本發(fā)明涉及定位裝置，更詳細(xì)地，涉及使用于顯示器面板工程裝備或半導(dǎo)體工程裝備等的定位裝置。

背景技術(shù)：

通常，在顯示器面板工程裝備、半導(dǎo)體工程裝備等中使用的定位裝置，為了半導(dǎo)體元件等的制造或檢查等，為了精確地決定半導(dǎo)體元件等的位置，多被使用短距離直線運(yùn)動的結(jié)構(gòu)。

尤其，根據(jù)最近顯示器面板工程裝備、半導(dǎo)體工程裝備等的小型化及精密化的傾向，對此與生產(chǎn)部下物有直接關(guān)系的定位裝置同樣在窄小的空間使驅(qū)動能夠容易精確地實(shí)現(xiàn)定位，持續(xù)的在小型及博型化的趨勢。

但是，為了精密的進(jìn)行定位，由于定位裝置的直線移動時，不能有晃動及沖擊，因此，根據(jù)小型及博型化的由于結(jié)構(gòu)放置性及機(jī)械強(qiáng)性底下問題，在縮小定位裝置的全體高度及尺寸、定位裝置的各結(jié)構(gòu)要素的厚度具有技術(shù)性局限。

相關(guān)先行技術(shù)有韓國專利公開第10-2010-0012940號(發(fā)明名稱：精密驅(qū)動臺，公開日：2010年2月9日)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

技術(shù)問題

本發(fā)明以如同上述的技術(shù)背景為基礎(chǔ)提出的，提供輕量化及薄膜化的定位裝置。

解決問題的手段

根據(jù)本發(fā)明一側(cè)的定位裝置包括：底板；第一移動板，能夠以向第一軸移動的方式配置在上述底板；第二移動板，以與上述第一軸正交并能夠向第二軸方向移動的方式配置在上述第一移動板，上述第二軸方向與上述第一移動板平行；旋轉(zhuǎn)板，能夠以與第一軸及上述第二軸同時正交的旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)地配置在上述第二移動板；第一驅(qū)動單元，包括固定在上述底板的第一驅(qū)動單元本體以及對于上述第一驅(qū)動單元本體能夠向上述第一軸移動并上述第一移動板相連接的第一移動支架；第二驅(qū)動單元，包括固定在上述第一移動板的第二驅(qū)動單元本體以及對于上述第二驅(qū)動單元本體能夠向上述第二軸方向移動并與上述第二移動板相連接的第二移動支架；以及第三驅(qū)動單元，包括固定在上述第二移動板的第三驅(qū)動單元本體、能夠向上述第一軸或上述第二軸方向移動的第三移動支架以及一側(cè)以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與上述第三移動支架相連接且另一側(cè)固定在上述旋轉(zhuǎn)板的樞軸支架。

并且，上述底板可包括：底板本體，呈板狀；以及一對第一導(dǎo)軌，配置在上述底板本體的上部面，向上述第一軸延伸且相互之間隔開，上述第一移動板可包括：第一移動板本體，呈板狀；以及一對第二導(dǎo)軌，配置在上述第一移動板本體的下部面，向上述第一軸延伸，配置在上述一對第一導(dǎo)軌之間來與上述第一導(dǎo)軌相嚙合。

并且，上述第一移動板還可包括一對第三導(dǎo)軌，上述一對第三導(dǎo)軌配置在上述第一移動板本體的上部面，向上述第二軸方向延伸且相互之間隔開，上述第二移動板可包括：第二移動板本體，呈板狀；以及一對第四導(dǎo)軌，配置在上述第二移動板的下部面，向上述第二軸方向延伸，以在一對第四導(dǎo)軌之間設(shè)置有上述第三導(dǎo)軌的方式隔開來分別與上述第三導(dǎo)軌相嚙合。

