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一種雙面超導(dǎo)薄膜開關(guān)的制作方法

文檔序號(hào):11762465閱讀:305來源:國知局
一種雙面超導(dǎo)薄膜開關(guān)的制作方法與工藝

本實(shí)用新型涉及一種薄膜開關(guān),具體涉及一種雙面超導(dǎo)薄膜開關(guān)。



背景技術(shù):

超導(dǎo)磁體提供穩(wěn)定強(qiáng)磁場,同時(shí)又可以作為儲(chǔ)能器件;已應(yīng)用到工業(yè)、醫(yī)療、電力系統(tǒng)等行業(yè);而超導(dǎo)開關(guān)在超導(dǎo)磁體充放電中更是起著關(guān)鍵作用;超導(dǎo)開關(guān)是利用超導(dǎo)體的零電阻特性實(shí)現(xiàn)閉環(huán)運(yùn)行、利用超導(dǎo)體失超產(chǎn)生電阻實(shí)現(xiàn)斷路作用的開關(guān);目前現(xiàn)有的超導(dǎo)開關(guān)主要分為以下幾類:機(jī)械式超導(dǎo)開關(guān)通過控制兩個(gè)超導(dǎo)塊材的接觸與否實(shí)現(xiàn)超導(dǎo)開關(guān)的導(dǎo)通與關(guān)斷,但是在多次使用后機(jī)械磨損,存在安全隱患;光控式超導(dǎo)開關(guān)依靠激光脈沖控制超導(dǎo)薄膜淬滅,但造價(jià)昂貴。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型提供一種通過雙面超導(dǎo)薄膜內(nèi)部自行控制,減小超導(dǎo)開關(guān)整體結(jié)構(gòu)大小節(jié)省空間和成本的雙面超導(dǎo)薄膜開關(guān)。

本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種雙面超導(dǎo)薄膜開關(guān),包括從上到下排布的上超導(dǎo)層、基底層和下超導(dǎo)層;上超導(dǎo)層和下超導(dǎo)層中的其中一層與超導(dǎo)磁體并聯(lián)后連接主回路,另一層連接觸發(fā)回路。

進(jìn)一步的,所述上超導(dǎo)層和下超導(dǎo)層均采用YBCO超導(dǎo)薄膜。

進(jìn)一步的,所述超導(dǎo)層與基底層之間設(shè)置有上緩沖層。

進(jìn)一步的,所述下超導(dǎo)層與基底層之間設(shè)置有下緩沖層。

進(jìn)一步的,所述上超導(dǎo)層靠近基底層一側(cè)設(shè)置有上緩沖層,遠(yuǎn)離基底層一側(cè)設(shè)置有上金屬層;下超導(dǎo)層靠近基底層一側(cè)設(shè)置有下緩沖層,遠(yuǎn)離基底層一側(cè)設(shè)置有下金屬層。

進(jìn)一步的,所述基底層采用氧化鋁或氧化鎂。

進(jìn)一步的,所述上緩沖層和下緩沖層采用氧化鈰。

進(jìn)一步的,所述上金屬層和下金屬層均采用銅、金、銀、鍍金金屬或鍍銀金屬中的一種。

本實(shí)用新型的有益效果是:

(1)本實(shí)用新型不需要外加裝置,不改變外磁場,利用雙面超導(dǎo)薄膜一面失超后產(chǎn)生熱量并通過基底層傳熱影響另一面臨界電流值從而進(jìn)行自行控制;

(2)本實(shí)用新型節(jié)約制作成本、結(jié)構(gòu)簡單,超導(dǎo)開關(guān)體積大大減小。

附圖說明

圖1為雙面超導(dǎo)薄膜開關(guān)電路圖。

圖2為雙面超導(dǎo)薄膜結(jié)構(gòu)。

圖3a-b為雙面超導(dǎo)薄膜臨界電流示意圖,其中圖3a為A層失超臨界電流測量結(jié)果,圖3b為B層失超臨界電流測量結(jié)果。

圖4a-b為雙面超導(dǎo)薄膜串聯(lián)失超伏安特性曲線圖,其中圖4a為A、B層串聯(lián)1A/min下的失超臨界電流測量結(jié)果,圖4b為A、B層串聯(lián)2A/min下的失超臨界電流測量結(jié)果。

圖中:1-基底層,2-上緩沖層,3-上超導(dǎo)層,4-上金屬層,5-下緩沖層,6-下超導(dǎo)層,7-下金屬層,8-可插拔電流引線,9-雙面超導(dǎo)薄膜A層,10-雙面超導(dǎo)薄膜B層,11-超導(dǎo)磁體。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明。

一種雙面超導(dǎo)薄膜開關(guān),包括從上到下排布的上超導(dǎo)層3、基底層1和下超導(dǎo)層6;上超導(dǎo)層3和下超導(dǎo)層6中的其中一層與超導(dǎo)磁體11并聯(lián)后連接主回路,另一層連接觸發(fā)回路。

