技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于傳感技術(shù)領(lǐng)域，所述的霍爾集成器件，包括化合物半導(dǎo)體霍爾元件以及形成在所述霍爾元件上方的信號(hào)放大元件，用于所述霍爾元件的信號(hào)放大；所述信號(hào)放大元件為化合物半導(dǎo)體同質(zhì)結(jié)晶體管或化合物半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)晶體管。信號(hào)放大元件設(shè)置在霍爾元件上方，不但集成度高，而且避免了襯底種類(lèi)對(duì)信號(hào)放大元件的影響，可適用霍爾元件種類(lèi)范圍廣，有效降低了制造成本。所述的一種霍爾集成器件的制備方法，工藝成熟，制備成本低。

技術(shù)研發(fā)人員：胡雙元;朱忻;黃勇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州矩陣光電有限公司
文檔號(hào)碼：201610736909
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.26
技術(shù)公布日：2017.02.22