并且，上述一對第一導(dǎo)軌分別可包括第一導(dǎo)軌本體，上述第一導(dǎo)軌本體向上述第一軸延伸并沿著上述第一導(dǎo)軌的長度方向形成有第一凹槽，上述一對第二導(dǎo)軌分別包括第二導(dǎo)軌本體，上述第二導(dǎo)軌本體向上述第一軸延伸并沿著上述第二導(dǎo)軌的長度方向形成有與第一凹槽相向的第二凹槽，上述一對第三導(dǎo)軌分別包括第三導(dǎo)軌本體，上述第三導(dǎo)軌本體向上述第二軸方向延伸并沿著上述第三導(dǎo)軌的長度方向形成有第三凹槽，上述一對第四導(dǎo)軌分別包括第四導(dǎo)軌本體，上述第四導(dǎo)軌本體向上述第二軸延伸并沿著上述第四導(dǎo)軌的長度方向形成有與第三凹槽相向的第四凹槽，上述定位裝置還可包括：圓形的第一滾子部件，配置在上述第一導(dǎo)軌本體及上述第二導(dǎo)軌本體之間，向上述第一凹槽及上述第二凹槽插入；以及圓形的第二滾子部件，配置在上述第三導(dǎo)軌本體及上述第四導(dǎo)軌本體之間，向上述第三凹槽及上述第四凹槽插入。

并且，上述底板還可包括一對第一支撐框架，上述一對第一支撐框架在上述底板本體的上部面向上方突出形成，以在上述一對第一支撐框架之間設(shè)置有上述一對第一導(dǎo)軌的方式相互之間隔開，支撐上述一對第一導(dǎo)軌，上述第一移動板還包括：第二支撐框架，從上述第一移動板本體的下部面向下方突出形成，配置在上述一對第二導(dǎo)軌之間，支撐上述第二導(dǎo)軌；以及第三支撐框架，從上述第一移動板本體的上部面向上方突出形成，配置在上述一對第三導(dǎo)軌之間，支撐上述第三導(dǎo)軌，上述第二移動板還可包括第四支撐框架，上述第四支撐框架從上述第二移動板本體的邊緣向下方彎曲形成，支撐上述第四導(dǎo)軌。

并且，上述第一移動板可包括：延伸部，延伸部，上述延伸部從上述第一移動板本體的一側(cè)向上述第一軸延伸，上述第二驅(qū)動單元本體的至少一部分放置及固定在上述延伸部。

并且，上述底板還可包括形成于上述底板本體的一側(cè)及另一側(cè)并形成有多個貫通孔的一對底板固定部。

并且，在上述底板、上述第一移動板、上述第二移動板及上述旋轉(zhuǎn)板可分別形成有圓形的第一排列孔、第二排列孔、第三排列孔及第四排列孔，上述旋轉(zhuǎn)軸可經(jīng)過上述第一排列孔、第二排列孔、第三排列孔及第四排列孔。

并且，上述第一排列孔及上述第二排列孔能夠以第一尺寸形成，上述第三排列孔及上述第四排列孔能夠以第二尺寸形成，上述第一尺寸可大于第二尺寸。

并且，上述第一移動板或上述第二移動板分別對于上述底板或上述第一移動板移動的過程中，上述第一移動板及上述第二移動板可不與上述旋轉(zhuǎn)軸發(fā)生干涉。

并且，上述第二驅(qū)動單元及上述第三驅(qū)動單元以隔著上述旋轉(zhuǎn)板的方式相互并排配置，上述第一驅(qū)動單元可配置在上述第二驅(qū)動單元及上述第三驅(qū)動單元的一側(cè)。

發(fā)明效果

根據(jù)如上所述的本發(fā)明的實(shí)施例，可提供輕量化及薄膜化的定位裝置，具有可在設(shè)置條件棘手的位置設(shè)置上述定位裝置的優(yōu)點(diǎn)。

