技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及樣品位置對(duì)準(zhǔn)方法和帶電粒子束裝置。在樣品位置對(duì)準(zhǔn)方法中，能夠容易且迅速地將樣品的觀察對(duì)象部位位置對(duì)準(zhǔn)于利用第一帶電粒子束的觀察視場(chǎng)內(nèi)。是一種樣品位置對(duì)準(zhǔn)方法，其中，將配置在樣品工作臺(tái)（15）的樣品（14）的觀察對(duì)象部位位置對(duì)準(zhǔn)于觀察視場(chǎng)內(nèi)，并且，包含：將包含樣品（14）的圖像顯示在顯示畫面中；基于顯示畫面的圖像來指定注目點(diǎn)；以使注目點(diǎn)位于當(dāng)通過光學(xué)軸（Ob）上的軸上目標(biāo)點(diǎn)時(shí)與光學(xué)軸（Ob）正交的軸上點(diǎn)探索面的方式對(duì)樣品工作臺(tái)的光學(xué)軸（Ob）方向的位置進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)；進(jìn)行注目點(diǎn)與軸上目標(biāo)點(diǎn)的位置偏離的感測(cè)和軸上點(diǎn)探索面內(nèi)移動(dòng)，將注目點(diǎn)移動(dòng)到軸上目標(biāo)點(diǎn)；以及在注目點(diǎn)移動(dòng)到軸上目標(biāo)點(diǎn)之后，將注目點(diǎn)移動(dòng)到帶電粒子束光學(xué)系統(tǒng)的焦點(diǎn)深度內(nèi)。

技術(shù)研發(fā)人員：清原正寬;竹野健悟;上本敦;梅村馨
受保護(hù)的技術(shù)使用者：日本株式會(huì)社日立高新技術(shù)科學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.30
技術(shù)公布日：2017.07.11