本實(shí)用新型涉及低壓擴(kuò)散設(shè)備，特別是一種擴(kuò)散舟。
背景技術(shù)：
：太陽(yáng)能電池是一種將太陽(yáng)能的光能直接轉(zhuǎn)化為電能的半導(dǎo)體器件。目前，太陽(yáng)能電池片的制造工藝已經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)化，其主要包括：制絨、擴(kuò)散制結(jié)、周邊刻蝕、沉積減反射膜、印刷電極和燒結(jié)等工藝步驟。擴(kuò)散是制造太陽(yáng)能電池光電轉(zhuǎn)換核心部件-PN結(jié)的工藝環(huán)節(jié)，是太陽(yáng)能電池制造的關(guān)鍵技術(shù)。相對(duì)于傳統(tǒng)的擴(kuò)散，目前，低壓擴(kuò)散技術(shù)正在興起。低壓擴(kuò)散技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)：高方塊電阻范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的擴(kuò)散均勻性和重復(fù)性，純度達(dá)到最大限度(無殘余物氣相擴(kuò)散)，低耗材和動(dòng)力消耗，同等條件下可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能翻倍，這是因?yàn)橄鄬?duì)于常壓擴(kuò)散，低壓擴(kuò)散槽間距縮小為原來的一半，還可以提高轉(zhuǎn)化效率。目前，低壓擴(kuò)散常用的工具是碳化硅舟，但由于碳化硅舟不易加工且成本昂貴，國(guó)內(nèi)許多設(shè)備廠商都用石英舟代替碳化硅舟。碳化硅舟以其獨(dú)特的材料特性，用做擴(kuò)散工具具有很多優(yōu)點(diǎn)，比如，碳化硅化學(xué)性能穩(wěn)定，耐酸堿鹽腐蝕且具有高溫抗氧化性，物理性能優(yōu)越，具有很高的強(qiáng)度、硬度和剛度，有良好的不變形性和抗熱震性，但是也存在以下不足。碳化硅舟不易加工。由于碳化硅具有很高的硬度，再加上低壓散使用的碳化硅舟的尺寸比較大，長(zhǎng)度一般大于1.2m，全自動(dòng)插片加工精度要求高，所以碳化硅舟很難加工。碳化硅舟非常昂貴。低壓擴(kuò)散使用的碳化硅舟尺寸大，對(duì)材料的純度要求高，加工難度高，導(dǎo)致碳化硅舟的成本非常高，國(guó)內(nèi)大多數(shù)碳化硅舟需要從國(guó)外進(jìn)口，價(jià)格就更高了。碳化硅舟清洗相當(dāng)麻煩。碳化硅舟的清洗可能包括清潔表面、王水浸泡、氫氟酸浸泡、熱處理、表面處理、火焰拋光處理等步驟，這么大的碳化硅舟清洗起來也不方便。碳化硅舟很難維修。碳化硅舟加工難度高，加工精度高，一旦出現(xiàn)意外損壞，維修起來非常麻煩。碳化硅舟比較重。純凈的碳化硅的密度為3.2-3.25g/cm3。在低壓擴(kuò)散工藝中，使用石英舟來代替碳化硅舟可以降低成本，加工起來也比較容易，但是石英舟性能比碳化硅舟差。與低壓擴(kuò)散使用的碳化硅舟類似，低壓擴(kuò)散使用的石英舟的尺寸也較大，加工精度也高，石英舟使用一段時(shí)間后，會(huì)有明顯的變形，使精度發(fā)生變化，嚴(yán)重可能導(dǎo)致硅片掉落或者無法全自動(dòng)插片。石英舟使用久了卡槽處易污染，擴(kuò)散后片子可能會(huì)出現(xiàn)卡槽印，嚴(yán)重的導(dǎo)致片子方阻異常，外觀異常，所以需定期或不定期進(jìn)行清洗，但由于低壓擴(kuò)散石英舟尺寸大，精度高，導(dǎo)致清洗不方便。石英舟使用一段時(shí)間后可能需要維修，損壞多為舟桿斷裂，或者是缺損，由于石英舟是采用高溫熔融焊接，所以維修起來也很麻煩。石英的比重也比較大，石英的密度為2.22-2.65g/cm3。