并且，由于板的驅(qū)動單元相互之間不重疊，因此驅(qū)動馬達(dá)的形狀或尺寸不受限制，且形成有貫通孔而可同時利用光學(xué)裝置。

附圖說明

圖1為示出本發(fā)明實(shí)施例的定位裝置的立體圖。

圖2為示出圖1的定位裝置的俯視圖。

圖3為圖1的定位裝置的分解立體圖。

圖4為從IV方向觀察圖3的分解立體圖的圖。

圖5為從V方向觀察圖4的分解立體圖的圖。

圖6為示出圖1的定位裝置的第三驅(qū)動單元和旋轉(zhuǎn)扳的結(jié)構(gòu)的分解立體圖。

圖7為示出圖6的定位裝置的第三驅(qū)動單元和旋轉(zhuǎn)扳的運(yùn)轉(zhuǎn)的圖。

圖8為示出圖1的定位裝置的第一導(dǎo)軌及第二導(dǎo)軌的部視圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明，以便屬于本發(fā)明的技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能容易地進(jìn)行實(shí)施。

本發(fā)明能夠以各種不同的形態(tài)實(shí)施，不局限于在此說明的實(shí)施例。為了更加明確地說明本發(fā)明，而在附圖中省略了與說明無關(guān)的部分，在整個說明書中對于相同或類似的結(jié)構(gòu)要素賦予了相同的附圖標(biāo)記。并且，為了說明的便利，在附圖中所示的各結(jié)構(gòu)的尺寸及厚度以任意尺寸及厚度表示，因此本發(fā)明并不限定于附圖所示的尺寸及厚度。

根據(jù)本發(fā)明的“在～上”是意味著位于對象部件的上或下，并不意味著必須以重力方向?yàn)榛鶞?zhǔn)位于上部。并且，在整個說明書中，某個部分“包括”某個結(jié)構(gòu)要素時，只要無特別相反的記載，就不是要除外其他結(jié)構(gòu)要素，而是意味著還可包括其他結(jié)構(gòu)要素。

并且，在本發(fā)明中說明的定位裝置可意味著能夠沿著多個軸進(jìn)行位置移動的混合對準(zhǔn)裝置。

以下，參照附圖對本發(fā)明實(shí)施例的定位裝置進(jìn)行詳細(xì)說明。

圖1為示出本發(fā)明實(shí)施例的定位裝置的立體圖，圖2為示出圖1的定位裝置的俯視圖。

參照圖1及圖2，根據(jù)本實(shí)施例的定位裝置1的一部分結(jié)構(gòu)沿著與第一軸D1及第二軸D1正交的第二軸D2方向線性移動，其他部分可沿著與第一軸D1及第二軸D2同時正交的旋轉(zhuǎn)軸R旋轉(zhuǎn)，可對放置在與定位裝置1相結(jié)合的操作臺或定位裝置1的工作對象物進(jìn)行精密調(diào)整，例如可對半導(dǎo)體晶片等的工作位置的精密調(diào)整。

定位裝置1包括底板100、第一移動板200、第二移動板300、旋轉(zhuǎn)板400、第一驅(qū)動單元500、第二驅(qū)動單元600、第三驅(qū)動單元700。

底板100可放置或固定在預(yù)設(shè)定的位置，可提供對定位裝置1的位置設(shè)定的基礎(chǔ)。

第一移動板200能夠以向第一軸D1移動的方式配置在上述底板100，第二移動板300能夠以向第二軸D2方向移動的方式配置在上述第一移動板200，上述第二軸D2方向與上述第一移動板200平行。

旋轉(zhuǎn)板400能夠以旋轉(zhuǎn)軸R為中心旋轉(zhuǎn)的方式配置在第二移動板300。

第一驅(qū)動單元500固定在底板100，可向第一軸D1方向移動的第一驅(qū)動單元500的部分結(jié)構(gòu)與第一移動板200相連接。因此，第一驅(qū)動單元500使第一移動板200能夠相對于底板100向第一軸D1方向移動。

