1.一種用于優(yōu)化晶圓邊緣缺陷的晶圓傳送方法，所述晶圓通過搬運手臂傳送至刻蝕腔體中的靜電吸附盤上，所述刻蝕腔體設有用于晶圓進出的隔離閥，所述隔離閥兩側以非對稱方式各設有一個位置傳感器，用于分別感測晶圓的通過，所述搬運手臂和位置傳感器分別連接搬運控制器，其特征在于，所述晶圓傳送方法包括以下步驟：
步驟S01：以晶圓上的對準缺口作為旋轉角度的起點，在搬運控制器上設定晶圓傳送時的初始角度、單次旋轉角度以及旋轉角度范圍，以使晶圓在旋轉角度范圍內任意旋轉時，其對準缺口在傳送過程中都不會通過兩個位置傳感器中的任意一個；
步驟S02：搬運手臂按照初始角度抓取第一個晶圓，向隔離閥方向傳送，搬運控制器根據(jù)兩個位置傳感器感應的晶圓邊緣非對準缺口處的四個點位置，計算出晶圓圓心的精確位置，并校正搬運手臂的最終放置位置，將晶圓送入刻蝕腔體，使晶圓安置于靜電吸附盤上，并位于中心對準的位置進行工藝；
步驟S03：完成工藝后，退出第一個晶圓；
步驟S04：搬運手臂在旋轉角度范圍內逐次傳送相對于前一個晶圓旋轉單次旋轉角度的后續(xù)晶圓進行工藝，直至完成整個批次的晶圓傳送。
2.根據(jù)權利要求1所述的用于優(yōu)化晶圓邊緣缺陷的晶圓傳送方法，其特征在于，以對準缺口位于晶圓傳送方向上的位置作為晶圓旋轉角度的起點，其對應的初始角度為零度。
3.根據(jù)權利要求2所述的用于優(yōu)化晶圓邊緣缺陷的晶圓傳送方法，其特征在于，以對準缺口朝向晶圓傳送方向的位置作為晶圓旋轉角度的起點。
4.根據(jù)權利要求2所述的用于優(yōu)化晶圓邊緣缺陷的晶圓傳送方法，其特征在于，以對準缺口背向晶圓傳送方向的位置作為晶圓旋轉角度的起點。
5.根據(jù)權利要求2所述的用于優(yōu)化晶圓邊緣缺陷的晶圓傳送方法，其特征在于，所述旋轉角度范圍以初始角度為起點，向其兩側對稱偏轉若干單次旋轉角度構成。
6.根據(jù)權利要求5所述的用于優(yōu)化晶圓邊緣缺陷的晶圓傳送方法，其特征在于，當某個晶圓旋轉至旋轉角度范圍中的最大角度時，對下一個晶圓返回初始角度并向其另一側旋轉一個單次旋轉角度進行傳送。
7.根據(jù)權利要求2所述的用于優(yōu)化晶圓邊緣缺陷的晶圓傳送方法，其特征在于，所述旋轉角度范圍以初始角度為起點，向其一側偏轉若干單次旋轉角度構成。
8.根據(jù)權利要求7所述的用于優(yōu)化晶圓邊緣缺陷的晶圓傳送方法，其特征在于，當某個晶圓旋轉至旋轉角度范圍中的最大角度時，對下一個晶圓返回初始角度進行傳送。
9.根據(jù)權利要求1所述的用于優(yōu)化晶圓邊緣缺陷的晶圓傳送方法，其特征在于，所述單次旋轉角度的大小由對準缺口的開口角度決定。