進(jìn)一步的,所述上超導(dǎo)層3和下超導(dǎo)層6均采用YBCO超導(dǎo)薄膜。

進(jìn)一步的,所述上超導(dǎo)層3與基底層1之間設(shè)置有上緩沖層2,直接在基底層1上沉積超導(dǎo)薄膜,其薄膜超導(dǎo)性不好;因?yàn)榕c間晶格常數(shù)、熱膨脹系數(shù)差別大,且在基底層1與超導(dǎo)薄膜之間發(fā)生嚴(yán)重的擴(kuò)散;緩沖層2可以增強(qiáng)基底層1與超導(dǎo)薄膜之間的晶格適配度,拉近兩者在熱膨脹系數(shù)等物理性質(zhì)方面的差異,并防止兩者間的擴(kuò)散和反應(yīng)。

進(jìn)一步的,所述下超導(dǎo)層6與基底層1之間設(shè)置有下緩沖層5。

進(jìn)一步的,所述上超導(dǎo)層3靠近基底層1一側(cè)設(shè)置有上緩沖層2,遠(yuǎn)離基底層一側(cè)設(shè)置有上金屬層4;下超導(dǎo)層3靠近基底層1一側(cè)設(shè)置有下緩沖層5,遠(yuǎn)離基底層1一側(cè)設(shè)置有下金屬層7;設(shè)置金屬層,將金屬層作為分流層,避免失超后超導(dǎo)層產(chǎn)生過多焦耳熱燒壞薄膜造成損壞。

進(jìn)一步的,所述基底層1采用氧化鋁或氧化鎂。

進(jìn)一步的,所述上緩沖層2和下緩沖層5采用氧化鈰。

進(jìn)一步的,所述上金屬層4和下金屬層7均采用銅、金、銀、鍍金金屬或鍍銀金屬中的一種。

其中雙面超導(dǎo)薄膜A層9和雙面超導(dǎo)薄膜B層10均為依次連接的CeO2緩沖層--YBCO超導(dǎo)層-Au層;使用時(shí),充磁過程如下:當(dāng)雙面超導(dǎo)薄膜處于超導(dǎo)狀態(tài),可插拔電流引線8斷開時(shí),超導(dǎo)磁體11閉環(huán)運(yùn)行;可插拔電流引線8閉合,當(dāng)直流電源DC2增大電流超過雙面超導(dǎo)薄膜B層10臨界電流,超導(dǎo)薄膜B層10失超發(fā)熱通過基底層1影響超導(dǎo)薄膜A層9失超,從而使其斷開,給超導(dǎo)磁體勵(lì)磁,達(dá)到預(yù)定值后,勵(lì)磁過程結(jié)束;DC2減小電流等待超導(dǎo)薄膜B層從常態(tài)轉(zhuǎn)換到超導(dǎo)態(tài),直流電源DC1減小電流到0,使得超導(dǎo)薄膜A層9與超導(dǎo)磁體11達(dá)到閉環(huán)運(yùn)行,同時(shí)斷開可插拔電源引線8;退磁過程如下:閉合可插拔電源引線8,直流電源DC1電流增大,使得DC1電流等于超導(dǎo)磁體11電流,同時(shí)DC2增大電流,雙面超導(dǎo)薄膜B層10失超影響雙面超導(dǎo)薄膜A層9從而斷開,保持雙面YBCO超導(dǎo)薄膜失超,降低DC1電流至零,實(shí)現(xiàn)超導(dǎo)磁體11退磁過程。

本實(shí)用新型可以在不添加外加裝置,如加熱線圈等改變超導(dǎo)熱、磁臨界值前提下,將雙面YBCO超導(dǎo)薄膜的兩面分別接入不同回路,雙面超導(dǎo)薄膜A層9作為開關(guān)端接入主回路,雙面超導(dǎo)薄膜B層10作為控制端接入觸發(fā)回路;接入主回路的雙面超導(dǎo)薄膜A層9電流低于臨界電流值的電流,當(dāng)觸發(fā)時(shí),觸發(fā)回路電流超過雙面超導(dǎo)薄膜B層10臨界電流,使雙面超導(dǎo)薄膜B層10失超;雙面YBCO超導(dǎo)薄膜通過基底層1的傳熱以及雙面薄膜的磁場相互影響,致使雙面超導(dǎo)薄膜A層9失超,從而達(dá)到關(guān)斷效果。

本實(shí)用新型與單面超導(dǎo)薄膜相比,能通過磁熱耦合獲得更好的失超同步性,節(jié)約材料,具有更低的制造成本;而與帶材、塊材相比,具有更優(yōu)良的響應(yīng)時(shí)間;本實(shí)用新型將雙面超導(dǎo)薄膜直接替換之前的超導(dǎo)材料,或者通過添加熱線圈或改變外磁場改變超導(dǎo)材料的兩到三個(gè)臨界值使超導(dǎo)失超實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間;由于現(xiàn)有工藝無法使兩面完全相同,所以雙面超導(dǎo)薄膜兩面臨界電流值不完全相同,但是當(dāng)他們串聯(lián)或并聯(lián)時(shí),在同一電流值失超,說明其能在一定程度上相互影響;對(duì)雙面超導(dǎo)薄膜進(jìn)行臨界電流測量,A、B層臨界電流測量結(jié)果如圖3所示,當(dāng)雙面超導(dǎo)薄膜串聯(lián)后,雙面超導(dǎo)薄膜同步失超,A、B層串聯(lián)下且電流變化率分別為1A/min與2A/min下的失超過程伏安特性曲線如圖4所示;可以看出,A層失超臨界電流為1.6A,B面失超臨界電流為1.4A,當(dāng)雙面串聯(lián)后,A、B面同時(shí)在1.4A開始失超。

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