第二驅(qū)動單元600固定在第一移動板200，可向第二軸D2方向移動的第二驅(qū)動單元600的部分結(jié)構(gòu)與第二移動板300相連接。因此，第二驅(qū)動單元600使第二移動板300能夠相對于第一移動板200向第二軸D2方向移動。

同樣，第三驅(qū)動單元700固定在第二移動板300，能夠以旋轉(zhuǎn)軸R為中心移動的部分結(jié)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)板400相連接。因此，第三驅(qū)動單元700使旋轉(zhuǎn)板400能夠以旋轉(zhuǎn)軸R為中心進(jìn)行相對于第二移動板300的旋轉(zhuǎn)。

以下，詳細(xì)說明底板100、第一移動板200、第二移動板300、旋轉(zhuǎn)板400、第一驅(qū)動單元500、第二驅(qū)動單元600、第三驅(qū)動單元700的具體結(jié)構(gòu)。

圖3為圖1的定位裝置的分解立體圖，圖4為從IV方向觀察圖3的分解立體圖的圖，圖5為從V方向觀察圖4的分解立體圖的圖。

參照圖3，底板100包括底板本體101、第一導(dǎo)軌104、第一支撐框架103、底板固定部105。

底板本體101呈板狀，在底板本體101的中央形成有圓形的第一排列孔102。在底板本體101固定有第一驅(qū)動單元500。

第一導(dǎo)軌104配置在底板本體101的上部面，并向第一軸D1方向延伸。并且第一導(dǎo)軌104以相互之間隔開的方式進(jìn)行配置。

第一支撐框架103從底板本體101的上部面向上方突出，將第一導(dǎo)軌104放在中心相互之間隔開。并且第一支撐框架103與第一導(dǎo)軌104的后部面相接觸，來從后方支撐第一導(dǎo)軌104。

底板固定部105形成于底板本體101的一側(cè)邊緣及另一側(cè)邊緣，并形成有多個貫通孔。在本實(shí)施例中，底板固定部105能夠以之間設(shè)置第一支撐框架103的方式配置在底板本體101一側(cè)及另一側(cè)。

底板固定部105可借助貫通上述貫通孔的緊固部件(未圖示)固定在工作固定臺(未圖示)來提供定位裝置1的固定位置。

第一移動板200包括第一移動板本體201、第二導(dǎo)軌204、第三導(dǎo)軌205、第二支撐框架203、第三支撐框架206、延伸部207。

第一移動板本體201呈板狀，第一移動板本體201的中央形成有與底板本體101的第一排列孔102一同排列圓形的第二排列孔208。此時，根據(jù)本實(shí)施例的定位裝置1的第一排列孔102及第二排列孔208的尺寸可相同。

第二導(dǎo)軌204配置在第一移動板本體201的下部面并向第一軸D1延伸。第二導(dǎo)軌204配置在第一導(dǎo)軌104之間，分別與第一導(dǎo)軌104相嚙合，來可引導(dǎo)相對于沿著第一軸D1方向形成的底板100的第一移動板200的移動。

第二支撐框架203從第一移動板本體201的下部面向下方突出形成，配置在一對第二導(dǎo)軌204之間。第二支撐框架203與第二導(dǎo)軌204的后部面相接觸，從后方支撐第二導(dǎo)軌204。

第三導(dǎo)軌205配置在第一移動板本體201的上部面，與第二導(dǎo)軌204正交的方向的向第二軸D2方向延伸。

第三支撐框架206從第一移動板本體201的上部面向上方突出形成，配置在一對第三導(dǎo)軌205之間。第三支撐框架206與第三導(dǎo)軌205的后部面相接觸，從后方支撐第三導(dǎo)軌205。

