1.一種疊合式多層石英承載舟，其特征是，包括若干依次疊合的石英單舟，所述的石英單舟包括矩形的舟體底板、設(shè)在舟體底板上側(cè)面邊緣處的擋板，所述舟體底板的下側(cè)面兩端設(shè)有相互平行的支撐板，所述支撐板的形狀呈倒梯形，舟體底板的四個角上均設(shè)有限位板，所述的限位板上設(shè)有傾斜的支撐板限位面，所述舟體底板上至少設(shè)有兩個定位孔，定位孔內(nèi)設(shè)有石英定位銷，石英單舟疊合后通過石英定位銷定位，相鄰兩個石英單舟之間存在進(jìn)氣間隙。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種疊合式多層石英承載舟，其特征是，所述的舟體底板上設(shè)有若干氣流導(dǎo)向板，相鄰兩塊氣流導(dǎo)向板之間形成導(dǎo)流槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種疊合式多層石英承載舟，其特征是，氣流導(dǎo)向板的進(jìn)氣端與舟體底板一端的擋板連接，其中最外面兩塊氣流導(dǎo)向板的進(jìn)氣端之間寬度小于出氣端之間的寬度。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種疊合式多層石英承載舟，其特征是，所述氣流導(dǎo)向板的高度大于擋板的高度，所述擋板的高度為8mm-12mm，所述氣流導(dǎo)向板的高度為13mm-15mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種疊合式多層石英承載舟，其特征是，所述的定位孔內(nèi)設(shè)有石英襯套，所述石英襯套的上端高出舟體底板上表面5mm-8mm。