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本實(shí)用新型提供一種擴(kuò)散舟，用于克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，提高擴(kuò)散舟的抗變形性能，進(jìn)而降低制造和維護(hù)成本。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出一種擴(kuò)散舟，一種擴(kuò)散舟，其特征在于，包括位于兩端的側(cè)板以及設(shè)置在所述側(cè)板之間的橫梁，所述橫梁上開設(shè)有若干用于承載方形硅片的卡槽，所述側(cè)板以及橫梁上均沉積了抗氧化涂層；所述的側(cè)板以及橫梁均采用石墨材料加工而成，所述抗氧化涂層的厚度在0～1mm之間。優(yōu)選地，每根所述橫梁上開設(shè)有100～2000個(gè)卡槽。優(yōu)選地，所述的抗氧化涂層為碳化硅涂層。優(yōu)選地，還包括兩根所述橫梁，所述橫梁彼此平行，位于三根所述橫梁上的所述卡槽一一對(duì)應(yīng)形成一組，每組所述卡槽承載同一所述方形硅片。優(yōu)選地，還包括三根所述橫梁，所述橫梁彼此平行，位于四根所述橫梁 上的所述卡槽一一對(duì)應(yīng)形成一組，每組所述卡槽承載同一所述方形硅片。優(yōu)選地，每組所述卡槽底邊的延長(zhǎng)線共同圍設(shè)成U形或V形；承載在每組所述卡槽上的方形硅片彼此平行，且與垂直于所述橫梁的平面之間形成3～6度夾角。優(yōu)選地，所述側(cè)板和橫梁之間均通過連接件可拆卸的連接；所述連接件由碳碳復(fù)合材料或石墨材料制成，所述連接件表面沉積了所述抗氧化涂層；所述連接件至少有一部分裸露于所述側(cè)板外側(cè)。優(yōu)選地，所述側(cè)板和橫梁之間均通過連接件可拆卸的連接；所述連接件由碳碳復(fù)合材料或石墨材料制成，所述連接件表面沉積了所述抗氧化涂層；每塊所述側(cè)板外側(cè)均開設(shè)與所述橫梁數(shù)量等同的沉孔，所述連接件從外側(cè)與所述側(cè)板抵觸的部分隱藏于所述沉孔內(nèi)。優(yōu)選地，其中位于上方的兩根橫梁與側(cè)板之間通過連接件可拆卸的連接；所述連接件由碳碳復(fù)合材料或石墨材料制成，所述連接件表面沉積了所述抗氧化涂層；所述連接件至少有一部分裸露于所述側(cè)板外側(cè)；位于下方的兩根橫梁與側(cè)板之間搭接，所述側(cè)板內(nèi)側(cè)各開設(shè)有兩個(gè)凹槽，所述橫梁端部均置于一個(gè)所述凹槽內(nèi)。優(yōu)選地，所述側(cè)板和橫梁之間均通過連接件可拆卸的連接；所述連接件由碳碳復(fù)合材料或石墨材料制成，所述連接件表面沉積了所述抗氧化涂層；其中所述側(cè)板上位于上方的兩所述連接件至少有一部分裸露于所述側(cè)板外側(cè)；每塊所述側(cè)板外側(cè)開設(shè)與所述橫梁數(shù)量等同的沉孔，其中所述側(cè)板上位于下方的兩所述連接件從外側(cè)與所述側(cè)板抵觸的部分隱藏于所述沉孔內(nèi)。本實(shí)用新型提供的擴(kuò)散舟，在側(cè)板以及橫梁構(gòu)成的舟體表面沉積抗氧化涂層，抗氧化層將舟體包裹在內(nèi)部，一方面對(duì)舟體起到保護(hù)作用，防止舟體在使用過程中受高溫有氧環(huán)境的影響產(chǎn)生氧化；另一方面，擴(kuò)大了對(duì)舟體本身材質(zhì)選擇的范圍，可選用易于加工的材料，能大大降低擴(kuò)散舟的制造成本。附圖說明為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地， 下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖示出的結(jié)構(gòu)獲得其他的附圖。圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的擴(kuò)散舟的立體圖；圖2為圖1的主視圖；圖3為圖1的俯視圖；圖4為圖1的左視圖；圖5是圖4中沿A-A向剖視圖；圖6是本實(shí)用新型實(shí)施例二提供的擴(kuò)散舟的立體圖；圖7是圖6的主視圖；圖8是圖7中A局部放大示意圖；圖9是圖6的俯視圖；圖10是圖9中B局部放大示意圖；圖11是圖7的左視圖；圖12本實(shí)用新型實(shí)施例三提供的擴(kuò)散舟的立體圖；圖13是圖7的主視圖中位于側(cè)板中垂面同側(cè)的兩根橫梁的結(jié)構(gòu)示意圖；圖14是圖13中C局部放大示意圖；圖15是圖12的俯視圖；圖16是圖15的左視圖。附圖標(biāo)號(hào)說明：標(biāo)號(hào)名稱標(biāo)號(hào)名稱1第一側(cè)板5連接件2第二側(cè)板6定位柱3橫梁7耳朵4卡槽8舟腳51雙頭螺桿10抗氧化涂層52螺母11石墨基體本實(shí)用新型目的的實(shí)現(xiàn)、功能特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)將結(jié)合實(shí)施例，參照附圖做進(jìn)一步說明。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。需要說明，本實(shí)用新型實(shí)施例中所有方向性指示(諸如上、下、左、右、前、后……)僅用于解釋在某一特定姿態(tài)(如附圖所示)下各部件之間的相對(duì)位置關(guān)系、運(yùn)動(dòng)情況等，如果該特定姿態(tài)發(fā)生改變時(shí)，則該方向性指示也相應(yīng)地隨之改變。另外，在本實(shí)用新型中如涉及“第一”、“第二”等的描述僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示其相對(duì)重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括至少一個(gè)該特征。在本實(shí)用新型的描述中，“多個(gè)”的含義是至少兩個(gè)，例如兩個(gè)，三個(gè)等，除非另有明確具體的限定。在本實(shí)用新型中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“連接”、“固定”等應(yīng)做廣義理解，例如，“固定”可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通或兩個(gè)元件的相互作用關(guān)系，除非另有明確的限定。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型中的具體含義。另外，本實(shí)用新型各個(gè)實(shí)施例之間的技術(shù)方案可以相互結(jié)合，但是必須是以本領(lǐng)域普通技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)為基礎(chǔ)，當(dāng)技術(shù)方案的結(jié)合出現(xiàn)相互矛盾或無法實(shí)現(xiàn)時(shí)應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種技術(shù)方案的結(jié)合不存在，也不在本實(shí)用新型要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。本實(shí)用新型提出一種擴(kuò)散舟。