tài)的蒸鍍材料添加至工藝坩禍I內(nèi)，這樣可以保持工藝坩禍I在高溫狀態(tài)下，直接添加蒸鍍材料，不需要往復調(diào)節(jié)工藝坩禍I的溫度。
[0049]由于本實用新型提供的蒸鍍設(shè)備，可以直接為工藝坩禍I添加液態(tài)的蒸鍍材料，故，本實用新型提供的蒸鍍設(shè)備，可以減少工藝腔體的開腔頻率，也可以減少工藝腔體內(nèi)的氣氛變差現(xiàn)象的發(fā)生，提高蒸鍍設(shè)備蒸鍍的膜的品質(zhì)。
[0050]上述搬運機構(gòu)3的具體結(jié)構(gòu)可以有多種，可選的，搬運機構(gòu)3為機械手。機械手可以各個方向上自由移動和旋轉(zhuǎn)。
[0051]進一步的，機械手的夾持端上均設(shè)有絕熱單元。絕熱單元的設(shè)置一方面可以防止預(yù)熔坩禍2溫度過高，對機械手的夾持端造成腐蝕，另一方面可以減緩預(yù)熔坩禍2溫度降低的速度。上述絕熱單元的材料可以為石英棉等，這里就不再一一贅述。
[0052]更進一步的，絕熱單元與預(yù)熔坩禍2接觸的部分上均設(shè)有用于給預(yù)熔坩禍2加熱的加熱單元。加熱單元的設(shè)置可以保證預(yù)熔坩禍2在被從加熱源中移出進行填料時，預(yù)熔坩禍2的溫度降低的現(xiàn)象的發(fā)生，進而可以減少液態(tài)的蒸鍍材料再次凝固的現(xiàn)象的發(fā)生。
[0053]為了便于搬運機構(gòu)3夾持預(yù)熔坩禍2，預(yù)熔坩禍2外露出加熱源的部分為預(yù)熔坩禍2高度的1/3?1/10。
[0054]上述預(yù)熔坩禍2的外輪廓的具體形狀可以有多種，可選的，如圖4所示，圖4為本實用新型提供的蒸鍍設(shè)備的一種使用狀態(tài)圖；預(yù)熔坩禍2的外輪廓為圓柱形，預(yù)熔坩禍2的一端設(shè)有導液口。導熱口的設(shè)置便于預(yù)熔坩禍2傾倒蒸鍍材料。預(yù)熔坩禍2上還設(shè)有蓋，可以進一步防止其內(nèi)的蒸鍍材料揮發(fā)。
[0055]為了便于對預(yù)熔坩禍2進行夾持，如圖5所示，圖5為本實用新型提供的機械手的夾持端的結(jié)構(gòu)示意圖，機械手的夾持端包括:兩個半圓形的子夾持部31?？梢允沟脢A持端可以夾持不同半徑的圓柱形的預(yù)熔坩禍2。
[0056]優(yōu)選的，上述預(yù)熔坩禍2為金屬材料的預(yù)熔坩禍2。金屬材料的預(yù)熔坩禍2的導熱性較好，便于其內(nèi)的蒸鍍材料熔化。
[0057]現(xiàn)有的蒸鍍材料一般為鋁，當蒸鍍材料為鋁時，預(yù)熔坩禍2被加熱源加熱時的溫度為850°C?1100°C之間。鋁的熔化溫度大約在750°C左右，鋁發(fā)生揮發(fā)的溫度大約在1200°C左右，故將坩禍被加熱源加熱時的溫度控制在850°C?1100°C之間，可以即保證鋁熔化，用保證鋁不會大量揮發(fā)。
[0058]如圖1所示，上述蒸鍍設(shè)備還包括:
[0059]用于容納工藝坩禍I的第一腔室4;
[0060]用于容納預(yù)熔坩禍2的第二腔室5，且第一腔室4和第二腔室5通過閥門連通。當不需要給工藝坩禍I填料時，保持第一腔室4是封閉狀態(tài)，當需要填料時再第一腔室4打開，可以避免第一腔室4溫度不斷變化的現(xiàn)象的發(fā)生，因為在蒸鍍成膜時，第一腔室4內(nèi)部會沉積一層金屬薄膜，金屬薄膜特別是Ag薄膜很容易氧化，并且吸水，第一腔室4溫度變化，會使得金屬薄膜吸附的水和氧等慢慢的釋放，使得工藝腔體的氣氛變差，從而影響后續(xù)的成膜品質(zhì)。
[0061]進一步，如圖5所示，圖5為本實用新型提供的機械手的夾持端的結(jié)構(gòu)示意圖。上述蒸鍍設(shè)備還包括:
[0062]用于檢測工藝坩禍I內(nèi)的蒸鍍材料重量的傳感器6;
[0063]與傳感器6、閥門以及搬運機構(gòu)3信號連接的控制器，控制器用于:
[0064]當坩禍內(nèi)的蒸鍍材料的重量小于第一預(yù)設(shè)值時，控制閥門打開、搬運機構(gòu)3驅(qū)動預(yù)熔坩禍2由第二腔室5移動至第一腔室4為工藝坩禍I添加液態(tài)化的蒸鍍材料；
