1.一種適用于管式PECVD的石墨舟，包括石墨舟舟片(1)，所述石墨舟舟片(1)上沿所述石墨舟舟片(1)的長度方向間隔開設有復數(shù)個卡槽(2)，其特征在于，每個所述卡槽(2)的外邊緣均設置有用于放置硅片(6)的卡點，所述卡點包括位于所述卡槽(2)的一側(cè)部的第一卡點(3)、位于所述卡槽(2)的另一側(cè)部的第二卡點(4)及位于所述卡槽(2)的底部的第三卡點(5)，其中，
所述第一卡點(3)位于區(qū)域d，所述區(qū)域d為所述第一卡點(3)對應的所述硅片(6)的側(cè)邊的邊長a從下至上的[1/2，3/4]之間的區(qū)域；
所述第二卡點(4)位于區(qū)域c，所述區(qū)域c為所述第二卡點(4)對應的所述硅片(6)的側(cè)邊的邊長a從下至上的[1/2，1)之間的區(qū)域；
所述第三卡點(5)位于區(qū)域b，所述區(qū)域b為所述第三卡點(5)對應的所述硅片(6)的底邊的邊長a從左至右的[1/2，1)之間的區(qū)域。
2.根據(jù)權利要求1所述的石墨舟，其特征在于，
所述第二卡點(4)位于所述第二卡點(4)對應的所述硅片(6)的側(cè)邊的邊長a從下至上的[1/2，3/4]之間的區(qū)域；
所述第三卡點(5)位于所述第三卡點(5)對應的所述硅片(6)的底邊的邊長a從左至右的[1/2，3/4]之間的區(qū)域。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的石墨舟，其特征在于，
所述第三卡點(5)位于所述第三卡點(5)對應的所述硅片(6)的底邊的邊長a的1/2位置處。
4.根據(jù)權利要求3所述的石墨舟，其特征在于，
所述第一卡點(3)和所述第二卡點(4)分別位于所述硅片(6)的兩個側(cè)邊的同一高度位置處，以使所述第一卡點(3)、所述第二卡點(4)及所述第三卡點(5)依次連接后形成等腰或等邊三角形。
5.根據(jù)權利要求1所述的石墨舟，其特征在于，
所述卡點還包括位于所述卡槽(2)的底部的第四卡點(7)，
所述第四卡點(7)位于區(qū)域h，所述區(qū)域h為所述第四卡點(7)對應的所述硅片(6)的底邊的邊長a從左至右的(0，1/2]之間的區(qū)域。
6.根據(jù)權利要求5所述的石墨舟，其特征在于，
所述第二卡點(4)位于所述第二卡點(4)對應的所述硅片(6)的側(cè)邊的邊長a從下至上的[1/2，3/4]之間的區(qū)域。
7.根據(jù)權利要求5或6所述的石墨舟，其特征在于，
所述第三卡點(5)位于所述第三卡點(5)對應的所述硅片(6)的底邊的邊長a從左至右的[5/8，7/8]之間的區(qū)域；
所述第四卡點(7)位于所述第四卡點(7)對應的所述硅片(6)的底邊的邊長a從左至右的[1/8，3/8]之間的區(qū)域。
8.根據(jù)權利要求7所述的石墨舟，其特征在于，
所述第一卡點(3)和所述第二卡點(4)分別位于所述硅片(6)的兩個側(cè)邊的同一高度位置處，所述第三卡點(5)和所述第四卡點(7)分別對稱設置于所述硅片(6)的底邊的中點的兩側(cè)，以使所述第一卡點(3)、所述第二卡點(4)、所述第三卡點(5)及所述第四卡點(7)依次連接后形成等腰梯形。
9.根據(jù)權利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述卡點與所述石墨舟舟片(1)為一體式結(jié)構(gòu)。