實(shí)施例一請(qǐng)參照?qǐng)D1至圖5，在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，包括舟體和位于舟體表面的抗氧化層，舟體包括位于兩端的側(cè)板(包括第一側(cè)板1、第二側(cè)板2)以及 設(shè)置在第一側(cè)板1與第二側(cè)板2之間的三根橫梁3，橫梁3(若舟體正放于地面上，從其上方向下插入方形硅片，從位置關(guān)系上來看位于上方的橫梁稱上橫梁，位于下方的橫梁稱下橫梁，本實(shí)施例中其中包括兩根上橫梁和一根下橫梁)上均開設(shè)有若干(在100～2000個(gè)之間，包括2000個(gè))用于承載方形硅片的卡槽4，三根橫梁3彼此平行，位于三根橫梁3上的卡槽4一一對(duì)應(yīng)形成一組，每組卡槽4承載一片方形硅片；第一側(cè)板1、第二側(cè)板2以及橫梁3上均沉積了抗氧化涂層10。本方案中的“沉積”是指采用“化學(xué)氣相沉積”或“物理氣相沉積”等方法形成于舟體表面。卡槽4的數(shù)量越多，對(duì)加工要求就越高?？寡趸瘜?0可以是碳化硅(SiC)層、二硅化鉬(MoSi2)層，或者其它能與石墨材料或碳碳材料較好結(jié)合的高溫耐磨、耐腐蝕、抗氧化涂層。為了方便加工，并降低成本，上述實(shí)施例中，側(cè)板以及橫梁優(yōu)選采用石墨材料加工而成。優(yōu)選地，所述的抗氧化涂層為碳化硅涂層，優(yōu)選為CVD工藝將碳化硅沉積到石墨基體11上，涂層厚度為在0.10mm～0.20mm)。優(yōu)選厚度為0.10mm。為了方便維修過程中的拆卸和安裝以及清洗過程中的拆裝，側(cè)板與橫梁之間可通過連接件5可拆卸地連接，連接件5可以是螺栓組件或螺釘?shù)?，本?shí)施例中的連接件5為螺母51和雙頭螺桿52，螺母51和雙頭螺桿52均采用碳碳材料加工而成，并且都沉積了一層與側(cè)板和橫梁厚度相同的碳化硅涂層，碳碳材料強(qiáng)度較高，增強(qiáng)了連接件的強(qiáng)度，提高整個(gè)舟體的穩(wěn)固性，為了提高擴(kuò)散舟整體的耐磨性和高溫抗氧化性，在連接件上沉積碳化硅涂層。在設(shè)計(jì)舟體各個(gè)部件的連接時(shí)需要預(yù)留一定厚度的碳化硅涂層的縫隙，卡槽4以及連接件5也同樣要預(yù)留一定厚度的碳化硅涂層的縫隙，最后，將經(jīng)過碳化硅涂層沉積處理的各個(gè)零部件組裝起來，相對(duì)現(xiàn)有技術(shù)低壓擴(kuò)散工具碳化硅舟而言，本方案的擴(kuò)散舟易于加工，價(jià)格便宜，方便清洗和維修，且舟體整體較輕。第一側(cè)板1和第二側(cè)板2靠下方有兩個(gè)舟腳8(舟腳8一體形成于側(cè)板上)，在擴(kuò)散爐內(nèi)放置時(shí)，可以與直徑300mm的石英管內(nèi)側(cè)面很好地接觸。側(cè)板位于兩個(gè)舟腳之間底部的輪廓線與碳化硅槳的上表面基本吻合，作用是使舟體在擴(kuò)散進(jìn)出舟時(shí)能夠平穩(wěn)地放在碳化硅槳上。側(cè)板靠近橫梁3的面上有三個(gè) 形狀與橫梁3端面配合的第一凹孔，三個(gè)第一凹孔是用來卡住橫梁3的。三個(gè)第一凹孔中心有直徑為8.5mm通孔，用來穿碳碳材料的雙頭螺桿52。側(cè)板背離橫梁3的面上分別設(shè)有三個(gè)第二凹孔，這是用來容置擰碳碳材料的螺母51的(可視為沉孔)，這些第二凹孔可以保證將螺母51不會(huì)突出側(cè)板，避免與擴(kuò)散爐全自動(dòng)插片及全自動(dòng)推送舟設(shè)備干涉。連接橫梁與側(cè)板的螺母和螺桿是分開的)的，螺桿為雙頭螺桿，螺母優(yōu)選為扁螺母，方便組裝和拆卸)。側(cè)板中心還有另外一個(gè)比較大的工藝通孔和兩個(gè)比較小的耳朵通孔，大的工藝通孔是為了方便工藝氣體流通和減輕舟體重量而設(shè)的，小的兩個(gè)耳朵通孔是用來裝耳朵7，用來提起整個(gè)舟體的。