技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開(kāi)一種擴(kuò)散舟，擴(kuò)散舟包括位于兩端的側(cè)板以及設(shè)置在所述側(cè)板之間的橫梁，所述橫梁上開(kāi)設(shè)有若干用于承載方形硅片的卡槽，所述側(cè)板以及橫梁上均沉積了抗氧化涂層；所述的側(cè)板以及橫梁均采用石墨材料加工而成，所述抗氧化涂層的厚度在0～1mm之間。解決了常用的低壓擴(kuò)散工具碳化硅舟和石英舟，尤其是碳化硅舟的缺陷和不足：碳化硅舟不易加工、價(jià)格昂貴、清洗麻煩、維修不便、舟體偏重等問(wèn)題。

技術(shù)研發(fā)人員：林虎彬;朱佰喜;李文紅
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳市石金科技股份有限公司
文檔號(hào)碼：201620515126
技術(shù)研發(fā)日：2016.05.30
技術(shù)公布日：2016.12.07