延伸部207從第一移動板本體201的一側(cè)向第一軸D1方向延伸，固定有第二驅(qū)動單元600。

第二移動板300包括第二移動板本體301、第四導(dǎo)軌303、第四支撐框架302、旋轉(zhuǎn)部件304。

第二移動板本體301呈板狀，第二移動板本體301的中央部側(cè)配置有旋轉(zhuǎn)部件304，上述旋轉(zhuǎn)部件304能夠以與第二移動板本體301形成的平面垂直的方向形成的旋轉(zhuǎn)軸R為中心旋轉(zhuǎn)。

旋轉(zhuǎn)部件304以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與第二移動板本體301相連接，在旋轉(zhuǎn)部件304的中央形成有第三排列孔305并呈圓形，在旋轉(zhuǎn)部件304的上部面形成有多個第一結(jié)合孔306。

第三排列孔305可與第一排列孔102及第二排列孔208一同排列，并具有小于第一排列孔102及第二排列孔208的直徑。

第四導(dǎo)軌303配置在第二移動板本體301的下部面并向第二軸D2方向延伸。第四導(dǎo)軌303在中間設(shè)置有第三導(dǎo)軌205的方式相互隔開，分別與第三導(dǎo)軌205相嚙合，來可引導(dǎo)相對于沿著第二軸D2方向形成的第一移動板200的第二移動板300的移動。

第四支撐框架302從第二移動板本體301的一側(cè)及另一側(cè)邊緣向下方彎曲形成，從后方支撐第四導(dǎo)軌303。

旋轉(zhuǎn)板400能夠以旋轉(zhuǎn)軸R為中心旋轉(zhuǎn)與第二移動板300相連接，包括呈圓形的旋轉(zhuǎn)板本體401。

在旋轉(zhuǎn)板本體401的邊緣一地點(diǎn)形成有向旋轉(zhuǎn)板本體401中心凹陷的支架插入孔405，在旋轉(zhuǎn)板本體401的上部面形成有在旋轉(zhuǎn)板本體401的上部面與支架插入孔405相連通的支架固定孔406。

在旋轉(zhuǎn)板本體401的中央形成有與第一排列孔102、第二排列孔208及第三排列孔305一同排列的圓形的第四排列孔402，第四排列孔402可具有與第三排列孔305相同的直徑。

在第四排列孔402的周圍形成有與第一結(jié)合孔306一同排列的第二結(jié)合孔403。借助同時貫通相互之間一同排列的第一結(jié)合孔306及第二結(jié)合孔403的緊固部件，旋轉(zhuǎn)板400以旋轉(zhuǎn)軸R為中心與第二移動板300相連接。

根據(jù)本實(shí)施例的定位裝置1的第一排列孔102、第二排列孔208、第三排列孔305及第四排列孔402相互之間進(jìn)行排列，第一排列孔102、第二排列孔208、第三排列孔305及第四排列孔402的狀態(tài)下，旋轉(zhuǎn)軸R可同時貫通第一排列孔102、第二排列孔208、第三排列孔305及第四排列孔402。

并且，第一移動板200或第二移動板300分別相對于底板100或第一移動板200移動的過程中，第一移動板200或第二移動板300的移動較細(xì)微，因此第一移動板200及第二移動板300不與旋轉(zhuǎn)軸R發(fā)生干涉。

即，即使第一移動板200及第二移動板300移動，也會維持第一排列孔102、第二排列孔208、第三排列孔305及第四排列孔402的貫通狀態(tài)，因此需要的情況下，可將光學(xué)裝置設(shè)置在底板100的下部來使用。

一方面，第一驅(qū)動單元500包括：第一驅(qū)動單元本體510，固定在底板100的；第一移動支架520，能夠相對于第一驅(qū)動單元本體510向第一軸D1方向移動并與第一移動板200相連接；第一驅(qū)動馬達(dá)530，提供用于使第一移動支架520的驅(qū)動力；第一驅(qū)動軸550，從第一驅(qū)動馬達(dá)530接收旋轉(zhuǎn)力，在第一驅(qū)動軸550的外周面以可向第一軸D1方向移動的方式設(shè)置有第一移動支架520。