側(cè)板靠近橫梁的面采用局部銑薄，以減輕側(cè)板重量，促進(jìn)工藝氣體的流動(dòng)。兩個(gè)側(cè)板結(jié)構(gòu)相似，唯一的區(qū)別是第二側(cè)板2背離橫梁3的面上其中一個(gè)舟腳上部設(shè)一個(gè)螺絲孔，用來裝碳碳桿定位柱6。橫梁3兩端都打有螺絲孔，通過碳碳材料的螺桿52和螺母51與側(cè)板連接。橫梁3上均開有525個(gè)卡槽4，其中位于上方的兩根橫梁3上的卡槽4呈鏡面(即手性對(duì)稱)對(duì)稱，位于下方的橫梁3上開設(shè)的卡槽4開口向上，與上述的卡槽互相匹配，位于三根橫梁3上的卡槽4一一對(duì)應(yīng)形成一組，每組卡槽4承載同一硅片。本實(shí)施例中的每個(gè)硅片均通過三個(gè)卡槽4分別從三個(gè)方向承載，硅片的穩(wěn)定性更強(qiáng)，不易晃動(dòng)或從卡槽內(nèi)脫落。本實(shí)施例中橫梁3呈水平方向，方形硅片適于平放式(即方形硅片某一邊平行于水平方向，該邊的相鄰邊與豎直平面方向的夾角為3至6度)；也適于方形硅片斜放式，方形硅片的一條對(duì)角線平行于水平方向，而另一條對(duì)角線與豎直方向的夾角為3至6度。平方式的硅片一般不切角，而斜放式硅片一般會(huì)在四個(gè)直角處切圓角或者倒角；理論上適用于方形硅片其中一邊與水平方向呈任意角度放置。優(yōu)選地，每組卡槽4底邊的延長(zhǎng)線共同圍設(shè)成U形或V形(U形用于硅片平放，V形用于硅片斜放)，承載在每組卡槽4上的方形硅片彼此平行，并且與垂直于橫梁3的平面之間形成3～6度夾角。其中，方形硅片很薄，上述卡槽4的寬度很窄，卡槽4的底面近似看作是一條邊(即本方案中的卡槽4底邊)。每組卡槽4底邊的延長(zhǎng)線共同圍設(shè)成U形時(shí)，位于兩根上橫梁上的卡槽4鏡像對(duì)稱，開口方向面對(duì)面，分別位于兩側(cè)；位于下橫梁上的卡槽4開口向上，位于底部，位于兩側(cè)的卡槽4的底邊與位于底部的卡槽4的底邊保持垂直，以適應(yīng)于方形硅片平放；參見圖1、圖3。每組卡槽底邊的延長(zhǎng)線共同圍設(shè)成V形時(shí)，位于兩根上橫梁上的卡槽鏡像對(duì)稱，開口方向面對(duì)面，分別位于兩側(cè)；位于下橫梁上的卡槽呈小V形，位于底部，位于兩側(cè)的卡槽的底邊彼此垂直，位于底部的小V形卡槽的底邊呈直角狀，卡住方形硅片的一個(gè)角，以適應(yīng)于方形硅片斜放。上述的方案，一方面減小了整個(gè)舟體的占用空間，另一方面，減小卡槽4側(cè)面的受力以及磨損，延長(zhǎng)擴(kuò)散舟的清理和維修周期，能延長(zhǎng)擴(kuò)散舟的壽命。實(shí)施例二請(qǐng)參照?qǐng)D6至圖11，作為實(shí)施例一的一種變形，在實(shí)施例一的基礎(chǔ)上，再增設(shè)一根橫梁3，并且其中兩根橫梁位于上方(以下稱上橫梁)，另外兩根橫梁位于下方(下橫梁)，位于兩根上橫梁上的卡槽4形狀和尺寸相同且呈鏡面對(duì)稱，位于兩根下橫梁3的形狀和尺寸相同也呈鏡面對(duì)稱，且位于同側(cè)橫梁上的卡槽以卡住方形硅片的同一條邊，四根橫梁3彼此平行，位于四根橫梁3上開設(shè)的卡槽4一一對(duì)應(yīng)形成一組，每組卡槽4承載同一方形硅片。本實(shí)施例中卡槽底邊及其延長(zhǎng)線呈U形，適于方形硅片平放。第一側(cè)板1背離橫梁3的面上設(shè)有兩個(gè)鏡面對(duì)稱的定位柱5，用于擴(kuò)散舟在擴(kuò)散爐中的定位，第一側(cè)板1和第二側(cè)板2靠近橫梁3的面上有六個(gè)形狀與橫梁3端面配合的第一凹孔，六個(gè)第一凹孔是用來卡住橫梁3的。六個(gè)第一凹孔中心有直徑為8.5mm通孔，用來穿碳碳材料的雙頭螺桿52和T形側(cè)板螺桿(螺桿和螺母一體)。