本發(fā)明涉及樣品位置對準方法和帶電粒子束裝置。

背景技術：

帶電粒子束是指離子束和電子束的總稱。將能夠利用聚焦后的帶電粒子束來進行加工、觀察和分析的至少任一個（以下，稱為觀察等）的裝置稱為帶電粒子束裝置。該帶電粒子束裝置裝載有形成離子束的離子束鏡筒和形成電子束的電子束鏡筒之中的至少任一個。帶電粒子束裝置也包含裝載有多個鏡筒的復合裝置。

在帶電粒子束裝置中，在通過帶電粒子束對樣品進行觀察等之前，需要將樣品中的觀察等的對象部位（以下，僅稱為觀察對象部位）配置在利用帶電粒子束的觀察視場范圍內。

例如，在專利文獻1中記載有為了探索樣品的應該觀察的區(qū)域而具備光學顯微鏡的掃描型電子顯微鏡（sem）。

在專利文獻2中記載有對處于實驗室（樣品室）內的樣品照射激光束并且通過ccd攝像機進行攝像來將所攝像的實驗室內的圖像和示出粒子光學束軸線的位置的標志一起顯示在顯示器中的粒子光學式掃描顯微鏡（帶電粒子束裝置）。在該粒子光學式掃描顯微鏡中，操作者觀察顯示器中的標志和樣品的圖像，進行樣品的位置對準。

現(xiàn)有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平4-308639號公報；

專利文獻2：日本特表2009-525571號公報。

發(fā)明要解決的課題

可是，在以往的樣品位置對準方法和帶電粒子束裝置中，存在以下那樣的問題。

由帶電粒子束裝置進行觀察等的樣品的觀察對象部位極其微小，在樣品內分散。因此，一個樣品內的全部觀察對象部位并不限于存在于利用帶電粒子束的觀察視場范圍內。

利用帶電粒子束照射的視場范圍例如在高倍率的情況下為1μm×1μm左右，在低倍率的情況下為1mm×1mm左右。帶電粒子束的焦點深度至多為1mm左右。

與此相對地，用于以往樣品的位置對準的光學顯微鏡、ccd攝像機等圖像取得單元例如具有100mm×100mm左右的視場范圍。

將在像這樣廣的視場范圍內確認的樣品的觀察對象部位引導到帶電粒子束的窄的視場內不容易，伴隨著試行錯誤的結果是，存在對位置對準花費時間這樣的問題。

即使如專利文獻1所記載的裝置那樣顯示示出粒子光學束軸線的位置的標志，ccd攝像機的圖像也為從與粒子光學束軸線交叉的傾斜方向攝像的焦點深度深的二維圖像。因此，即使在顯示畫面內移動觀察對象部位也難以得到遠近感，因此，難以把握與實際的移動對方的對應。因此，在顯示粒子光學束軸線的位置的程度下還依靠操作者的經驗的部分較大，不是能夠容易且迅速地位置對準這樣的程度。

特別地，在裝載有2個以上的帶電粒子束鏡筒的帶電粒子束裝置的情況下，必須將樣品的觀察對象部位移動到各帶電粒子束的焦點位置一致的點（重合點），因此，進而難以位置對準。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明是鑒于上述那樣的問題而完成的，其目的在于提供能夠將樣品室內的樣品的觀察對象部位容易且迅速地位置對準于利用第一帶電粒子束的觀察視場內的樣品位置對準方法和帶電粒子束裝置。

用于解決課題的方案

為了解決上述的課題，本發(fā)明的第一方式的樣品位置對準方法是，一種樣品位置對準方法，對配置在內置于帶電粒子束裝置的樣品室的樣品工作臺的樣品的觀察對象部位進行位置對準，以使進入到利用從設置于第一帶電粒子束鏡筒的帶電粒子束光學系統(tǒng)照射的第一帶電粒子束的觀察視場內，其中，所述樣品位置對準方法包含：將包含所述樣品工作臺上的所述樣品的所述樣品室內的圖像顯示在顯示部的顯示畫面中；基于所述顯示畫面的圖像來指定所述觀察對象部位上的注目點；以使所述注目點位于當通過所述第一帶電粒子束鏡筒中的第一光學軸上的軸上目標點時與所述第一光學軸正交的軸上點探索面的方式對所述樣品工作臺的沿著所述第一光學軸的方向的位置進行對準；在將所述注目點的位置對準于所述軸上點探索面之后，進行所述顯示畫面中的所述注目點與所述軸上目標點的位置偏離的感測和使所述樣品工作臺僅在與所述第一光學軸正交的方向上移動的軸上點探索面內移動，將所述注目點移動到所述軸上目標點；以及在所述注目點移動到所述軸上目標點之后，使所述樣品工作臺在沿著所述第一光學軸的方向上移動，將所述注目點移動到所述帶電粒子束光學系統(tǒng)的焦點深度內。

在上述樣品位置對準方法中，還包含：為了支援所述注目點的移動，至少在將所述注目點向所述軸上目標點移動時，在所述顯示畫面上顯示示出所述軸上目標點的位置和所述第一光學軸的位置的輔助標記也可。

本發(fā)明的第二方式的帶電粒子束裝置具備：第一帶電粒子束鏡筒，具有帶電粒子束光學系統(tǒng)，通過所述帶電粒子束光學系統(tǒng)照射第一帶電粒子束；樣品工作臺，載置樣品，并且，至少在沿著所述第一帶電粒子束鏡筒中的第一光學軸的方向和與所述第一光學軸正交的方向上移動；樣品室，內置有所述樣品工作臺；暗箱觀測設備，取得包含所述樣品工作臺上的所述樣品的所述樣品室內的圖像；顯示部，在顯示畫面中顯示所述暗箱觀測設備所取得的圖像；注目點指定控制部，受理在顯示在所述顯示畫面中的所述圖像上指定注目點的輸入，取得伴隨著所述樣品工作臺的移動的所述注目點的所述顯示畫面上的位置的信息；樣品工作臺移動控制部，進行工作臺位置對準控制、軸上點探索面內移動控制和軸上移動控制，所述工作臺位置對準控制以使所述注目點位于當通過所述第一帶電粒子束鏡筒中的第一光學軸上的軸上目標點時與所述第一光學軸正交的軸上點探索面的方式對所述樣品工作臺的沿著所述第一光學軸的方向的位置進行對準，所述軸上點探索面內移動控制使所述樣品工作臺僅在與所述第一光學軸正交的方向上移動，所述軸上移動控制使所述樣品工作臺在沿著所述第一光學軸的方向上移動來將所述注目點移動到所述帶電粒子束光學系統(tǒng)的焦點深度內；輔助標記顯示控制部，在所述顯示畫面上顯示示出所述軸上目標點的位置的輔助標記和示出所述第一光學軸的位置的輔助標記；以及工作臺操作部，輸入針對所述樣品工作臺移動控制部的工作指令。

本發(fā)明的第三方式的帶電粒子束裝置具備：第一帶電粒子束鏡筒，具有帶電粒子束光學系統(tǒng)，通過所述帶電粒子束光學系統(tǒng)照射第一帶電粒子束；樣品工作臺，載置樣品，并且，至少在沿著所述第一帶電粒子束鏡筒中的第一光學軸的方向和與所述第一光學軸正交的方向上移動；樣品室，內置有所述樣品工作臺；暗箱觀測設備，取得包含所述樣品工作臺上的所述樣品的所述樣品室內的圖像；顯示部，在顯示畫面中顯示所述暗箱觀測設備所取得的圖像；注目點指定控制部，受理在顯示在所述顯示畫面中的所述圖像上指定注目點的輸入，取得伴隨著所述樣品工作臺的移動的所述注目點的所述顯示畫面上的位置的信息；樣品工作臺移動控制部，進行工作臺位置對準控制、軸上點探索面內移動控制和軸上移動控制，所述工作臺位置對準控制以使所述注目點位于當通過所述第一帶電粒子束鏡筒中的第一光學軸上的軸上目標點時與所述第一光學軸正交的軸上點探索面的方式對所述樣品工作臺的沿著所述第一光學軸的方向的位置進行對準，所述軸上點探索面內移動控制使所述樣品工作臺僅在與所述第一光學軸正交的方向上移動，所述軸上移動控制使所述樣品工作臺在沿著所述第一光學軸的方向上移動來將所述注目點移動到所述帶電粒子束光學系統(tǒng)的焦點深度內；以及位置對準控制部，在使所述樣品工作臺移動控制部進行所述工作臺位置對準控制之后，基于所述顯示畫面中的所述注目點與所述軸上目標點的位置偏離，使所述樣品工作臺移動控制部進行所述軸上點探索面內移動控制，由此，將所述注目點移動到所述軸上目標點，在所述注目點移動到所述軸上目標點之后，使所述樣品工作臺移動控制部進行所述軸上移動控制。

在上述第二或第三方式的帶電粒子束裝置中，還具備：第二帶電粒子束鏡筒，沿著在與所述第一帶電粒子束鏡筒中的第一光學軸交叉并且與所述暗箱觀測設備的攝像方向交叉的方向上延伸的第二光學軸照射第二帶電粒子束；以及圖像取得部，對所述樣品照射所述第二帶電粒子束，由此，取得所述樣品的圖像，所述樣品工作臺移動控制部能夠在進行所述軸上移動控制的期間進行視場內移動控制，所述視場內移動控制進行所述第二帶電粒子束鏡筒的視場內的所述注目點的位置調整也可。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明的樣品位置對準方法和帶電粒子束裝置，起到能夠將樣品室內的樣品的觀察對象部位容易且迅速地位置對準于利用第一帶電粒子束的觀察視場內這樣的效果。