[0065]當坩禍內(nèi)的蒸鍍材料的重量大于第二預(yù)設(shè)值時，控制搬運機構(gòu)3停止為工藝坩禍I添加液態(tài)化的蒸鍍材料，返回第二腔室5，并控制閥門關(guān)閉，其中:第二預(yù)設(shè)值大于第一預(yù)設(shè)值。便于蒸鍍設(shè)備自動填料，可以進一步提高蒸鍍效率。上述第一預(yù)設(shè)值和第二預(yù)設(shè)值可以根據(jù)實際需要設(shè)定，第一預(yù)設(shè)值可以為工藝坩禍I總量的1%?50%，第二預(yù)設(shè)值可以為工藝坩禍I總量的50%?90%。
[0066]上述蒸鍍設(shè)備的具體填料過程為:
[0067]在預(yù)熔坩禍2里添加鋁顆粒，然后加熱熔融，并保持溫度在100tC左右，使鋁不會固化，也不會有較高的蒸發(fā)速率。第一腔室4的工藝坩禍I里的材料通過傳感器6監(jiān)測，當監(jiān)測到的鋁的重量低于坩禍填料總量的1%_50%時，開始準備填料，連通第一腔室4和第二腔室5的閥門打開，機械手臂取出預(yù)熔坩禍2，移動到需要填料的工藝坩禍I上方，機械手臂開始旋轉(zhuǎn)，使鋁液流出，從預(yù)熔坩禍2內(nèi)落入工藝坩禍I，當傳感器6監(jiān)測到的鋁的重量超過填料總量的50%-90%時，機械手臂回轉(zhuǎn)，停止倒入鋁液。填料結(jié)束后，機械手臂收回到第二腔室5，把預(yù)熔坩禍2放入加熱源里，并通過一填料裝置，向預(yù)熔坩禍2內(nèi)倒入鋁顆粒，使預(yù)熔坩禍2里保持下一次需要的填料量。
[0068]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種蒸鍍設(shè)備，其特征在于，包括: 工藝坩禍； 預(yù)熔坩禍，所述預(yù)熔坩禍用于熔化和存儲蒸鍍材料； 加熱源，為所述預(yù)熔坩禍提供熱量； 搬運機構(gòu)，用于夾持所述預(yù)熔坩禍、并驅(qū)動所述預(yù)熔坩禍為所述工藝坩禍添加液態(tài)化的蒸鍍材料。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍設(shè)備，其特征在于，所述搬運機構(gòu)為機械手。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍設(shè)備，其特征在于，所述機械手的夾持端上均設(shè)有絕熱單J L ο4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的蒸鍍設(shè)備，其特征在于，所述絕熱單元與所述預(yù)熔坩禍接觸的部分上均設(shè)有用于給所述預(yù)熔坩禍加熱的加熱單元。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍設(shè)備，其特征在于，所述預(yù)熔坩禍外露出所述加熱源的部分為所述預(yù)熔坩禍高度的1/3?1/10。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍設(shè)備，其特征在于，所述預(yù)熔坩禍的外輪廓為圓柱形，所述預(yù)熔坩禍的一端設(shè)有導液口。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的蒸鍍設(shè)備，其特征在于，所述機械手的夾持端包括:兩個半圓形的子夾持部。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍設(shè)備，其特征在于，所述預(yù)熔坩禍為金屬材料的預(yù)熔坩禍。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍設(shè)備，其特征在于，所述蒸鍍材料為鋁，所述預(yù)熔坩禍被所述加熱源加熱時的溫度為850 °C?1100 °C之間。10.根據(jù)權(quán)利要求1?9任一項所述的蒸鍍設(shè)備，其特征在于，還包括: 用于容納所述工藝坩禍的第一腔室； 用于容納所述預(yù)熔坩禍的第二腔室，且所述第一腔室和所述第二腔室通過閥門連通。
【文檔編號】C23C14/24GK205420530SQ201620212216
【公開日】2016年8月3日
【申請日】2016年3月17日
【發(fā)明人】鄒清華, 姚固, 王玉, 曾蘇偉
【申請人】合肥鑫晟光電科技有限公司, 京東方科技集團股份有限公司