技術(shù)編號(hào):12724977
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。搬送裝置、搬送方法、曝光裝置、以及元件制造方法本申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2011年2月17日,申請(qǐng)?zhí)枮?01180009815.0,發(fā)明名稱為“搬送裝置、搬送方法、曝光裝置、以及元件制造方法”的專利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明是關(guān)于搬送裝置、搬送方法、曝光裝置、以及元件制造方法。本申請(qǐng)案,是根據(jù)2010年2月17日提申的美國(guó)暫時(shí)申請(qǐng)第61/305,355號(hào)、及61/305,439號(hào)主張優(yōu)先權(quán),并將其內(nèi)容援用于此。背景技術(shù)在平面面板顯示器等電子元件的工藝中,是使用曝光裝置或檢查裝置等大型基板的處理裝置。在...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。