技術(shù)總結(jié)
搬送裝置，具備：第1支承部(3)，對(duì)基板的一面供給氣體，能通過氣體懸浮支承基板；第2支承部(400)，能支承基板的一面；驅(qū)動(dòng)部(402)，使第1及第2支承部的至少一個(gè)移動(dòng)，使第1及第2支承部彼此接近或接觸并排列于第1方向；以及移送部，將通過驅(qū)動(dòng)部而排列的第1及第2支承部的一方所支承的基板沿第1方向往另一方側(cè)移動(dòng)。

技術(shù)研發(fā)人員：金城麻子;牛島康之;花崎哲嗣
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社尼康
文檔號(hào)碼：201611216877
技術(shù)研發(fā)日：2011.02.17
技術(shù)公布日：2017.06.20