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長壽命高可靠性透明導(dǎo)電薄膜的制作方法

文檔序號:12261077閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.長壽命高可靠性透明導(dǎo)電薄膜,其特征是:在柔性基底一側(cè)的凹凸不平的表面上具有SiO2薄膜層,在SiO2薄膜層上具有透明導(dǎo)電層。

2.如權(quán)利要求1所述的長壽命高可靠性透明導(dǎo)電薄膜,其特征是:柔性基底凹凸不平表面的凹處最深為0.8-1.2nm。

3.如權(quán)利要求1所述的長壽命高可靠性透明導(dǎo)電薄膜,其特征是:柔性基底為PET層,透明導(dǎo)電層為AZO層。

4.如權(quán)利要求1所述的長壽命高可靠性透明導(dǎo)電薄膜,其特征是:柔性基底一側(cè)的凹凸不平的表面是通過輝光放電得到的。

5.如權(quán)利要求1所述的長壽命高可靠性透明導(dǎo)電薄膜,其特征是:透明導(dǎo)電層厚度為20-30nm。

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