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一種具有復(fù)合式多量子阱層的發(fā)光二極管的制作方法

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技術(shù)特征:

1.一種具有復(fù)合式多量子阱層的發(fā)光二極管,至少包括:一襯底,及依次位于所述襯底上的N型層、復(fù)合式多量子阱層和P型層,所述復(fù)合式多量子阱層包括交替層疊的勢(shì)壘層和勢(shì)阱層,其特征在于:所述勢(shì)阱層包括帶隙能級(jí)依次增大且周期性層疊的第一氮化物層、第二氮化物層和第三氮化物層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有復(fù)合式多量子阱層的發(fā)光二極管,其特征在于:所述第一氮化物層為氮化銦層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有復(fù)合式多量子阱層的發(fā)光二極管,其特征在于:所述第二氮化物層為銦鎵氮層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有復(fù)合式多量子阱層的發(fā)光二極管,其特征在于:所述第三氮化物層為氮化鋁層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有復(fù)合式多量子阱層的發(fā)光二極管,其特征在于:所述多量子阱層還包括一位于所述勢(shì)阱層上的保護(hù)層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有復(fù)合式多量子阱層的發(fā)光二極管,其特征在于:所述勢(shì)阱層的周期數(shù)為1~20。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有復(fù)合式多量子阱層的發(fā)光二極管,其特征在于:所述復(fù)合式多量子阱層的周期數(shù)為1~30。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有復(fù)合式多量子阱層的發(fā)光二極管,其特征在于:所述第一氮化物層的厚度為3~50?。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有復(fù)合式多量子阱層的發(fā)光二極管,其特征在于:所述第二氮化物層的厚度為3~50?。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有復(fù)合式多量子阱層的發(fā)光二極管,其特征在于:所述第三氮化物層的厚度為3~50?。

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