本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，特別是涉及一種機(jī)械設(shè)備。

背景技術(shù)：

隨著半導(dǎo)體集成電路的競(jìng)爭(zhēng)不斷加劇，半導(dǎo)體集成電路代工廠將向高產(chǎn)能、低成本的方向發(fā)展，這對(duì)半導(dǎo)體機(jī)械設(shè)備的穩(wěn)定性提出了更高的要求。半導(dǎo)體集成電路代工廠擴(kuò)大產(chǎn)能后，半導(dǎo)體機(jī)械設(shè)備的使用率上升，設(shè)備的運(yùn)動(dòng)模塊磨損加大，導(dǎo)致設(shè)備的穩(wěn)定性降低，進(jìn)而導(dǎo)致設(shè)備裝載精度降低。例如，利用半導(dǎo)體上載具設(shè)備將基板或者蓋板裝載到載具上。載具一般具有定位柱，而基板或者蓋板在對(duì)應(yīng)定位柱的位置具有定位孔。若在裝載過程中，設(shè)備偏離預(yù)定行進(jìn)方向，可能會(huì)導(dǎo)致基板或者蓋板無(wú)法精確裝載到載具上，嚴(yán)重時(shí)可能會(huì)損壞載具上的定位柱。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明主要解決的技術(shù)問題是提供一種機(jī)械設(shè)備，能夠提高機(jī)械設(shè)備的穩(wěn)定性。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個(gè)技術(shù)方案是：提供一種機(jī)械設(shè)備，包括：動(dòng)力源；第一剛性件，由所述動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)而運(yùn)動(dòng)；第二剛性件，與所述第一剛性件機(jī)械接觸以相對(duì)所述第一剛性件運(yùn)動(dòng)或靜止；第一磁性件和第二磁性件，所述第一磁性件與所述第一剛性件具有相對(duì)關(guān)系，所述第二磁性件與所述第二剛性件具有相對(duì)關(guān)系，所述第一磁性件與所述第二磁性件通過磁力作用使得兩者的相對(duì)位置趨于第一預(yù)定狀態(tài)，進(jìn)而使得所述第一剛性件與所述第二剛性件兩者的相對(duì)位置趨于第二預(yù)定狀態(tài)。

其中，所述第一磁性件是柱狀件，所述第二磁性件是中空管狀件，且所述柱狀件位于所述中空管狀件之內(nèi)，所述柱狀件直徑小于所述中空管狀件內(nèi)徑。

其中，所述第一預(yù)定狀態(tài)是指所述柱狀件外壁與所述中空管狀件內(nèi)壁不接觸。

其中，所述第一磁性件是金屬柱。

其中，所述第二磁性件包括導(dǎo)磁套管和強(qiáng)磁體，所述強(qiáng)磁體均勻設(shè)置于所述導(dǎo)磁套管外圍，以在所述導(dǎo)磁套管內(nèi)形成均勻朝向軸心或遠(yuǎn)離軸心的磁場(chǎng)。

其中，所述第一預(yù)定狀態(tài)是指所述金屬柱與所述導(dǎo)磁套管內(nèi)壁距離預(yù)定距離，所述預(yù)定距離為0.5mm-2.0mm。

其中，所述第二剛性件包括第一鈑金件；所述第二磁性件的所述強(qiáng)磁體的一面固定在所述第一鈑金件上。

其中，所述第一剛性件包括絲桿，所述絲桿的一端與所述動(dòng)力源固定連接，所述第二預(yù)定狀態(tài)是指所述絲桿與所述第一鈑金件機(jī)械接觸以帶動(dòng)所述第一鈑金件沿預(yù)定方向行進(jìn)。

其中，所述設(shè)備進(jìn)一步包括第二鈑金件，所述金屬柱兩端包括固定部，所述固定部固定在所述第二鈑金件上；所述金屬柱軸心與處于第二預(yù)定狀態(tài)下的所述絲桿軸心相互平行。

其中，當(dāng)所述絲桿帶動(dòng)所述第二鈑金件沿所述預(yù)定方向行進(jìn)時(shí)，所述金屬柱與固定在所述第二鈑金件上的所述強(qiáng)磁體的相對(duì)位置處于所述第一預(yù)定狀態(tài)，所述絲桿與所述第二鈑金件的相對(duì)位置處于所述第二預(yù)定狀態(tài)；當(dāng)所述絲桿帶動(dòng)所述第二鈑金件偏離所述預(yù)定方向行進(jìn)時(shí)，所述金屬柱的位置不變，固定在所述第二鈑金件上的所述強(qiáng)磁體與所述金屬柱的相對(duì)位置偏離所述第一預(yù)定狀態(tài)，所述金屬柱與所述強(qiáng)磁體之間產(chǎn)生使所述強(qiáng)磁體趨向回復(fù)到所述第一預(yù)定狀態(tài)的第一磁作用力，所述第一磁作用力進(jìn)而帶動(dòng)所述第二鈑金件及所述絲桿的位置趨向回復(fù)到所述第二預(yù)定狀態(tài)。

