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一種雙面超導(dǎo)薄膜開關(guān)的制作方法

文檔序號(hào):11762465閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種雙面超導(dǎo)薄膜開關(guān),其特征在于:包括從上到下排布的上超導(dǎo)層(3)、基底層(1)和下超導(dǎo)層(6);上超導(dǎo)層(3)和下超導(dǎo)層(6)中的其中一層與超導(dǎo)磁體(11)并聯(lián)后連接主回路,另一層連接觸發(fā)回路。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙面超導(dǎo)薄膜開關(guān),其特征在于:所述上超導(dǎo)層(3)和下超導(dǎo)層(6)均采用YBCO超導(dǎo)薄膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙面超導(dǎo)薄膜開關(guān),其特征在于:所述上超導(dǎo)層(3)與基底層(1)之間設(shè)置有上緩沖層(2)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙面超導(dǎo)薄膜開關(guān),其特征在于:所述下超導(dǎo)層(6)與基底層(1)之間設(shè)置有下緩沖層(5)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙面超導(dǎo)薄膜開關(guān),其特征在于:所述上超導(dǎo)層(3)靠近基底層(1)一側(cè)設(shè)置有上緩沖層(2),遠(yuǎn)離基底層一側(cè)設(shè)置有上金屬層(4);下超導(dǎo)層(3)靠近基底層(1)一側(cè)設(shè)置有下緩沖層(5),遠(yuǎn)離基底層(1)一側(cè)設(shè)置有下金屬層(7)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙面超導(dǎo)薄膜開關(guān),其特征在于:所述基底層(1)采用氧化鋁或氧化鎂。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種雙面超導(dǎo)薄膜開關(guān),其特征在于:所述上緩沖層(2)和下緩沖層(5)采用氧化鈰。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種雙面超導(dǎo)薄膜開關(guān),其特征在于:所述上金屬層(4)和下金屬層(7)均采用銅、金、銀、鍍金金屬或鍍銀金屬中的一種。

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