側(cè)板背離橫梁3的面(外側(cè))上分別設(shè)有六個(gè)第二凹孔，這是用來容置擰碳碳材料的扁螺母和T形側(cè)板螺桿中的螺母(可視為沉孔)，這些第二凹孔可以保證螺母不會(huì)突出側(cè)板，避免與擴(kuò)散爐全自動(dòng)插片及全自動(dòng)推送舟設(shè)備干涉。每組所述卡槽底邊的延長(zhǎng)線共同圍設(shè)成U形，用于方形硅片平放，這時(shí)每個(gè)硅片均通過四個(gè)卡槽4分別從四個(gè)方向承載，承載在每組卡槽4上的方形硅片彼此平行，并且與垂直于橫梁3的平面之間形成3～6度夾角，相對(duì)于實(shí)施例一，每組卡槽4增加一個(gè)卡槽4夾持限位，卡槽4分別夾持于硅片底邊與底邊的 相鄰邊上，硅片的穩(wěn)定性更強(qiáng)，不易晃動(dòng)或從卡槽4內(nèi)脫落。實(shí)施例三請(qǐng)參照?qǐng)D12至圖16，作為實(shí)施例二的一種變形，在實(shí)施例二的基礎(chǔ)上，改變位于兩側(cè)橫梁上的卡槽的方向面對(duì)面，且卡槽底邊彼此與水平面呈45度角，兩側(cè)的卡槽底邊及其延長(zhǎng)線形成夾角為90度的V狀，四根橫梁3彼此平行，位于四根橫梁3上開設(shè)的卡槽4一一對(duì)應(yīng)形成一組，每組卡槽4承載同一方形硅片，每個(gè)硅片均通過四個(gè)卡槽4分別從四個(gè)方向承載，相對(duì)于實(shí)施例一，卡槽4分別夾持于硅片相鄰的兩個(gè)邊上，硅片的穩(wěn)定性更強(qiáng)，不易晃動(dòng)或從卡槽內(nèi)脫落。本方案中適于于方形硅片斜放。第一側(cè)板1背離橫梁3的面上設(shè)有定位柱5，用于擴(kuò)散舟在擴(kuò)散爐中的定位，第一側(cè)板1和第二側(cè)板2靠近橫梁3的面上有四個(gè)形狀與橫梁3端面配合的第一凹孔，四個(gè)第一凹孔是用來卡住橫梁3的。四個(gè)第一凹孔中心有直徑為8.5mm通孔，用來穿碳碳材料的雙頭螺桿52。側(cè)板背離橫梁3的面上分別設(shè)有四個(gè)第二凹孔，這是用來容置擰碳碳材料的扁螺母(可視為沉孔)，這些第二凹孔可以保證螺母不會(huì)突出側(cè)板，螺母隱藏于沉孔內(nèi)，避免與擴(kuò)散爐全自動(dòng)插片及全自動(dòng)推送舟設(shè)備干涉。優(yōu)選地，每組卡槽4底邊的延長(zhǎng)線共同圍設(shè)成V形，用于方形硅片的斜放，此時(shí)方形硅片的對(duì)角線與水平線垂直，承載在每組卡槽4上的方形硅片彼此平行，并且與垂直于橫梁3的平面之間形成3～6度夾角，相對(duì)于實(shí)施例一，每組卡槽4增加一個(gè)卡槽4夾持限位，卡槽4分別夾持于硅片相鄰的兩個(gè)邊上，硅片的穩(wěn)定性更強(qiáng)，不易晃動(dòng)或從卡槽4內(nèi)脫落。作為上述實(shí)施例的變形，可將所有橫梁集成為一體，設(shè)置呈一根橫梁，作為實(shí)施例三的變形，可將位于同側(cè)的橫梁集成一體，或在實(shí)施例一的基礎(chǔ)上，將底邊延長(zhǎng)線呈V形設(shè)置的舟體中位于底部的橫梁去掉，將橫梁縮短為兩根，都能滿足上述使用要求，也都在本申請(qǐng)的保護(hù)范圍內(nèi)。以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍，凡是在本實(shí)用新型的發(fā)明構(gòu)思下，利用本實(shí)用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)變換，或直接/間接運(yùn)用在其他相關(guān)的
技術(shù)領(lǐng)域：
均包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。當(dāng)前第1頁(yè)1 2 3