附圖說明

圖1是示出本發(fā)明的第一實施方式的帶電粒子束裝置的結構的一個例子的示意性的系統(tǒng)結構圖。

圖2是說明本發(fā)明的第一實施方式的帶電粒子束裝置中的坐標系的示意圖。

圖3是示出顯示cs圖像的顯示部的顯示畫面的一個例子的示意圖。

圖4是說明樣品室內的xyz坐標系與在顯示畫面上投影的xyz坐標系的對應關系的示意圖。

圖5是示出本發(fā)明的第一實施方式的樣品位置對準方法的工作流程的流程圖。

圖6是示出進行圖5中的步驟s1、s2的顯示畫面的示意圖。

圖7是示出圖6中的注目點的位置與xyz坐標系的關系的示意圖。

圖8是示出進行圖5中的步驟s3的顯示畫面的示意圖。

圖9是示出圖8中的注目點的位置與xyz坐標系的關系的示意圖。

圖10是示出進行圖5中的步驟s4的顯示畫面的示意圖。

圖11是示出能夠用于第一實施方式的樣品位置對準方法的輔助標記的一個例子的示意圖。

圖12是示出圖10中的注目點的位置與xyz坐標系的關系的示意圖。

圖13是示出進行圖5中的步驟s5的顯示畫面的示意圖。

圖14是示出步驟s5中的注目點的移動工作的例子的示意圖。

圖15是示出圖13中的注目點的位置與xyz坐標系的關系的示意圖。

圖16是示出進行圖5中的步驟s6的顯示畫面的示意圖。

圖17是用于說明在本發(fā)明的第一實施方式的樣品位置對準方法中在不考慮樣品厚度的情況下能夠實施的樣品厚度的范圍的示意圖。

圖18是示出本發(fā)明的第二實施方式的樣品位置對準方法的工作流程的流程圖。

圖19是示出本發(fā)明的第二實施方式的帶電粒子束裝置的顯示部的顯示畫面的一個例子的示意圖。

圖20是示出本發(fā)明的第三實施方式的帶電粒子束裝置的結構的一個例子的示意性的系統(tǒng)結構圖。

圖21是說明本發(fā)明的第三實施方式的帶電粒子束裝置中的坐標系的示意圖。

圖22是示出本發(fā)明的第三實施方式的樣品位置對準方法的工作流程的流程圖。

具體實施方式

在以下，參照附圖來對本發(fā)明的實施方式進行說明。在全部的附圖中，即使在實施方式不同的情況下，也對相同或相當?shù)臉嫾俗⑾嗤母綀D標記，省略共同的說明。

[第一實施方式]

對本發(fā)明的第一實施方式的帶電粒子束裝置進行說明。

圖1是示出本發(fā)明的第一實施方式的帶電粒子束裝置的結構的一個例子的示意性的系統(tǒng)結構圖。在圖1中，由于為示意圖，所以形狀或尺寸被夸大（以下的附圖也相同）。

圖1所示的本實施方式的帶電粒子束裝置10對樣品14照射聚焦后的第一帶電粒子束b1（第一帶電粒子束），由此，進行樣品14的加工、觀察和分析的至少任一個。帶電粒子束裝置10例如也可以為聚焦離子束裝置、掃描電子顯微鏡。

在帶電粒子束裝置10進行加工的裝置的情況下，根據(jù)需要，具備圖示省略的蝕刻氣體（etchinggas）供給部和沉積氣體（depositiongas）供給部的至少任一個也可。

第一帶電粒子束b1根據(jù)帶電粒子束裝置10的用途由離子束和電子束的任一個構成。

帶電粒子束裝置10在進行加工、觀察和分析的哪一個工作的情況下都需要通過第一帶電粒子束b1掃描樣品14中的各工作的對象部位。將在帶電粒子束裝置10中第一帶電粒子束b1進行掃描的區(qū)域稱為第一帶電粒子束b1的視場范圍。

在以下也包含進行加工的情況將針對樣品14的帶電粒子束裝置10的上述各工作的對象部位稱為觀察對象部位。

帶電粒子束裝置10具備：帶電粒子束鏡筒11（第一帶電粒子束鏡筒）、樣品室13、樣品工作臺15、二次粒子檢測器16、暗箱觀測設備（chamberscope）17、二次粒子圖像形成部19、工作臺控制部20、暗箱觀測設備圖像形成部21、輸入部22（工作臺操作部）、顯示部23、以及控制部18（注目點指定控制部、樣品工作臺移動控制部、輔助標記顯示控制部）。

樣品室13在內部收容有由帶電粒子束裝置10進行加工、觀察和分析的至少任一個的樣品14。在樣品室13連接有對樣品室13的內部的真空度進行變更、維持的圖示省略的真空排氣裝置。

在樣品室13內置有以能移動的方式保持樣品14的樣品工作臺15。在樣品室13中，在與樣品工作臺15相對的位置配置有朝向樣品工作臺15照射第一帶電粒子束b1的帶電粒子束鏡筒11。在本實施方式中，沿著鉛垂軸配置帶電粒子束鏡筒11。

樣品工作臺15具有在上部載置樣品14的載置面15a。載置面15a的外形并不被特別限定，但是，在本實施方式中，作為一個例子而為平面視矩形狀。

樣品工作臺15由5軸移動機構構成，所述5軸移動機構由圖示省略的xyz軸工作臺、傾斜工作臺和旋轉工作臺的組合構成。

xyz軸工作臺在作為水平面內的彼此正交的2軸的x軸和y軸、與鉛垂軸平行的z軸的各軸方向上平移移動載置面15a。傾斜工作臺使載置面15a繞上述的x軸或y軸傾斜擺動。旋轉工作臺使載置面15a繞上述的z軸旋轉。

樣品工作臺15以能通信的方式與后述的工作臺控制部20連接。

工作臺控制部20以能通信的方式與后述的控制部18連接，基于來自控制部18的工作指令，控制樣品工作臺15的工作。

帶電粒子束鏡筒11產生第一帶電粒子束b1，將第一帶電粒子束b1朝向樣品工作臺15上的樣品14照射。

帶電粒子束鏡筒11具備：帶電粒子束源、以及包含使從帶電粒子束源引導出的帶電粒子聚焦的透鏡電極和使帶點粒子偏向的偏向電極等的帶電粒子光學系統(tǒng)。但是，在圖1中，省略了它們的周知的內部構造的圖示。

在帶電粒子束鏡筒11中，帶電粒子源和帶電粒子光學系統(tǒng)根據(jù)來自后述的控制部18的控制信號來控制聚焦帶電粒子束的照射位置和照射條件等。

帶電粒子束源例如由使用了液體鎵等的液體金屬離子源、等離子體型離子源、氣體場致電離（gasfieldionization）型離子源、場致發(fā)射電子源等構成。

關于帶電粒子束鏡筒11，在樣品工作臺15的上方以帶電粒子光學系統(tǒng)的光學軸ob與鉛垂軸平行的姿勢配置。

帶電粒子束鏡筒11中的光學軸ob與樣品工作臺15中的z軸為同軸。

帶電粒子束鏡筒11中的偏向電極使第一帶電粒子束b1以光學軸ob為中心沿著彼此正交且與光學軸ob正交的2個偏向方向偏向。因此，帶電粒子束鏡筒11能夠在帶電粒子光學系統(tǒng)的焦點面在規(guī)定的大小的矩形狀區(qū)域的內側掃描第一帶電粒子束b1。能掃描第一帶電粒子束b1的矩形狀區(qū)域為利用第一帶電粒子束b1的照射的圖像取得范圍，構成利用第一帶電粒子束b1的照射的視場范圍。

帶電粒子束鏡筒11中的視場范圍根據(jù)由控制部18指定的倍率發(fā)生改變。帶電粒子束鏡筒11的視場范圍的大小例如在高倍率的情況下為1μm×1μm左右，在低倍率的情況下為1mm×1mm左右。

暗箱觀測設備17對樣品室13內的狀態(tài)和樣品14進行觀察或監(jiān)視，因此，取得至少包含載置面15a上的樣品14的樣品室13內的圖像。

暗箱觀測設備17例如能夠使用利用可見光或紅外光的能夠取得圖像的ccd攝像機、光學顯微鏡等結構。

在作為暗箱觀測設備17而使用利用可見光的ccd攝像機的情況下，可見光的照明光對后述的二次粒子檢測器16的檢測工作帶來壞影響，因此，在使用暗箱觀測設備17時不能進行利用第一帶電粒子束b1的觀察。

與此相對地，當作為暗箱觀測設備17而使用對紅外波長進行檢測的紅外波長ccd攝像機時，沒有這樣的制約。進而，關于紅外波長ccd攝像機，即使為暗視場也能夠可見化，因此，能夠在不使用可見光對樣品室13內進行照明的情況下一邊將第一帶電粒子束b1向樣品14照射一邊通過暗箱觀測設備17確認觀察對象部位的運動。

因此，在如后述那樣使觀察對象部位移動到帶電粒子束鏡筒11中的光學軸ob上之后，能立刻在利用第一帶電粒子束b1的視場內的位置調整中轉移觀察對象部位。

關于暗箱觀測設備17的視場范圍，只要根據(jù)觀察或監(jiān)視的目的設定為需要的大小即可。用于進行樣品14的位置對準的暗箱觀測設備17的視場范圍優(yōu)選包含配置在帶電粒子束鏡筒11中的視場范圍外的樣品14的整體和帶電粒子束鏡筒11中的視場范圍的圖像能取得的大小。用于進行樣品14的位置對準的暗箱觀測設備17的視場范圍也利用暗箱觀測設備17的設置位置、與樣品的距離、需要的觀察倍率，但是，例如也可以為100mm×100mm左右。暗箱觀測設備17具備變焦（zoom）光學系統(tǒng)，由此，能夠變更視場范圍的大小也可。