即，在第一驅(qū)動軸500固定于底板100的狀態(tài)下，借助外部信號使與第一移動板200相連接的第一移動支架520向第一軸D1方向移動，作為一例，可控制對X軸方向的第一移動板200、第二移動板300及旋轉(zhuǎn)板400的移動。

此時，在第一驅(qū)動軸550的外周面可形成有螺紋(未圖示)。并且，在第一移動支架520的一側(cè)固定在第一移動板200的狀態(tài)下，第一移動支架520的另一側(cè)與第一驅(qū)動軸550上述螺紋相嚙合，借助第一驅(qū)動馬達(dá)530的旋轉(zhuǎn)力，第一移動支架520可向第一移動板200和第一軸D1方向移動。

第二驅(qū)動單元600包括：第二驅(qū)動單元本體610，放置并固定于第一移動板200的延伸部207；第二移動支架620，能夠相對于第二驅(qū)動單元本體610向第二軸D2方向移動，并與第二移動板300相連接；第二驅(qū)動馬達(dá)630，用于提供使第二移動支架620移動的驅(qū)動力；第二驅(qū)動軸650，從第二驅(qū)動馬達(dá)630接收旋轉(zhuǎn)力，在外周面以能夠沿著第二軸D2方向移動的方式配置有第二移動支架620，在外周面形成有螺紋。

第二驅(qū)動單元600固定在第一移動板200的狀態(tài)下，借助外部信號使與第二移動板300相連接的第二移動支架620向第二軸D2方向移動，作為一例，僅在用于控制對Y軸方向的第二移動板300及旋轉(zhuǎn)板400的移動的結(jié)構(gòu)上有差異，其他結(jié)構(gòu)與第一驅(qū)動單元500的結(jié)構(gòu)相同，因此省略對此的詳細(xì)說明。

以下，詳細(xì)說明第三驅(qū)動單元700的結(jié)構(gòu)。

圖6為示出圖1的定位裝置的第三驅(qū)動單元和旋轉(zhuǎn)扳的結(jié)構(gòu)的分解立體圖，圖7為示出圖6的定位裝置的第三驅(qū)動單元和旋轉(zhuǎn)扳的運(yùn)轉(zhuǎn)的圖。

參照圖6及圖7，第三驅(qū)動單元700包括第三驅(qū)動單元本體710、第三移動支架720、第三驅(qū)動馬達(dá)730、樞軸支架740、第三驅(qū)動軸750、支架固定部件760、第三彈性部件770。

第三驅(qū)動單元本體710包括與第二移動板300相固定的框架部711、蓋住框架部711并與框架部711之間形成內(nèi)部空間的蓋部712?？蚣懿?11固定在第二移動板300的兩個第四支撐框架302中一個的第四支撐框架302。

第三驅(qū)動馬達(dá)730提供旋轉(zhuǎn)力，設(shè)置在第三驅(qū)動單元本體710的一側(cè)。

第三驅(qū)動軸750向第二軸D2方向延伸，從第三驅(qū)動馬達(dá)730接收旋轉(zhuǎn)力。第三驅(qū)動軸750對框架部711能夠旋轉(zhuǎn)的方式連接，在第三驅(qū)動軸750的外周面形成有螺紋。

第三移動支架720在一側(cè)貫通在第三驅(qū)動軸750的狀態(tài)下與上述螺紋相嚙合，能夠借助第三驅(qū)動軸750的旋轉(zhuǎn)向第二軸D2方向移動。

第三移動支架720可呈六面體，在第三移動支架720的上部面形成有第一緊固孔721。

支架固定部件760包括：頭部761，呈圓形；領(lǐng)部762，突出形成于頭部761的下部面并具有小于頭部761直徑；第一緊固孔763，貫通形成于頭部761的上部面并與第三移動支架720的第一緊固孔721一同排列。