本發(fā)明的有益效果是：區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本發(fā)明所提供的機(jī)械設(shè)備包括第一磁性件和第二磁性件，利用第一磁性件和第二磁性件之間的磁力作用使得該兩者的相對(duì)位置趨于第一預(yù)定狀態(tài)，進(jìn)而使得與第一磁性件具有相對(duì)關(guān)系的第一剛性件以及與第二磁性件具有相對(duì)關(guān)系的第二剛性件的相對(duì)位置趨于第二預(yù)定狀態(tài)，從而提高設(shè)備穩(wěn)定性，進(jìn)而提高設(shè)備的裝載精度。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明機(jī)械設(shè)備一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1中第一磁性件與第二磁性件的剖面圖；

圖3是圖1中第一磁性件與第二磁性件的又一剖面圖；

圖4是圖1中第一磁性件與第二磁性件偏離第一預(yù)定狀態(tài)時(shí)剖面圖。

具體實(shí)施方式

請(qǐng)參閱圖1，圖1為本發(fā)明機(jī)械設(shè)備一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖，包括：

動(dòng)力源10，具體地，動(dòng)力源10可以是電動(dòng)機(jī)或者其他能夠提供驅(qū)動(dòng)力的部件。

第一剛性件12，由動(dòng)力源10驅(qū)動(dòng)而運(yùn)動(dòng)；具體地，第一剛性件12包括絲桿120，絲桿120的一端與動(dòng)力源10固定連接，在動(dòng)力源10的驅(qū)動(dòng)下，絲桿120將回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為直線運(yùn)行，在其他實(shí)施例中，也可為其他類型的傳動(dòng)元件，本發(fā)明對(duì)此不作限定。

第二剛性件14，與第一剛性件12機(jī)械接觸以相對(duì)第一剛性件12運(yùn)動(dòng)或靜止；具體地，第二剛性件14包括第一鈑金件140，絲桿120與第一鈑金件140機(jī)械接觸以帶動(dòng)第一鈑金件140沿預(yù)定方向行進(jìn)；在其他實(shí)施例中，請(qǐng)繼續(xù)參閱圖1，為了減小絲桿120與第一鈑金件140的機(jī)械摩擦，第二剛性件14還包括與第一鈑金件140固定連接的滑軌141、142，在絲桿120的傳動(dòng)作用下，使得第一鈑金件140通過滑軌141、142沿預(yù)定軌道(圖未示)行進(jìn)。

第一磁性件16和第二磁性件18，第一磁性件16與第一剛性件12具有相對(duì)關(guān)系，第二磁性件18與第二剛性件14具有相對(duì)關(guān)系，第一磁性件16與第二磁性件18通過磁力作用使得兩者的相對(duì)位置趨于第一預(yù)定狀態(tài)，進(jìn)而使得第一剛性件12與第二剛性件14兩者的相對(duì)位置趨于第二預(yù)定狀態(tài)；具體地，請(qǐng)結(jié)合圖2，圖2為圖1中第一磁性件16與第二磁性件18的剖面圖，第一磁性件16是柱狀件20，第二磁性件18是中空管狀件22，且柱狀件20位于中空管狀件22之內(nèi)，柱狀件20直徑小于中空管狀件22內(nèi)徑，柱狀件20受到中空管狀件22的磁作用力處于一個(gè)穩(wěn)定平衡的第一預(yù)定狀態(tài)，該第一預(yù)定狀態(tài)是指柱狀件20外壁與中空管狀件22內(nèi)壁不接觸。

在一個(gè)應(yīng)用場(chǎng)景中，請(qǐng)繼續(xù)參閱圖1，第一磁性件16是金屬柱16，本發(fā)明所提供的機(jī)械設(shè)備進(jìn)一步包括第二鈑金件(圖未示)，第二鈑金件處于固定位置，即當(dāng)該機(jī)械設(shè)備運(yùn)作時(shí)，該第二鈑金件的位置穩(wěn)定不變,金屬柱16兩端包括固定部160、161，固定部160、161固定在第二鈑金件上，金屬柱16軸心與處于第二預(yù)定狀態(tài)時(shí)絲桿140軸心相互平行。也就是說(shuō)，當(dāng)本發(fā)明中的機(jī)械設(shè)備運(yùn)作時(shí)，金屬柱16的位置固定，相對(duì)水平面靜止不動(dòng)。在本實(shí)施例中，金屬柱16的固定方式可以是螺絲鉚接的方式，在其他實(shí)施例中，也可為其他固定方式。