暗箱觀測設備17的攝像方向為從樣品工作臺15的上方朝向載置面15a的傾斜方向。參照圖2來對暗箱觀測設備17的攝像方向與帶電粒子束鏡筒11中的光學軸ob的關系進行說明。

圖2是說明本發(fā)明的第一實施方式的帶電粒子束裝置中的坐標系的示意圖。

在圖2中，xyz坐標系由作為上述的樣品工作臺15的平移移動軸的x軸、y軸、z軸構成。如上述那樣，z軸與帶電粒子束鏡筒11中的光學軸ob為同軸。

該xyz坐標系的原點z0為在樣品14的載置時移動載置面15a的載置面15a的初始化狀態(tài)下載置面15a與光學軸ob相交的點。在本實施方式中，原點z0為在樣品室13中存取樣品時的樣品工作臺15的z軸方向的基準位置。在以下，將原點z0稱為基準點z0。

暗箱觀測設備17的攝像方向s為在使z軸繞y軸旋轉角度φ之后沿著繞原來的z軸旋轉角度θ而得到的軸線（以下，稱為暗箱觀測設備（cs）軸）朝向基準點z0的方向。cs軸的正方向為從基準點z0朝向暗箱觀測設備17的方向。cs軸為暗箱觀測設備17的攝像光軸。

在以下，將包含x軸和y軸的平面稱為x-y平面，將包含z軸和cs軸的平面稱為z-cs面。

如圖1所示，暗箱觀測設備圖像形成部21以能通信的方式與暗箱觀測設備17和控制部18連接。

暗箱觀測設備圖像形成部21根據(jù)從暗箱觀測設備17輸出的圖像信號生成幀圖像數(shù)據(jù)。暗箱觀測設備圖像形成部21將所生成的幀圖像數(shù)據(jù)依次向控制部18送出。

二次粒子檢測器16對在照射第一帶電粒子束b1時從照射對象放射的二次帶電粒子（二次電子和二次離子）的強度（即，二次帶電粒子的量）進行檢測，輸出二次帶電粒子的檢測量的信息。二次粒子檢測器16在樣品室13的內部被配置在能夠檢測能取得照射對象的圖像程度的二次帶電粒子的位置。

二次粒子檢測器16以能通信的方式與后述的二次粒子圖像形成部19連接。二次粒子檢測器16將檢測輸出向二次粒子圖像形成部19送出。

二次粒子圖像形成部19以能通信的方式與二次粒子檢測器16和后述的控制部18連接。

二次粒子圖像形成部19將從二次粒子檢測器16送出的二次帶電粒子的檢測量變換為與照射位置相對應的亮度信號。即，基于二次帶電粒子的檢測量的二維位置分布來生成示出照射對象的形狀的圖像數(shù)據(jù)。

二次粒子圖像形成部19將所生成的圖像數(shù)據(jù)向控制部18送出。

顯示部23以能通信的方式與后述的控制部18連接。顯示部23顯示基于從控制部18送出的圖像信息的圖像。

在從后述的控制部18送出的圖像信息中包含基于從暗箱觀測設備圖像形成部21送出的圖像數(shù)據(jù)和從二次粒子圖像形成部19送出的圖像數(shù)據(jù)的圖像。

作為顯示部23顯示的其他的圖像的例子，可舉出由后述的控制部18生成的各種輔助標記的圖像、示出注目點的標記的圖像、操作輸入畫面、以及工作狀態(tài)顯示畫面。

顯示部23也可以具備用于在顯示畫面上進行觸摸輸入的觸摸面板。

輸入部22為操作者進行針對帶電粒子束裝置10的操作輸入的裝置部分。關于輸入部22，例如使用鼠標和鍵盤等周知的輸入設備也可。輸入部22以能通信的方式與控制部18連接。

輸入部22在顯示部23上顯示包含gui的操作輸入畫面的情況下也能夠進行來自操作輸入畫面的操作輸入。

控制部18對帶電粒子束裝置10的各裝置部分的工作進行控制。因此，控制部18以能通信的方式與帶電粒子束鏡筒11、樣品工作臺15、暗箱觀測設備圖像形成部21、二次粒子圖像形成部19、輸入部22、以及顯示部23連接。

控制部18根據(jù)通過輸入部22輸入的信號或利用預先設定的自動運轉控制處理生成的信號等統(tǒng)一地控制帶電粒子束裝置10的工作。

在帶電粒子束裝置10包含圖示省略的蝕刻氣體供給部和沉積氣體供給部的情況下，控制部18也進行這些裝置部分的控制。

例如，控制部18對與利用帶電粒子束鏡筒11的第一帶電粒子束b1的掃描有關的工作進行控制。

例如，控制部18在向樣品14照射第一帶電粒子束b1的情況下，向二次粒子圖像形成部19送出控制信號，取得基于二次粒子檢測器16的檢測輸出的圖像。控制部18當從二次粒子圖像形成部19送出圖像數(shù)據(jù)時，使根據(jù)圖像數(shù)據(jù)的圖像顯示在顯示部23中。

例如，控制部18基于利用來自輸入部22的操作輸入或預先設定的自動運轉控制處理生成的信號等，生成樣品工作臺15的工作指令，并向工作臺控制部20送出。

例如，控制部18將從暗箱觀測設備圖像形成部21送出的幀圖像數(shù)據(jù)向顯示部23送出，并使其顯示在顯示部23中。在以下將基于從暗箱觀測設備圖像形成部21送出的幀圖像數(shù)據(jù)而顯示在顯示部23中的圖像稱為cs圖像。

控制部18在使cs圖像顯示在顯示部23中時，基于利用來自輸入部22的操作輸入或預先設定的自動運轉控制處理生成的信號等來生成各種輔助標記的圖像、示出注目點的標記的圖像。

關于所生成的各標記的圖像，與cs圖像疊加，并向顯示部23送出。

關于輔助標記和示出注目點的標記，在后述的工作說明之中進行說明。

例如，控制部18為了進行來自輸入部22的操作輸入或者為了在顯示部23具備觸摸面板的情況下進行利用觸摸操作的輸入，生成包含適當?shù)膅ui的操作輸入畫面并顯示在顯示部23中。

關于控制部18進行的上述以外的控制，在使用帶電粒子束裝置10進行的本實施方式的樣品位置對準方法中的工作說明之中進行說明。

控制部18的裝置結構由包括cpu、存儲器、輸入輸出接口、外部存儲裝置等的計算機構成，由此，執(zhí)行生成實現(xiàn)上述那樣的功能的控制信號的控制程序。

接著，以與本實施方式的樣品位置對準方法有關的工作為中心來說明帶電粒子束裝置10的工作。

在使用了帶電粒子束裝置10的本實施方式的樣品位置對準方法中，在顯示部23中顯示有cs圖像的狀態(tài)下操作者一邊觀察cs圖像一邊使樣品工作臺15移動。但是，樣品工作臺15的一部分的工作能夠通過帶電粒子束裝置10自動地執(zhí)行。

帶電粒子束裝置10具備基于操作者的操作輸入進行主要工作的“手動（manual）操作模式”和自動化一部分工作的“位置對準支援模式”來作為與樣品位置對準工作有關的工作模式。根據(jù)操作者進行的來自輸入部22的操作輸入等來切換“手動操作模式”和“位置對準支援模式”。

在以下，以“位置對準支援模式”的工作為中心進行說明。關于“手動操作模式”的工作，在以下只要將控制部18進行的工作適當?shù)亻喿x替換為操作者通過輸入部22進行的工作即可。

首先，對帶電粒子束裝置10中的顯示部23的顯示畫面進行說明。

圖3是示出顯示cs圖像的顯示部的顯示畫面的一個例子的示意圖。圖4是說明樣品室內的xyz坐標系與在顯示畫面上投影的xyz坐標系的對應關系的示意圖。

圖3所示的顯示畫面23a為在顯示部23中顯示有cs圖像的顯示畫面。關于顯示畫面23a，可以在顯示部23中的整個畫面中顯示，也可以在顯示部23的畫面的一部分中顯示。在顯示部23的畫面的一部分中顯示顯示畫面23a的情況下，在顯示部23的其他的畫面中例如顯示操作輸入畫面也可。

在顯示畫面23a中，作為cs圖像的例子，顯現(xiàn)出位于帶電粒子束鏡筒11的下端部的物鏡電極11a、樣品工作臺15的載置面15a、以及載置在載置面15a上的樣品14。但是，在圖3中，xyz坐標系和沿著各坐標軸延伸的點劃線是為了說明而參考地記載的圖形，并且，不是顯示在顯示畫面23a中的圖像。

在圖3中，載置面15a位于通過基準點z0的x-y平面上。樣品14在載置面15a上被載置在y軸上的偏正方向。

圖3所示的點zmax位于在z軸上基準點z0的正方向側。點zmax為在z軸上成為載置面15a的z軸正方向側的移動上限位置的點。點zmax的位置為即使根據(jù)錯誤操作載置面15a也不與物鏡電極11a沖突那樣的高度，但是，根據(jù)樣品14的高度，存在載置面15a上的樣品14與物鏡電極11a沖突的可能性。將點zmax稱為移動上端點zmax。

圖3所示的點zmin位于在z軸上基準點z0的負方向側。點zmin為在本實施方式的樣品位置對準方法中成為載置面15a的z軸負方向側的移動下限位置的點。即，在后述的本實施方式的樣品位置對準方法中，在z軸上，不會移動到點zmin的下方。因此，在以下，將點zmin稱為移動下端點zmin。

