本實用新型涉及顯示面板的加工設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種干刻設(shè)備的噴灑結(jié)構(gòu)及其噴嘴連接塊。

背景技術(shù)：

在干刻(干法蝕刻)設(shè)備的腔室內(nèi)部，特氣噴嘴(Gas Nozzle)通常通過一噴嘴連接塊(Gas Nozzle Block)安裝于腔室內(nèi)壁，該噴嘴連接塊的兩端分別設(shè)有一噴嘴連接孔和螺栓固定孔，通過擰入螺栓固定孔內(nèi)的固定螺栓將噴嘴連接塊固定至腔室內(nèi)壁，然后將噴嘴插入噴嘴連接孔內(nèi)即可連通腔室內(nèi)部與供氣通道，向腔室內(nèi)部供氣。

在安裝上述噴嘴連接塊時，因為是通過單邊固定的方式來固定噴嘴連接塊，因此，在安裝時容易造成因噴嘴連接塊的噴嘴端翹起而引起的特氣外泄，給工藝造成嚴(yán)重影響。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實用新型提供了一種可避免安裝時噴嘴連接塊單邊翹起的干刻設(shè)備的噴灑結(jié)構(gòu)及其噴嘴連接塊。

本實用新型提供的噴嘴連接塊包括設(shè)于其上的噴嘴連接孔以及位于噴嘴連接孔兩側(cè)的兩個螺栓固定孔。

根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述噴嘴連接孔位于所述噴嘴連接塊的中部，所述兩個螺栓固定孔分別位于所述噴嘴連接塊的兩端。

根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述螺栓固定孔為一臺階孔，其小孔徑部分用于連接固定螺栓的桿部，其大孔徑部分用于收容固定螺栓的頭部。

根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述噴嘴連接孔為一臺階孔，其小孔徑部分用于插設(shè)噴嘴的連接管，其大孔徑部分用于收容噴嘴的頭部頂端。

根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述噴嘴連接塊為腰形陶瓷塊。

本實用新型提供的干刻設(shè)備的噴灑結(jié)構(gòu)，包括噴嘴連接塊、固定螺栓及噴嘴，所述噴嘴連接塊設(shè)于干刻設(shè)備的腔室內(nèi)部，所述噴嘴連接塊上設(shè)有噴嘴連接孔以及位于噴嘴連接孔兩側(cè)的兩個螺栓固定孔，所述固定螺栓擰入所述螺栓固定孔內(nèi)，所述噴嘴插設(shè)于所述噴嘴連接孔內(nèi)。

根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述干刻設(shè)備的腔室內(nèi)壁設(shè)有凹槽，所述噴嘴連接塊通過所述固定螺栓固定至所述凹槽內(nèi)，且其表面與干刻設(shè)備的腔室內(nèi)表面平齊。

根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述螺栓固定孔為一臺階孔，其小孔徑部分用于連接固定螺栓的桿部，其大孔徑部分用于收容固定螺栓的頭部。

根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述固定螺栓為內(nèi)六角螺栓，其頂面與噴嘴連接塊的對應(yīng)表面平齊。

根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述噴嘴連接孔與所述噴嘴緊配合，所述噴嘴連接孔為一臺階孔，其小孔徑部分用于插設(shè)噴嘴的連接管，其大孔徑部分用于收容噴嘴的頭部頂端。

本實用新型通過改變噴嘴連接塊的設(shè)計，將噴嘴連接塊由原來的單邊固定方式改為雙邊固定方式，可以有效避免由于保養(yǎng)時安裝不當(dāng)，造成噴嘴連接塊單邊翹起，引起特氣外泄而導(dǎo)致的工藝不良問題。

上述說明僅是本實用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本實用新型的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。

附圖說明

圖1所示為本實用新型干刻設(shè)備的噴灑結(jié)構(gòu)的立體分解示意圖。

圖2所示為本實用新型干刻設(shè)備的噴灑結(jié)構(gòu)的立體組裝示意圖。

圖3所示為本實用新型噴嘴連接塊的正面立體示意圖。

圖4所示為本實用新型噴嘴連接塊的背面立體示意圖。

其中，10-噴嘴連接塊，11-噴嘴連接孔，12-螺栓固定孔，20-固定螺栓，30-凹槽。

具體實施方式

為更進一步闡述本實用新型為達成預(yù)定實用新型目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對本實用新型詳細(xì)說明如下。

圖1及圖2所示為本實用新型干刻設(shè)備的噴灑結(jié)構(gòu)的立體示意圖。如圖1及圖2所示，本實用新型干刻設(shè)備的噴灑結(jié)構(gòu)包括噴嘴連接塊10、固定螺栓20及噴嘴(圖未示)。

其中，噴嘴連接塊10設(shè)于干刻設(shè)備的腔室內(nèi)部，具體地，干刻設(shè)備的腔室內(nèi)壁設(shè)有凹槽30，噴嘴連接塊10通過固定螺栓20固定至凹槽30內(nèi)。

如圖3及圖4所示，在本實施例中，噴嘴連接塊10為腰形陶瓷塊。噴嘴連接塊10上設(shè)有位于其中部的噴嘴連接孔11以及位于噴嘴連接孔11兩側(cè)的兩個螺栓固定孔12，在本實施例中，螺栓固定孔12位于噴嘴連接塊10的兩端。在本實施例中，螺栓固定孔12為一橫截面為圓形的臺階孔，其小孔徑部分靠近噴嘴連接塊10的背面，用于連接固定螺栓20的桿部，其大孔徑部分靠近噴嘴連接塊10的正面，用于收容固定螺栓20的頭部。噴嘴連接孔11也為橫截面為圓形的臺階孔，其小孔徑部分靠近噴嘴連接塊10的背面，用于插設(shè)噴嘴的連接管，其大孔徑部分靠近噴嘴連接塊10的正面，用于收容噴嘴的頭部頂端。

固定螺栓20擰入螺栓固定孔12內(nèi)，將噴嘴連接塊10固定至干刻設(shè)備腔室內(nèi)壁的凹槽30內(nèi)，當(dāng)噴嘴連接塊10固定好之后，其表面與干刻設(shè)備的腔室內(nèi)表面平齊。在本實施例中，固定螺栓20為內(nèi)六角螺栓，當(dāng)其擰入螺栓固定孔12內(nèi)之后，其頂面與噴嘴連接塊10的對應(yīng)表面平齊。

噴嘴插設(shè)于噴嘴連接孔11內(nèi)，與噴嘴連接孔11緊配合。在本實施例中，噴嘴為蘑菇狀噴嘴，當(dāng)噴嘴插入噴嘴連接孔11后，噴嘴的連接管插于噴嘴連接孔11的小孔徑部分，噴嘴的頭部頂端插于噴嘴連接孔11的大孔徑部分。

綜上，本實用新型通過改變噴嘴連接塊的設(shè)計，將噴嘴連接塊由原來的單邊固定方式改為雙邊固定方式，可以有效避免由于保養(yǎng)時安裝不當(dāng)，造成噴嘴連接塊單邊翹起，引起特氣外泄而導(dǎo)致的工藝不良問題。

以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本實用新型，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本實用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本實用新型技術(shù)方案內(nèi)容，依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。