在一個(gè)應(yīng)用場(chǎng)景中，請(qǐng)參閱圖3，圖3為圖1中第一磁性件16與第二磁性件18的又一剖面圖。第二磁性件18包括導(dǎo)磁套管30和強(qiáng)磁體32，強(qiáng)磁體32的一面固定在第一鈑金件140上，固定方式可以是螺絲鉚接或者其他固定方式；強(qiáng)磁體32均勻設(shè)置于導(dǎo)磁套管30外圍，以在導(dǎo)磁套管30內(nèi)形成均勻朝向軸心或遠(yuǎn)離軸心的磁場(chǎng)，如圖3中的箭頭所示。當(dāng)強(qiáng)磁體32由至少兩塊磁鐵組成時(shí)，導(dǎo)磁套管30還具有固定的作用，即可通過螺絲鉚接或者其他方式將強(qiáng)磁鐵32固定在導(dǎo)磁套管30上。另外在本實(shí)施例中，當(dāng)金屬柱34與強(qiáng)磁體32處于第一預(yù)定狀態(tài)時(shí)，金屬柱34與導(dǎo)磁套管30內(nèi)壁距離預(yù)定距離，預(yù)定距離為0.5mm-2.0mm。

請(qǐng)結(jié)合圖1、圖3、圖4，下面將詳細(xì)解釋第一磁性件16和第二磁性件18對(duì)機(jī)械設(shè)備的穩(wěn)定作用。

當(dāng)絲桿120帶動(dòng)第一鈑金件140沿預(yù)定方向行進(jìn)時(shí)，例如此時(shí)預(yù)定方向?yàn)榇怪庇谒矫嫔舷逻\(yùn)動(dòng)，固定在第一鈑金件140上的強(qiáng)磁體32也同時(shí)垂直于水平面上下運(yùn)動(dòng)，固定在第二鈑金件(圖未示)上的金屬柱16(34)靜止不動(dòng)，此時(shí)金屬柱16(34)處于受力平衡狀態(tài)，即與固定在第一鈑金件140上的強(qiáng)磁體32的相對(duì)位置處于第一預(yù)定狀態(tài)，例如，此時(shí)金屬柱16(34)處于導(dǎo)磁套管30中心，且距離其內(nèi)壁1.0mm，與此同時(shí)絲桿120與第一鈑金件140的相對(duì)位置處于第二預(yù)定狀態(tài)；

由于設(shè)備長(zhǎng)期上下運(yùn)轉(zhuǎn)，不可避免的會(huì)出現(xiàn)絲桿120帶動(dòng)第一鈑金件140偏離預(yù)定方向行進(jìn)的情況，例如此時(shí)絲桿120的運(yùn)動(dòng)方向向左偏移一定角度，進(jìn)而帶動(dòng)第一鈑金件140也會(huì)相應(yīng)向左偏移一定角度，此時(shí)若不及時(shí)使絲桿120和第一鈑金件140的位置回復(fù)到第二預(yù)定狀態(tài)，即絲桿120與第一鈑金件140沿預(yù)定方向行進(jìn)，絲桿120與第一鈑金件140左面機(jī)械接觸面磨損將加??；金屬柱16(34)是固定在靜止不動(dòng)的第二鈑金件(圖未示)上，金屬柱16(34)的位置固定不變，而強(qiáng)磁體32是固定在第一鈑金件140上，因此此時(shí)強(qiáng)磁體32與金屬柱16(34)的相對(duì)位置偏離第一預(yù)定狀態(tài)，例如，請(qǐng)參閱圖4，此時(shí)金屬柱16(34)向右偏離導(dǎo)磁套管30中心一定距離，金屬柱16(34)與強(qiáng)磁體32之間產(chǎn)生使強(qiáng)磁體32趨向回復(fù)到第一預(yù)定狀態(tài)的第一磁作用力，即使強(qiáng)磁體32向右偏移的第一磁作用力，第一磁作用力進(jìn)而帶動(dòng)第一鈑金件140及絲桿120的位置向右偏移，進(jìn)而使其趨向回復(fù)到第二預(yù)定狀態(tài)。

在其他實(shí)施例中，也可以把第一磁性件16和第二磁性件18分別設(shè)置于所述絲桿120和第一鈑金件140，或直接將所述絲桿120和第一鈑金件140制作為第一磁性件16和第二磁性件18。

綜上所述，區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本發(fā)明所提供的機(jī)械設(shè)備包括第一磁性件和第二磁性件，利用第一磁性件和第二磁性件之間的磁力作用使得該兩者的相對(duì)位置趨于第一預(yù)定狀態(tài)，進(jìn)而使得與第一磁性件具有相對(duì)關(guān)系的第一剛性件以及與第二磁性件具有相對(duì)關(guān)系的第二剛性件的相對(duì)位置趨于第二預(yù)定狀態(tài)，從而提高設(shè)備穩(wěn)定性。

以上所述僅為本發(fā)明的實(shí)施方式，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說(shuō)明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。