移動上端點zmax、移動下端點zmin也可以為z軸工作臺的機械的移動界限，也可以為由控制部18的工作指令等規(guī)定的軟件設定的移動界限。

在顯示畫面23a中顯示的cs圖像為在相對于x軸、y軸、z軸全部傾斜的cs軸的軸方向上觀察基準點z0的圖像。cs圖像為從傾斜上方向俯視載置面15a的圖像。cs圖像的顯示畫面23a中的圖像中心為基準點z0。

在圖4中示出了顯示畫面23a內的xyz坐標系（圖示右側）與投影于z-cs面的各坐標軸（圖示左側）的對應關系。

cs圖像相當于將暗箱觀測設備17的視場內的三維坐像投影到通過基準點z0與cs軸正交的平面即投影面csp（參照圖4的圖示左側）的二維圖像。

例如，cs圖像上的移動上端點zmax、移動下端點zmin相當于如圖4的圖示左側所示那樣將三維空間中的z軸的點z’max、z’min正射投影到投影面csp后的點a、b。因此，關于cs圖像上的線段z0zmax、線段z0zmin的長度，當?shù)缺堵实乇容^時，比每一個對應的三維空間中的z軸上的線段z0z’max、線段z0z’min短。

像這樣，cs圖像上的各部中的點間距離與三維空間的實際的點間距離幾乎不同，因此，cs圖像具有由于cs軸的傾斜造成的變形。因此，操作者難以根據(jù)cs圖像直觀地把握實際的點間距離。

進而，樣品工作臺15的x軸方向的移動和y軸方向的移動在顯示畫面23a上為傾斜方向，因此，操作者僅通過觀察cs圖像而難以把握樣品工作臺15的各軸方向的移動分量和移動方向的關系。

在本實施方式的樣品位置對準方法中，提高位置對準樣品14時的操作性，以使將上述那樣的cs圖像的特性作為前提而使配置在載置面15a上的樣品14的觀察對象部位進入到利用第一帶電粒子束b1的觀察視場內。

參照圖5~圖14來對使用了帶電粒子束裝置10的本實施方式的樣品位置對準方法進行說明。

圖5是示出本發(fā)明的第一實施方式的樣品位置對準方法的工作流程的流程圖。

在本實施方式的樣品位置對準方法中，按照圖5所示的流程來進行圖5所示的步驟s1~s7。

首先，操作者通過輸入部22進行操作輸入，由此，只要存在在其之前進行的帶電粒子束裝置10的工作，則停止各個工作。操作者在顯示部23中未顯示cs圖像的情況下，使cs圖像顯示在顯示部23的顯示畫面23a中。

之后，操作者通過輸入部22進行執(zhí)行“位置對準支援模式”的操作輸入。

在以下，為了簡單，以樣品14的厚度充分薄且觀察對象部位位于與載置面15a實質上同一平面的情況下的例子進行說明，樣品14厚的情況下的工作在后面進行描述。

首先，進行圖5中的步驟s1。步驟s1為在顯示畫面23a中顯示輔助標記的步驟。

圖6是示出進行圖5中的步驟s1、s2的顯示畫面的示意圖。

控制部18如圖6所示那樣生成光學軸顯示標記30、基準點顯示標記31和移動下端點顯示標記32的圖像來作為輔助標記，并向顯示部23送出。顯示部23將光學軸顯示標記30、基準點顯示標記31和移動下端點顯示標記32疊加顯示于cs圖像。

這些輔助標記為一個例子。關于輔助標記，能夠使用能支援位置對準的適當?shù)臉擞?。關于輔助標記，在本步驟以后根據(jù)需要追加顯示或使本步驟中的顯示為非顯示也可。

特別地，在“手動操作模式”中，輔助標記能夠根據(jù)操作者的操作輸入而根據(jù)需要疊加顯示于cs圖像。

光學軸顯示標記30為表示帶電粒子束鏡筒11中的光學軸ob的直線。在本實施方式中，光學軸顯示標記30也為cs圖像中的z軸。光學軸顯示標記30顯示為通過在圖6中未圖示的移動上端點zmax和移動下端點zmin的線段。

在本實施方式的暗箱觀測設備17的攝像方向上，光學軸顯示標記30也可以為例如通過顯示畫面23a上的中心的垂直軸線。

基準點顯示標記31為示出在樣品室13中存取樣品時的樣品工作臺15的z軸方向的基準位置（基準點z0）的輔助標記?；鶞庶c顯示標記31的形狀并不被限定，但是，在圖6中，由在畫面的水平方向上細長的三角形構成，與光學軸顯示標記30相接的頂點表示cs圖像上的基準點z0的位置。

移動下端點顯示標記32為示出樣品工作臺15在z軸方向上最降低時的載置面15a的z軸上的位置（移動下端點zmin）的標記。移動下端點顯示標記32由與基準點顯示標記31同樣的細長的三角形構成。

在此，對本實施方式的樣品位置對準方法的主要原理進行說明。

在本實施方式的樣品位置對準方法中，在將觀察對象部位移動到實際的z軸上之后，使樣品工作臺15在z軸方向上上升，由此，將觀察對象部位位置對準于帶電粒子束的視場內。

只要觀察對象部位處于實際的z軸上，則觀察對象部位位于與z軸一致的光學軸ob上，因此，位于利用第一帶電粒子束b1的照射的視場范圍的中心。

另一方面，在cs圖像中，z-cs面上的點在cs圖像上全部顯現(xiàn)在表示z軸的直線上。因此，僅通過觀察顯示畫面23a而將觀察對象部位移動到cs圖像上的光學軸顯示標記30的延長線上而不保證觀察對象部位位于z軸上。

因此，在本實施方式中，使用于使觀察對象部位與z軸一致的樣品工作臺15僅在x軸方向或y軸方向上移動來與z軸一致。與x-y平面平行的平面與z軸僅在1點相交。在此，作為x-y平面與z軸相交的代表點，注目于移動下端點zmin，在通過移動下端點zmin的x-y平面內移動，只要發(fā)現(xiàn)與cs圖像上的移動下端點zmin重疊的樣品14上的點，則為處于實際的z軸上的軸上點。

在本實施方式中，為了在光學軸ob上可靠地移動觀察對象部位，將觀察對象部位的移動限制于與光學軸ob正交的1個平面（稱為“軸上點探索面”）。將使觀察對象部位在軸上點探索面內移動稱為“軸上點探索面內移動”。

在進行軸上點探索面內移動時，在顯示畫面23a中觀察對象部位應該被移動的軸上目標點為軸上點探索面與光學軸ob的交點。

本實施方式中的軸上目標點為作為與x-y平面平行的1個平面的軸上點探索面與z軸的交點。

關于軸上點探索面，只要為與x-y平面平行的平面，則能夠某種程度自由地決定。但是，根據(jù)樣品14的大小，也存在當為z軸上的高度過于高的平面時在軸上點探索面內移動中樣品14與物鏡電極11a沖突的可能性。因此，關于軸上點探索面，優(yōu)選的是盡可能從物鏡電極11a遠離的下方側的平面。

在本實施方式中，考慮以上，預先決定樣品工作臺15中的載置面15a的移動下端點zmin，在軸上點探索面內移動時，載置面15a在通過移動下端點zmin與x-y平面平行的平面內移動。在該情況下，軸上點探索面為使載置面15a進行移動的平面向z軸正方向移動樣品14的厚度后的平面。

在能夠充分忽視樣品14的厚度的情況下，軸上點探索面為與x-y平面平行的平面之中通過移動下端點zmin的平面。因此，軸上目標點位于移動下端點zmin。

在本實施方式中，在控制部18中存儲顯示畫面23a中的移動下端點zmin的坐標值來作為默認（default）的軸上目標點。在本實施方式中，在樣品14厚的情況下，操作者能夠通過輸入部22將樣品14的厚度輸入到控制部18中。在該情況下，控制部18對移動下端點zmin的坐標值校正所輸入的厚度的量，生成軸上目標點的坐標值。

輔助標記的顯示位置依賴于暗箱觀測設備17的設置位置、觀察角度（攝像方向s）、攝像倍率等。因此，在輔助標記的顯示位置，在帶電粒子束裝置10的制造時，制作基于暗箱觀測設備17的觀察角度、視場范圍、物鏡的位置、樣品工作臺17的z軸移動量等的顯示用圖像，并存儲到控制部18中。

上述的各輔助標記的形狀為一個例子。例如，作為如基準點顯示標記31、移動下端點顯示標記32那樣顯示特定點的位置的輔助標記能夠使用的圖形，可舉出：與特定點一致的點圖像、包圍特定點的圓、橢圓、矩形等圖像、頂點與特定點一致的多邊形圖像、交點與特定點一致的十字線圖像等。

當顯示在本步驟中應該顯示的全部輔助標記時，步驟s1結束。

如圖5所示那樣，在步驟s1之后，進行步驟s2。步驟s2為指定注目點的步驟。

操作者觀察在cs圖像中顯示的樣品14，將觀察對象部位的中心的點指定為注目點p（參照圖6）。操作者例如通過使用了輸入部22的鼠標點擊或光標移動來在顯示畫面23a上選擇觀察對象部位的中心的圖像像素來指定注目點p。選擇為注目點p的像素的顯示畫面23a上的坐標值被存儲部18存儲。像素的顯示畫面23a上的坐標值能夠使用像素的地址。

將注目點p的位置與xyz坐標系的關系與圖4同樣地示意化并在圖7中示出。圖7為示出圖6中的注目點的位置與xyz坐標系的關系的示意圖。

如圖7所示那樣，該情況下的注目點p不在z軸上。僅通過觀察顯示畫面23a的cs圖像也容易理解該情況。

在注目點p的指定結束后，控制部18使注目點顯示標記（未圖示）疊加顯示在顯示畫面23a上也可。注目點顯示標記為以容易識別所指定的注目點的方式顯示的輔助標記。作為注目點顯示標記，能夠采用與示出上述的特定點的位置的圖像例同樣的圖像。

