技術編號：11990252
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及低壓擴散設備，特別是一種擴散舟。背景技術太陽能電池是一種將太陽能的光能直接轉化為電能的半導體器件。目前，太陽能電池片的制造工藝已經標準化，其主要包括：制絨、擴散制結、周邊刻蝕、沉積減反射膜、印刷電極和燒結等工藝步驟。擴散是制造太陽能電池光電轉換核心部件-PN結的工藝環(huán)節(jié)，是太陽能電池制造的關鍵技術。相對于傳統(tǒng)的擴散，目前，低壓擴散技術正在興起。低壓擴散技術具有以下優(yōu)點：高方塊電阻范圍內實現優(yōu)異的擴散均勻性和重復性，純度達到最大限度(無殘余物氣相擴散)，低耗材和動力消耗，同等條件下可...
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