技術(shù)編號：12820453
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及樣品位置對準(zhǔn)方法和帶電粒子束裝置。背景技術(shù)帶電粒子束是指離子束和電子束的總稱。將能夠利用聚焦后的帶電粒子束來進(jìn)行加工、觀察和分析的至少任一個(gè)（以下，稱為觀察等）的裝置稱為帶電粒子束裝置。該帶電粒子束裝置裝載有形成離子束的離子束鏡筒和形成電子束的電子束鏡筒之中的至少任一個(gè)。帶電粒子束裝置也包含裝載有多個(gè)鏡筒的復(fù)合裝置。在帶電粒子束裝置中，在通過帶電粒子束對樣品進(jìn)行觀察等之前，需要將樣品中的觀察等的對象部位（以下，僅稱為觀察對象部位）配置在利用帶電粒子束的觀察視場范圍內(nèi)。例如，在專利文獻(xiàn)1...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。