注目點顯示標記追隨伴隨著樣品工作臺15的移動的注目點p的移動而在顯示畫面23a上移動也可。在該情況下，能夠防止操作者在樣品工作臺15的移動中看錯或看漏注目點p。

為了使注目點顯示標記追隨樣品工作臺15的移動，控制部18根據(jù)樣品工作臺15的移動量求取注目點p的三維空間中的移動向量?？刂撇?8將該移動向量正射投影到投影面csp，由此，換算為顯示畫面23a上的移動向量?？刂撇?8對在注目點p的指定時存儲的顯示畫面23a上的坐標值加上移動向量來求取移動后的坐標值。控制部18將基于移動后的坐標值的注目點顯示標記的圖像向顯示部23送出。由此，在顯示畫面23a上顯示移動后的注目點顯示標記。

注目點顯示標記利用通過輸入部22的操作者的操作輸入來切換顯示狀態(tài)和非顯示狀態(tài)也可。

當注目點p的指定結束而根據(jù)需要顯示注目點顯示標記時，步驟s2結束。

如圖5所示那樣，在步驟s2之后，進行步驟s3。步驟s3為將注目點移動到軸上點探索面的步驟。

圖8是示出進行圖5中的步驟s3的顯示畫面的示意圖。圖9是示出圖8中的注目點的位置與xyz坐標系的關系的示意圖。

控制部18對工作臺控制部20送出工作指令，以使僅在z軸方向上平行移動樣品工作臺15的載置面15a而載置面15a移動到通過移動下端點zmin的與x-y平面平行的平面。

如圖8所示，工作臺控制部20對樣品工作臺15的z軸工作臺進行驅動，將載置面15a朝向z方向負方向移動（下降）。載置面15a位置對準于通過移動下端點zmin的位置（參照圖8的實線）。

由此，注目點p從點p0移動到點p1。由于能夠忽視樣品14的厚度，所以，注目點p1位于由載置面15a構成的軸上點探索面上。

移動下端點顯示標記32本來指移動下端點zmin，但是，由于載置面15a移動到移動下端點zmin，所以指載置面15a的表面。

再有，在圖8中，關于由二點劃線記載的圖形和示出樣品工作臺15的移動方句的箭頭（圖示左下角的豎箭頭），為了參照的方便，進行了記載，而不是實際的顯示在顯示畫面23a中的圖形（在以下的同樣的示意圖中也同樣）。

如圖9所示，通過載置面15a的移動，在顯示畫面23a上，注目點p1看起來像在移動上端點zmax的橫向上排列。但是，如圖9的圖示左側所示那樣，實際上，注目點p從點d朝向點f移動，注目點p1的z軸方向的位置實質上與移動下端點zmin相同。注目點p1的位置與移動上端點zmax的位置完全沒有關系。

當注目點p移動到注目點p1時，步驟s3結束。

如圖5所示，在步驟s3之后，進行步驟s4。步驟s4為使注目點在軸上點探索面內移動而移動到在顯示畫面上的與z軸疊加的位置的步驟。步驟s4通過利用操作者的操作輸入移動樣品工作臺15來進行。

圖10是示出進行圖5中的步驟s4的顯示畫面的示意圖。圖11是示出圖10中的注目點的位置與xyz坐標系的關系的示意圖。

在步驟s4和后述的步驟s5中，為了防止由操作者進行的錯誤操作，控制部18不受理使樣品工作臺15在x軸方向和y軸方向以外的方向上移動的操作輸入也可。在該情況下進行在x軸方向和y軸方向以外的方向上移動的操作輸入的情況下，控制部18在顯示部23中顯示催促在x軸方向或y軸方向上移動的操作輸入的消息也可。

首先，操作者在x軸方向或y軸方向上移動載置面15a，將注目點p重疊在光學軸顯示標記30上。

例如，在圖10所示的例子中，在步驟s中，使載置面15a向y軸的負方向移動，將注目點p從點p1的位置移動到光學軸顯示標記30上的注目點p2。

操作者通過目視感測顯示在顯示畫面23a中的相對于光學軸顯示標記30的當前位置的注目點p的位置偏離，由此，能夠決定移動方向和移動量。

操作者將x軸方向的移動和y軸方向的移動組合，由此，能夠移動到光學軸顯示標記30上的任意位置。但是，為了降低本步驟的操作工時，優(yōu)選的是，僅在x軸方向或y軸方向的任一個移動到光學軸顯示標記30上。

不熟練的操作者由于經常不知曉顯示畫面23a上的x軸方向和y軸方向，所以，也存在僅通過光學軸顯示標記30的圖像而不知曉方向感、距離感的可能性。

控制部18在本步驟中將示出x軸、y軸的方向的輔助標記疊加顯示在顯示部23中也可。

圖11是示出能夠用于第一實施方式的樣品位置對準方法的輔助標記的一個例子的示意圖。

圖11所示的移動方向輔助標記33x、33y（輔助標記）分別為在軸上點探索面上通過注目點p1與x軸、y軸平行的直線的標記。

控制部18每當如上述那樣注目點p進行移動時，計算顯示畫面23a上的移動位置的坐標值?？刂撇?8基于該坐標值生成移動方向輔助標記33x、33y的圖像，并向顯示部23送出，由此，將移動方向輔助標記33x、33y疊加顯示于cs圖像。

當顯示移動方向輔助標記33x、33y時，移動方向輔助標記33y在移動下端點顯示標記32的附近交叉，因此，操作者立刻知曉在y軸方向上再稍微移動就可。

移動量為移動方向輔助標記33y和光學軸顯示標記30的交點與注目點p1的距離，因此，容易推測移動量。在生成移動方向輔助標記33x、33y時，控制部18計算該移動量，使最適合的移動方向和移動量顯示在顯示畫面23a中也可。只要顯示移動量，則操作者能夠通過1次y軸方向的移動將注目點p1移動到光學軸顯示標記30上，因此，能夠進行迅速的操作。

作為輔助標記的變形例，平行地顯示多個移動方向輔助標記33x、33y，構成格子狀的輔助標記也可。在該情況下，只要使格子間隔為固定，則操作者只通過觀察顯示畫面23a，就能夠快速地直觀地感測與位置偏離對應的移動量。

這樣的格子狀的輔助標記在將x軸方向和y軸方向的移動組合的情況下為有效。

在圖12中示出注目點p2的位置與xyz坐標系的關系。圖12是示出圖10中的注目點的位置與xyz坐標系的關系的示意圖。

如圖12的圖示右側所示那樣，注目點p2在顯示畫面23a上看起來像位于z軸上?？墒?，如圖示左側所示那樣，與注目點p2對應的點g不如向cs軸的附近移動，在實際的z軸上只不過從與注目點p1對應的點e稍微靠近。

像這樣，注目點p即使在顯示畫面23a上移動到與z軸疊加的位置，只要從軸上目標點偏離，也不會位于實際的z軸上。

當注目點p1移動到注目點p2時，步驟s4結束。

如圖5所示那樣，在步驟s4之后，進行步驟s5。步驟s5為使注目點在軸上點探索面內移動而移動到軸上目標點的步驟。步驟s5與步驟s4同樣地通過利用操作者的操作輸入移動樣品工作臺15來進行。

圖13是示出進行圖5中的步驟s5的顯示畫面的示意圖。圖14（a）、（b）是示出步驟s5中的注目點的移動工作的例子的示意圖。

操作者在x軸方向和y軸方向上移動載置面15a，將注目點p2移動到作為軸上目標點的移動下端點zmin上。

例如，在圖14（a）中以實線示出的例子中，操作者使光學軸顯示標記30上的注目點p2向y軸正方向移動而移動到點p2a并且向x軸正方向移動而移動到光學軸顯示標記30上的點p2b。在此，點p2b遠離移動下端點zmin，因此，進而，改變移動幅度，如點p2b、p2c、p2d、p2e那樣靠近移動下端點zmin。在最后，從點p2e移動到光學軸顯示標記30上的注目點p3與移動下端點zmin一致。

即使在像這樣重復的情況下，也以返回到光學軸顯示標記30的方式重復移動，由此，能夠防止從移動下端點zmin遠離的操作失誤。

關于同樣的工作，如在圖14（a）中以虛線箭頭示出那樣優(yōu)先實行向x軸正方向的移動來進行也可。

在本步驟中，將由上述的移動方向輔助標記33x、33y構成的格子狀的輔助標記疊加顯示在顯示畫面23a上也可。在該情況下，操作者容易推測移動量。

當重復這樣的移動時，在移動下端點zmin的附近，移動量過于小，因此，存在不能使注目點p正確地與移動下端點zmin一致的可能性?？墒牵P于注目點p的移動，只要能夠將注目點p移動到利用第一帶電粒子束b1的照射的視場范圍即可，因此，容許某種程度的移動誤差。例如，在視場范圍sf在顯示畫面23a上處于圖14（a）所示的范圍的情況下，注目點p只要進入到視場范圍sf內，則結束移動也可。例如，將點p2d、p2e作為注目點p3也可。

控制部18將表示視場范圍sf的圖形作為輔助標記來顯示在顯示畫面23a上也可。

如圖14（b）所示那樣，從注目點p2到移動下端點zmin的移動只要各一次地進行x軸方向和y軸方向的移動就可?？刂撇?8存儲顯示畫面23a上的注目點p2的坐標值和移動下端點zmin的坐標值，因此，注目點p2與移動下端點zmin的距離l是已知的。進而，顯示畫面23a上的x軸與z軸的交叉角α和顯示畫面23a上的y軸與z軸的交叉角β也是已知的。

