技術總結
本實用新型提供一種干刻設備的噴灑結構及其噴嘴連接塊。所述干刻設備的噴灑結構包括噴嘴連接塊、固定螺栓及噴嘴，所述噴嘴連接塊設有噴嘴連接孔及位于噴嘴連接孔兩側的兩個螺栓固定孔，所述固定螺栓擰入所述螺栓固定孔內(nèi)，將所述噴嘴連接塊固定于干刻設備的腔室內(nèi)部，所述噴嘴插設于所述噴嘴連接孔內(nèi)。本實用新型通過改變噴嘴連接塊的設計，將噴嘴連接塊由原來的單邊固定方式改為雙邊固定方式，可以有效避免由于保養(yǎng)時安裝不當，造成噴嘴連接塊單邊翹起，引起特氣外泄而導致的工藝不良問題。

技術研發(fā)人員：宋德偉;蔣文超
受保護的技術使用者：昆山國顯光電有限公司
文檔號碼：201620609732
技術研發(fā)日：2016.06.21
技術公布日：2016.12.07