支架固定部件760貫通第一緊固孔763并固定在第一緊固孔721的，作為一例，可借助如同螺絲的緊固部件固定在第三移動支架720。

作為一例，樞軸支架740可呈板狀。

在樞軸支架740的一側(cè)形成有以與支架固定部件760的領(lǐng)部762外周相對應(yīng)的曲率形成的圓形部742。

樞軸支架740的圓形部742向固定在第三移動支架720的支架固定部件760的領(lǐng)部762插入，使樞軸支架740能夠相對于第三移動支架720旋轉(zhuǎn)。

樞軸支架740的另一側(cè)向旋轉(zhuǎn)板400的支架插入孔405插入，樞軸支架740的另一側(cè)形成有與旋轉(zhuǎn)板400的支架固定孔406一同排列的固定孔741。樞軸支架740可借助貫通支架固定孔406及固定孔742的緊固部件固定在旋轉(zhuǎn)板400。

即，樞軸支架740的一側(cè)以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與第三移動支架720相連接，樞軸支架740的另一側(cè)固定在旋轉(zhuǎn)板400。

第三移動支架720及框架部711之間設(shè)置有用于包圍第三驅(qū)動軸750的支架固定部件760，可對第三移動支架720提供復(fù)原力。

以下，使根據(jù)本實(shí)施例的另一定位裝置1的第三驅(qū)動單元700旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)板400的過程進(jìn)行詳細(xì)說明。

如圖8所示可，將樞軸支架740對第三移動支架720的直線移動路徑，即，對第二軸D2垂直的狀態(tài)定為基準(zhǔn)位置。

像這樣，若在基準(zhǔn)位置狀態(tài)下驅(qū)動第三驅(qū)動馬達(dá)730，則旋轉(zhuǎn)板400的旋轉(zhuǎn)變位可得到調(diào)整。

即，若借助第三驅(qū)動馬達(dá)730的旋轉(zhuǎn)力以與第三驅(qū)動軸750相同的方向或相反的方向旋轉(zhuǎn)，則連接在第三驅(qū)動軸750的第三移動支架720沿著第二軸D2移動。

若第三移動支架720沿著第二軸D2直線移動，則以一側(cè)可旋轉(zhuǎn)的方式與第三移動支架720相連接的樞軸支架740向第三移動支架720的直線移動方向推動。由此，樞軸支架740能夠與旋轉(zhuǎn)板400一起以旋轉(zhuǎn)軸R為中心可進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。

此時，第三移動支架720的直線移動方向可與旋轉(zhuǎn)軸R為中心的圓周的切線方向相同。

另一方面，在上述基準(zhǔn)位置中，第三移動支架720的移動中心P1和樞軸支架740的移動中心P2可以一致。

若從上述基準(zhǔn)位置以預(yù)設(shè)定的角度使旋轉(zhuǎn)板400旋轉(zhuǎn)，則相對于第三移動支架720的移動中心P1，樞軸支架740的移動中心P2向旋轉(zhuǎn)板400的中心移動。

第三移動支架720可向樞軸支架740的圓形部742的開放的端部相對移動，因此即使樞軸支架740的圓形部742的移動中心P2和第三移動支架720的移動中心P1的直線移動路徑不同，樞軸支架740和第三移動支架720也相互不妨礙移動路徑，可分別順利地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)及直線移動。

因此，可順利地精密控制旋轉(zhuǎn)板400的旋轉(zhuǎn)變位。

此時，旋轉(zhuǎn)板400的旋轉(zhuǎn)變位調(diào)整范圍不是以360度全范圍為對象，而是以精密調(diào)整為目的，例示性地可以是±10度，因此，即使旋轉(zhuǎn)板400從上述基準(zhǔn)位置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，第三移動支架720不會從樞軸支架740的圓形部742完全脫離，其一部分會重疊在樞軸支架740的圓形部742。