因此，控制部18能夠根據(jù)這些信息計算應該移動注目點p2的點p2f的顯示畫面23a上的坐標值，因此，也能夠計算實現(xiàn)這樣的移動的x軸方向和y軸方向的移動量?？刂撇?8計算這些移動量并顯示在顯示畫面23a中也可。在該情況下，操作者能夠容易且迅速地進行本步驟的移動。

在圖15中示出注目點p3的位置與xyz坐標系的關系。圖15是示出圖13中的注目點的位置與xyz坐標系的關系的示意圖。

如圖15的圖示右側所示那樣，注目點p3在顯示畫面23a上與移動下端點zmin一致。在該情況下，如圖示左側所示那樣，已知與注目點p3對應的點h存在于實際的z軸上。但是，如上述那樣，點h只要能夠位置對準于視場范圍sf的范圍即可。

因此，在本實施方式的樣品位置對準方法中，注目點p與軸上目標點的一致精度存在與視場范圍對應的容許范圍。

因此，例如，只要樣品14的厚度不怎么厚，則也可以如上述那樣將移動下端點zmin用作軸上目標點。

在注目點p3在顯示畫面23a上移動到作為軸上目標點的移動下端點zmin之后，操作者通過輸入部22將注目點p的向軸上目標點的移動結束的情況向控制部18通知?？刂撇?8在為不受理向x軸方向和y軸方向以外的方向的操作輸入的設定的情況下，解除該設定。由此，步驟s5結束。

如圖5所示那樣，在步驟s5之后，進行步驟s6。步驟s6為使注目點從軸上目標點起在沿著光學軸ob的方向上移動而移動到帶電粒子束光學系統(tǒng)的焦點深度內的步驟。在此，帶電粒子束光學系統(tǒng)的焦點深度意味著通過聚焦第一帶電粒子束b1來得到樣品14的觀察對象部位良好地解像的圖像的光學軸上的范圍。

圖16是示出進行圖5中的步驟s6的顯示畫面的示意圖。

在本步驟中，操作者一邊確認進入到利用第一帶電粒子束b1的照射的視場范圍中的情況一邊逐漸地將樣品工作臺15向z軸正方向移動。

首先，操作者通過輸入部22進行開始第一帶電粒子束b1的照射的操作輸入。此時，即使存在注目點p的位置對準的誤差，也將利用第一帶電粒子束b的觀察倍率設定為最低，以使注目點p可靠地進入到利用第一帶電粒子束b1的照射的視場范圍中?？刂撇?8使觀察倍率為最低，因此，控制為第一帶電粒子束b1的掃描范圍為最大。

控制部18利用二次粒子圖像形成部19開始利用第一帶電粒子束b1的照射的圖像形成。從二次粒子圖像形成部19向控制部18送出的圖像（稱為帶電粒子束圖像）通過控制部18被送出到顯示部23中。顯示部23在顯示畫面23a中顯示帶電粒子束圖像來代替cs圖像。但是，在顯示部23具有多個顯示畫面的情況下，也可以在與cs圖像不同的顯示畫面上顯示帶電粒子束圖像。

伴隨著載置面15a的位置靠近帶電粒子束的焦點深度內，帶電粒子束圖像變得鮮明，在帶電粒子束圖像上，能夠觀察相當于注目點p的觀測對象部位。

操作者通過帶電粒子束圖像來監(jiān)視觀察對象部位是否處于視場范圍，在為視場范圍外的那樣的情況下，使樣品工作臺15在x軸方向或y軸方向上移動來進行位置的微調整。

操作者將觀察對象部位保持于視場范圍的大致中心部，對樣品工作臺15的z軸方向的位置進行微調整，尋找觀察對象部位的對焦點位置。

此時，逐漸地提高利用第一帶電粒子束b1的觀察倍率并進行樣品工作臺15中的x軸、y軸、z軸上的各軸方向的位置調整，由此，能夠更正確地使觀察對象部位位于利用第一帶電粒子束b1的觀察中心。

如果能夠在用于觀察觀察處理部位的最適合的觀察倍率下使用對焦點來確認，則操作者停止樣品工作臺15的移動工作。

在以上，步驟s6結束，本實施方式的樣品位置對準方法結束。

接著，對不能說樣品14的厚度充分地?。ǜ叨瘸浞值停┒荒芎鲆晿悠泛穸鹊那闆r進行說明。例如，在樣品14的厚度為0.5mm以上的情況下，存在產生當忽視樣品厚度時位置對準的誤差不能容許的情況的可能性。

例如，當利用第一帶電粒子束b1的照射的最廣的（觀察倍率最低的）視場觀察區(qū)域為1mm平方時，注目點p的容許位置偏離量必須在從視場中心起向一側±0.5mm以內。

圖17是用于說明在不考慮樣品厚度的情況下觀察對象部位能夠位置對準于視場范圍的容許樣品厚度的說明圖。圖17示出了在z-cs面注目點p處于比載置面高δh的位置m的狀況。也就是說，δh相當于樣品厚度。此時，位置m的實際的xy坐標為位置m的鉛垂下的載置面處的坐標z，但是，在cs畫面中，看起來好像使沿著cs軸將位置m延長的線與xy基準面的交點處于位置n。也就是說，能看見從實際的坐標偏離z-n間的δs。只要是厚度能夠充分忽視程度薄的樣品，則位置n與z一致，但是，樣品越厚，δs越大。只要δs為成為0.5mm以內的δh，則能夠使用上述的方法將注目部位置對準于視場內。

根據(jù)圖17，上述δh根據(jù)δs和帶電粒子束的光學軸與暗箱觀測設備軸形成的角度φ，處于δh=δs/tanφ的關系。

例如，在δs=0.5mm、φ=55°的情況下，所容許的樣品厚度δh為0.35mm。也就是說，只要樣品厚度為0.35mm以下，則能夠通過上述的方法將注目點p進入到視場內。

在不能忽視樣品14的厚度h的情況下，只要從移動下端點zmin向z軸正方向平行移動h即可，以使得軸上點探索面為注目點p存在的樣品14的表面。軸上目標點也同樣地為從移動下端點zmin向z軸正方向移動h后的點。

例如，當操作者在位置對準開始前通過輸入部22將樣品14的厚度h輸入到控制部18中時，控制部18能夠將移動下端點顯示標記32的顯示位置校正h并顯示在顯示畫面23a中。在該情況下，能夠在不替代上述的情況下實施其他的工作。

關于樣品14的厚度，例如，能夠使用光學顯微鏡等來預先測定。此時，不需要知曉樣品14的嚴格的高度，例如，只要知曉0.5mm級（step）程度的大概的值即可。

在樣品14中存在凹凸而注目點p的高度與樣品14的厚度不同的情況下，只要預先測定注目點p的高度即可。

但是，在樣品14的厚度或注目點p的高度為各式各樣的情況下，每次進行位置對準，當測定或輸入樣品14的厚度時，工時增加。

另一方面，如上述那樣，用于將注目點p位置對準于視場范圍的軸上目標點的位置在某種程度上存在容許幅度。

因此，也可以實施本實施方式的以下的那樣的變形。

關于樣品14的厚度h，cs圖像上的外表的厚度hcs為hcs=hsinφ。在此，φ為圖2所示的cs軸與z軸形成的角度，是已知的。

例如，在h=0.5mm、φ=55°的情況下，外表上的厚度hcs為約0.4mm。因此，只要在能夠移動樣品14的cs圖像上顯示例如由相當于0,4mm的z軸方向的刻度構成的板厚參照用的輔助標記，則操作者能夠以0.5mm單位容易地估計樣品14的厚度h。

進而，只要將同樣的刻度以將與移動下端點zmin的位置對應的移動下端點顯示標記32作為基點并且與光學軸顯示標記30交叉的方式顯示，則操作者能夠基于從cs圖像讀取的樣品14的厚度來選擇容許誤差范圍的軸上目標點。

只要像這樣能夠通過控制部18顯示板厚參照用的輔助標記和示出多個軸上目標點候補的輔助標記，則即使在樣品14的板厚頻繁地發(fā)生改變的情況下，也能夠迅速地位置對準。

再有，示出多個軸上目標點候補的輔助標記也可以兼作板厚參照用的輔助標記。

如以上說明那樣，根據(jù)使用帶電粒子束裝置10來進行的本實施方式的樣品位置對準方法，能夠將在樣品室內的樣品的觀察對象部位容易且迅速地位置對準于利用第一帶電粒子束的觀察視場內。

[第二實施方式]

對本發(fā)明的第二實施方式的帶電粒子束裝置進行說明。

如圖1所示，本實施方式的帶電粒子束裝置40將操作者指定的注目點p自動地移動到第一帶電粒子束b1的視場范圍中。

帶電粒子束裝置40具備暗箱觀測設備47、控制部48來代替上述第一實施方式的帶電粒子束裝置10的暗箱觀測設備17、控制部18。

以下，以與上述第一實施方式不同的方面為中心進行說明。

暗箱觀測設備47在對樣品室13內進行遮光后的狀態(tài)下工作，因此，由紅外波長ccd攝像機構成。

控制部48除了上述第一實施方式中的“手動操作模式”和“位置對準支援模式”之外還具備“自動位置對準模式”的方面與控制部18不同。

在“自動位置對準模式”中，控制部48進行的控制的細節(jié)在帶電粒子束裝置40的工作說明之中進行。

接著，以與本實施方式的樣品位置對準方法有關的工作為中心對帶電粒子束裝置40的工作進行說明。

圖18是示出本發(fā)明的第二實施方式的樣品位置對準方法的工作流程的流程圖。圖19是示出本發(fā)明的第二實施方式的帶電粒子束裝置的顯示部的顯示畫面的一個例子的示意圖。

