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全耗盡鐵電側(cè)柵單根納米線近紅外光電探測器的制作方法

文檔序號:12715269閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種全耗盡鐵電側(cè)柵單根納米線近紅外光電探測器,其特征在于:

所述的探測器的結(jié)構:在P型Si襯底(1)上是SiO2氧化層(2)、在SiO2氧化層(2)上制備有InP或CdS納米線(3),在InP或CdS納米線(3)納米線兩端是源或漏電極(4)、在其兩側(cè)有側(cè)柵電極(5),鐵電聚合物薄膜(6)覆蓋在InP或CdS納米線(3)及電極上,并且保證每個電極有部分裸露在外;

所述的P型Si襯底(1)是硼重摻雜,電阻率小于0.05Ω·cm;

所述的SiO2氧化層(2)厚度是110nm;

所述的InP或CdS納米線(3)長度是5μm到20μm,直徑是50nm到300nm;

所述的源或漏電極(4)是金屬Cr和Au,厚度分別是15和50nm;

所述的側(cè)柵電極(5)是金屬Cr和Au,厚度分別是15和50nm,與納米線距離是300nm;

所述的鐵電聚合物薄膜(6)是聚偏氟乙烯基[P(VDF-TrFE)],厚度是200nm。

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