另一方面，根據(jù)本實(shí)施例的定位裝置1的第二驅(qū)動單元600及第三驅(qū)動單元700之間設(shè)置旋轉(zhuǎn)板400而相互向第二軸D2方向整齊地配置，第二驅(qū)動單元600向第二軸D2配置在第一驅(qū)動單元500及第三驅(qū)動單元700的一側(cè)。

即，第一驅(qū)動單元500、第二驅(qū)動單元600及第三驅(qū)動單元700能夠以第一排列孔102、第二排列孔208、第三排列孔305及第四排列孔402為中心相互之間不發(fā)生干涉。因此，可與第一驅(qū)動單元500第二驅(qū)動單元600及第三驅(qū)動單元700的驅(qū)動馬達(dá)的形狀或尺寸無關(guān)地設(shè)置在定位裝置1。

但是，這只是例示性的配置，定位裝置1的第一驅(qū)動單元500及第三驅(qū)動單元700之間設(shè)置旋轉(zhuǎn)板400而隔開來相互向第一軸D1方向整齊地配置，第一驅(qū)動單元500可向第一軸D1配置在第二驅(qū)動單元600及第三驅(qū)動單元700的一側(cè)。這樣的情況下，第三驅(qū)動單元700的第三移動支架720可向第一軸D1移動。

根據(jù)本實(shí)施例的定位裝置1還可包括配置在導(dǎo)軌之間滾輪部件。

以下，詳細(xì)說明上述滾輪部件的結(jié)構(gòu)。

圖8為示出圖1的定位裝置的第一導(dǎo)軌及第二導(dǎo)軌的部視圖。

參照圖8，底板100的第一導(dǎo)軌104包括向第一軸D1延伸的第一導(dǎo)軌本體111，在第一導(dǎo)軌本體111沿著第一導(dǎo)軌本體111的長度方向形成有第一凹槽112。

第一移動板200的第二導(dǎo)軌204包括向第一軸D1延伸的第二導(dǎo)軌本體211，在第二導(dǎo)軌本體211沿著第二導(dǎo)軌本體211的長度方向形成有第二凹槽212。

在第一導(dǎo)軌104及第二導(dǎo)軌204以相向的方式配置有第一凹槽112及第二凹槽212，第一凹槽112及第二凹槽212之間設(shè)置有同時貫通第一凹槽112及第二凹槽212的滾輪部件800。

作為一例，滾輪部件800可以是滾珠軸承(Ballbearing)，能夠順利的實(shí)現(xiàn)對底板100的對第一移動板200的移動。

另一方面，第一移動板200的第三導(dǎo)軌205和第二移動板300的第四導(dǎo)軌303也分別形成有相互之間相向的凹槽，并設(shè)置有插入在上述凹槽的滾輪部件，從而能夠順利的實(shí)現(xiàn)對第一移動板200的第二移動板300的移動。

根據(jù)所提出的實(shí)施例，可提供輕量化及薄膜化的定位裝置，從而具有可在設(shè)置條件棘手的位置設(shè)置上述定位裝置的優(yōu)點(diǎn)。

并且，由于板的驅(qū)動單元相互之間不重疊，因此驅(qū)動馬達(dá)的形狀或尺寸不受限制，且形成有貫通孔而可同時利用光學(xué)裝置。

以上，說明了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但本發(fā)明并不局限于此，在發(fā)明要求保護(hù)范圍和說明書及附圖的范圍內(nèi)，可進(jìn)行多種變更實(shí)施，當(dāng)然，這也是屬于本發(fā)明的范圍。

發(fā)明的具體實(shí)施方式可根據(jù)上述說明一起實(shí)施。

產(chǎn)業(yè)上的可利用性

本發(fā)明涉及定位裝置，可適用于各種工業(yè)設(shè)備，具有反復(fù)使用性而具有產(chǎn)業(yè)上的可利用性。