控制部48使顯示部23如圖19所示那樣顯示與上述第一實施方式中同樣地顯示cs圖像的顯示畫面23a和操作輸入畫面41。

在操作輸入畫面41中至少具備位置指定按鈕42、順序（sequence）驅動開始按鈕43、以及停止按鈕44。

位置指定按鈕42為用于使指定的注目點存儲在控制部48中的操作按鈕。

順序驅動開始按鈕43為用于使控制部48開始自動位置對準順序的操作按鈕。

停止按鈕44為用于強制性地停止由控制部48進行的自動位置對準順序的操作按鈕。停止按鈕44用于在某些異常工作發(fā)生時強制性地停止帶電粒子束裝置40的工作的操作。

暗箱觀測設備47為紅外波長ccd攝像機，即使在帶電粒子束照射中，也能夠將cs圖像顯示在顯示部23的顯示畫面23a中。

在本實施方式的樣品位置對準方法中，按照圖18所示的流程進行圖18所示的步驟s11~s15。

首先，由操作者進行圖18所示的步驟s11。

步驟s11為選擇自動位置對準模式的步驟。

操作者在顯示部23中未顯示cs圖像的情況下，使cs圖像顯示在顯示部23的顯示畫面23a中。

操作者通過輸入部22或顯示在顯示部23中的圖示省略的操作輸入畫面來選擇自動位置對準模式。

當將自動位置對準模式被按壓的情況通知到控制部48中時，控制部48開始執(zhí)行進行自動位置對準模式的控制程序。

在步驟s11之后，進行圖18所示的步驟s12。步驟s12為指定注目點的步驟。

操作者通過輸入部22移動光標45，在顯示畫面23a中，將光標45與注目點對準來進行點擊，指定樣品14上的注目點p。接著，按壓操作輸入畫面41的位置指定按鈕42，由此，控制部48存儲畫面上的注目部的坐標和樣品工作臺15的坐標。

在“自動位置對準模式”中，使注目點p移動到帶電粒子束的視場范圍內的工作被自動化，因此，也可以不顯示注目點顯示標記，但是，更優(yōu)選進行顯示，以便操作者對帶電粒子束裝置40的工作進行監(jiān)視。

同樣地，也可以不顯示在上述第一實施方式中說明的輔助標記，但是，更優(yōu)選進行顯示，以便操作者對帶電粒子束裝置40的工作進行監(jiān)視。此外，注目點的指定后到移動完成之前完全不顯示cs圖像也可。

即使在不顯示輔助標記的情況下，也與上述第一實施方式的控制部18同樣地，控制部48存儲注目點p、移動下端點zmin和基準點z0的顯示畫面23a上的坐標值、以及樣品工作臺15的3軸移動的移動坐標值。

注目點p的坐標值與樣品工作臺15的移動一起被更新。

當操作者結束注目點p的指定時，步驟s12結束。

在步驟s12之后，進行圖18所示的步驟s13。步驟s13為指示自動位置對準順序的工作開始的步驟。

步驟s13通過操作者按壓圖19所示的順序驅動開始按鈕43來進行。

在以上，步驟s13結束。

圖18所示的步驟s14為在移動樣品工作臺15而將注目點p移動到cs圖像上的軸上目標點之后移動到帶電粒子束光學系統(tǒng)的焦點深度內的步驟。

當順序驅動開始按鈕43被按壓時，利用預先存儲在控制部48中的執(zhí)行自動位置對準順序的控制程序來自動地執(zhí)行本步驟。在萬一陷入必須停止的事態(tài)的情況下，當操作者按壓停止按鈕44（參照圖19）時，強制性地停止順序。

與上述第一實施方式中的步驟s3~s6大致同樣地進行本步驟。但是，在上述第一實施方式中通過操作者的指示來執(zhí)行的工作基于控制部48的控制信號來執(zhí)行。

在該自動順序中，在cs圖像上作為移動目標位置的z軸、移動下端點zmin、基準點z0的坐標值（像素的地址）被預先存儲在控制部48中。因此，控制部48在注目點p的坐標值通過樣品工作臺15的移動與移動目標位置的坐標值一致時確定為停止樣品工作臺15或移動到下一個移動目標位置。因此，作為一系列的工作連續(xù)地進行順序工作。

與移動目標位置是否一致的判定并不限定于根據(jù)坐標值的完全的一致的判定。例如，只要在按照各個移動目標位置的每一個設定的容許偏離量的范圍內一致即可。

在以下，以與上述第一實施方式的步驟s3~s6不同的工作為中心進行說明。

控制部48進行與上述第一實施方式中的步驟s3同樣的控制，如圖8所示那樣，使注目點p0向z軸負方向移動，如注目點p1那樣移動到軸上點探索面。

之后，如圖10所示那樣，控制部48代替上述第一實施方式的步驟s4的操作者而使載置面15a僅在x軸方向或y軸方向上移動，將注目點p1如注目點p2那樣移動到與cs圖像上的z軸疊加的位置。

控制部48能夠如在上述第一實施方式中的步驟s4中說明那樣計算通過存儲在控制部48中的注目點p1的坐標的x軸或y軸所平行的直線與z軸的cs圖像上的交點?？刂撇?8將該交點與注目點p1的距離換算為三維空間的x軸方向或y軸方向的移動向量來求取樣品工作臺15的移動方向和移動量，進行樣品工作臺15的移動控制也可。

作為由控制部48進行的其他的移動控制方法的例子，可舉出：在不預先計算終點位置的情況下決定移動方向而開始樣品工作臺15的移動來將注目點p的坐標值與目標位置（z軸）的坐標值相比較而在感測到到達目標位置之后停止樣品工作臺15的移動的控制。

之后，如圖13所示那樣，控制部48代替上述第一實施方式的步驟s5的操作者而使載置面15a僅在x軸方向和y軸方向上移動，將注目點p2如注目點p3那樣移動到與cs圖像上的移動下端點zmin一致的位置。

控制部48代替操作者進行如在上述第一實施方式中的步驟s5中說明那樣圖14（a）或圖14（b）所示的移動。

之后，如圖16所示那樣，控制部48代替上述第一實施方式的步驟s6的操作者而使載置面15a僅在z軸方向上移動，將注目點p3如注目點p4那樣移動到預先決定的帶電粒子束光學系統(tǒng)的焦點深度內的目標位置。例如，只要預先決定的目標位置為cs圖像上的基準點z0，則移動到基準點z0?？刂撇?8當感測到注目點p到達焦點深度內的目標位置時，停止樣品工作臺15。

在以上，步驟s14結束。

在本實施方式中，控制部48使用注目點p的坐標值來進行向各移動目標位置的位置對準判定。因此，向各移動目標位置的位置對準精度與利用使用了輔助標記的目視的位置對準的第一實施方式的位置對準精度相比為高精度。其結果是，在本步驟中，即使不進行x軸方向和y軸方向的微調整，也能夠將注目點p位置對準于視場范圍。

在步驟s14之后，進行步驟s15。步驟s15為在顯示部23中顯示帶電粒子束圖像的步驟。

控制部48將控制信號向帶電粒子束鏡筒11送出，使第一帶電粒子束b1的照射開始。此時，控制部48將利用第一帶電粒子束b1的觀察速率設定為最低，以使即使存在注目點p的位置對準的誤差，注目點p也可靠地進入到利用第一帶電粒子束b1的照射的視場范圍。

控制部48通過二次粒子圖像形成部19開始利用第一帶電粒子束b1的照射的圖像形成。將從二次粒子圖像形成部19向控制部18送出的帶電粒子束圖像通過控制部18向顯示部23送出。

在本實施方式中，暗箱觀測設備47為紅外波長ccd攝像機，因此，即使在帶電粒子束照射中也能夠繼續(xù)利用暗箱觀測設備47的圖像取得工作。

顯示部23在顯示畫面23a中顯示帶電粒子束圖像來代替cs圖像。但是，在顯示部23具有多個顯示畫面的情況下，控制部18也可以使顯示部23顯示cs圖像和帶電粒子束圖像雙方。

操作者觀察顯示部23的帶電粒子束圖像，如果能夠確認注目點p處于視場，則步驟s15和本實施方式的圖像位置對準方法結束。再有，在使注目點p位置移動到圖像的中心之后，使本實施方式的圖像位置對準方法結束也可。

在注目點p從視場的中心部偏離或注目點p的圖像模糊的情況下，操作者在驅動樣品工作臺15來進行微調整之后，結束步驟s15。

例如，使控制部48具有帶電粒子束圖像的圖像識別功能，由此，只要能進行帶電粒子束圖像中的注目點p的位置檢測，則對注目點p的位置通過控制部48的控制來進行微調整也可。在該情況下，在本實施方式中，能夠同時并行地取得cs圖像和帶電粒子束圖像，因此，能夠從注目點p的cs圖像上的位置對準連續(xù)地進行帶電粒子束圖像上的位置對準的工作。由此，能夠迅速地進行正確的位置對準。此外，操作者的負擔也少就可。

如以上說明那樣，根據(jù)使用帶電粒子束裝置40來進行的本實施方式的樣品位置對準方法，與上述第一實施方式同樣地，能夠將在樣品室內的樣品的觀察對象部位容易且迅速地位置對準于利用第一帶電粒子束的觀察視場內。

進而，根據(jù)本實施方式的帶電粒子束裝置40，能夠通過控制部48的控制自動地進行使用了樣品工作臺15的注目點p的移動，因此，能夠更容易且迅速地進行位置對準。

[第三實施方式]

對本發(fā)明的第三實施方式的帶電粒子束裝置進行說明。

圖20是示出本發(fā)明的第三實施方式的帶電粒子束裝置的結構的一個例子的示意性的系統(tǒng)結構圖。

圖20所示的本實施方式的帶電粒子束裝置50為能夠從2個方向照射帶電粒子束的裝置的一個例子，具體地，能夠將聚焦離子束和電子束向樣品面上的大致相同之處照射。圖21是說明本發(fā)明的第三實施方式的帶電粒子束裝置中的坐標系的示意圖。

帶電粒子束裝置50具備聚焦離子束鏡筒51a（第一帶電粒子束鏡筒）、電子束鏡筒51b（第二帶電粒子束鏡筒）、控制部58來代替上述第一實施方式的帶電粒子束裝置10的帶電粒子束鏡筒11、控制部18。

以下，以與上述第一實施方式不同的方面為中心進行說明。

聚焦離子束鏡筒51a產生聚焦離子束bi（參照圖21，第一帶電粒子束），朝向樣品工作臺15上的樣品14照射聚焦離子束bi。

聚焦離子束鏡筒51a具備：用于形成聚焦離子束bi的離子源、以及包含使離子聚焦的透鏡電極和使離子偏向的偏向電極等的離子束光學系統(tǒng)（帶電粒子束光學系統(tǒng)）?？墒?，在圖20中，省略了它們的周知的內部構造的圖示。

如圖21所示那樣，聚焦離子束鏡筒51a中的離子束光學系統(tǒng)的光學軸obi與上述第一實施方式的帶電粒子束鏡筒11同樣地配置為與樣品室13內的xyz坐標系中的z軸同軸。

聚焦離子束鏡筒51a與暗箱觀測設備17的位置關系與上述第一實施方式中的帶電粒子束鏡筒11與暗箱觀測設備17的位置關系相同。

電子束鏡筒51b產生電子束be（參照圖21，第二帶電粒子束），朝向樣品工作臺15上的樣品14照射電子束be。

電子束鏡筒51b具備：用于形成電子束be的電子源、以及包含使電子聚焦的透鏡電極和使電子偏向的偏向電極等的電子束光學系統(tǒng)?？墒?，在圖20中，省略了它們的周知的內部構造的圖示。

如圖21所示那樣，電子束鏡筒51b中的電子束光學系統(tǒng)的光學軸obe在y-z平面內從z軸朝向y軸傾斜角度ω。因此，光學軸obe與x軸正交。

像這樣，離子束光學系統(tǒng)的焦點位置和電子束光學系統(tǒng)的焦點位置都被配置為與基準點z0一致。因此，帶電粒子束裝置50為能夠從不同的2個方向對樣品14的大致相同的部位實施觀察和加工的至少任一個的裝置。例如，只要使用帶電粒子束裝置50，則進行照射聚焦離子束bi來曝光樣品14的剖面的加工，在該狀況下，能夠通過電子束be的照射知曉該剖面形狀或元素分布。

控制部58對帶電粒子束裝置50的各裝置部分的工作進行控制。因此，控制部58以能通信的方式與聚焦離子束鏡筒51a、電子束鏡筒51b、樣品工作臺15、暗箱觀測設備17、暗箱觀測設備圖像形成部21、二次粒子圖像形成部19、輸入部22、以及顯示部23連接。

控制部58進行聚焦離子束鏡筒51a、電子束鏡筒51b的工作控制以外的控制功能與上述第一實施方式的控制部18大致同樣。

關于與由控制部58進行的本實施方式的圖像位置對準方法有關的控制，在帶電粒子束裝置50的工作說明之中進行說明。

接著，以與本實施方式的樣品位置對準方法有關的工作為中心來對帶電粒子束裝置50的工作進行說明。

圖22是示出本發(fā)明的第三實施方式的樣品位置對準方法的工作流程的流程圖。

在帶電粒子束裝置50中，對樣品14照射聚焦離子束bi和電子束be，因此，樣品14的觀察對象部位需要移動到各個焦點位置一致的重合點（coincidentpoint）。將處于兩個束的視場外的樣品14的觀察對象部位迅速地位置移動到重合點不容易，依靠操作者的經驗的部分較大。

在本實施方式的樣品位置對準方法中，按照圖22所示的流程來進行圖22所示的步驟s21~s29。

以下，以與上述第一實施方式不同的工作為中心進行說明。

步驟s21~s25為除了使用聚焦離子束鏡筒51a來代替上述第一實施方式的帶電粒子束鏡筒11以外與圖5所示的步驟s1~s5相同的步驟。

因此，在步驟s25結束后，注目點p與移動下端點zmin一致。

在步驟s25之后，進行步驟s26。步驟s26為操作者判定在利用第二帶電粒子束即電子束be的照射的視場中是否存在注目點的步驟。

在進行本步驟之前，控制部58進行從電子束鏡筒51b照射電子束be而從二次粒子圖像形成部19取得利用電子束be的圖像（以下，稱為電子束圖像）的控制?？刂撇?8使所取得的電子束圖像顯示在顯示部23中。

操作者觀察顯示部23中的電子束圖像來判定作為與cs圖像上的注目點p對應的觀察對象部位的注目點是否處于視場內。

在注目點未處于視場內的情況下，轉移到步驟s29。

在注目點處于視場內的情況下，轉移到步驟s27。

步驟s29為將注目點p沿著光學軸obi朝向焦點深度內稍微移動的步驟。具體地，將載置面15a向z方向正方向移動預先決定并存儲在控制部58中的移動量。

這是因為，由于電子束be的光學軸obe相對于z軸傾斜角度ω，所以在沿著光學軸obi（z軸）的移動中，如果不接近焦點深度內，則難以進入到視場。

通過控制部58的控制，如果載置面15a上升規(guī)定量，則轉移到步驟s26。

通過步驟s29，即使載置面15a在z軸方向上移動，由于在步驟s25之前注目點p位于光學軸obi上，所以注目點p也不會從利用聚焦離子束bi的視場偏離。

步驟s26為將注目點移動到電子束be的視場的中心部的步驟。

在執(zhí)行本步驟的情況下，注目點位于利用電子束be的視場中。因此，操作者能夠觀察顯示部23中的電子束圖像來修正在視場內的注目點的位置。

操作者從輸入部22進行操作輸入，以使注目點移動到電子束be的視場的中心部（相當于y-z平面）。

此時，操作者確認電子束圖像，如果注目點從z-y面較大地偏離，則使樣品工作臺15僅在x軸方向上移動來與z-y面一致。

如果注目點移動到電子束be的視場的中止部，則結束步驟s27，轉移到步驟s28。

進行步驟s27，由此，在cs圖像中難以把握，容易把握與注目點p對應的觀察對象部位的x軸方向上的離z軸的間隔。因此，如上述第一實施方式那樣，與帶電粒子束鏡筒僅為1個的裝置相比能夠更正確且迅速地使注目點p與三維空間上的z軸上一致。

在步驟s27之后，進行步驟s28。步驟s28為將注目點沿著光學軸obi（z軸）移動到處于離子束光學系統(tǒng)的焦點深度內的重合點的步驟。

操作者以使樣品工作臺15移動到重合點的方式對輸入部22進行操作輸入，將注目點p移動到重合點。

在以上，步驟s28結束，本實施方式的樣品位置對準方法結束。

如以上說明那樣，根據(jù)使用帶電粒子束裝置50來進行的本實施方式的樣品位置對準方法，能夠將在樣品室內的樣品的觀察對象部位容易且迅速地位置對準于利用第一帶電粒子束的觀察視場內。

特別地，在本實施方式中，通過電子束be的照射取得來自與z-cs面交叉的方向的圖像，因此，能夠更高精度地進行注目點p的位置對準。

進而，在進行利用電子束be的圖像取得的過程中，也進行在電子束be的視場內的注目點p的位置對準，因此，能夠可靠地朝向重合點進行位置對準。

再有，在上述第一實施方式的說明中，以總是顯示輔助標記的情況下的例子進行了說明，但是，在成為位置對準作業(yè)的支援的情景下，適當顯示輔助標記也可。

以上，說明了本發(fā)明的優(yōu)選的實施方式，但是，本發(fā)明并不限定于這些實施方式和其變形例。能夠在不偏離本發(fā)明的主旨的范圍中進行結構的附加、省略、替換和其他的變更。

此外，本發(fā)明并不被前述的說明限定，僅被添附的專利權利要求書限定。

附圖標記的說明

10、40、50帶電粒子束裝置

11帶電粒子束鏡筒

13樣品室

14樣品

15樣品工作臺

15a載置面

16二次粒子檢測器

17、47暗箱觀測設備

18、58控制部（注目點指定控制部、樣品工作臺移動控制部、輔助標記顯示控制部）

21暗箱觀測設備圖像形成部

22輸入部（工作臺操作部）

23顯示部

23a顯示畫面

30光學軸顯示標記（輔助標記）

31基準點顯示標記（輔助標記）

32移動下端點顯示標記（輔助標記）

48控制部（注目點指定控制部、樣品工作臺移動控制部、位置對準控制部）

51a聚焦離子束鏡筒（第一帶電粒子束鏡筒）

51b電子束鏡筒（第二帶電粒子束鏡筒）

b1第一帶電粒子束

be電子束（第二帶電粒子束）

bi聚焦離子束（第一帶電粒子束）

ob、obi光學軸（第一光學軸）

obe光學軸（第二光學軸）

p、p0、p1、p2、p3注目點

s攝像方向

z0基準點

zmin移動下端點（軸上目標點）。