技術(shù)編號:12275063
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及傳感領(lǐng)域,具體涉及一種化合物半導(dǎo)體線性霍爾集成器件及其制備方法。背景技術(shù)霍爾元件是一種基于霍爾效應(yīng)的磁傳感器,一般用于檢測磁場及其變化。霍爾元件的靈敏度和材料的遷移率密切相關(guān)。為了進(jìn)一步提升霍爾元件的靈敏度,人們采用化合物半導(dǎo)體替代硅,獲得了高靈敏度、高線性度以及溫度穩(wěn)定性高的化合物半導(dǎo)體霍爾元件。目前,常用的化合物半導(dǎo)體霍爾元件包括砷化鎵霍爾元件、砷化銦霍爾元件、銻化銦霍爾元件等,都有廣闊的市場。然而,霍爾元件本身輸出的信號較弱,在實(shí)際應(yīng)用中,需要與后端放大電路匹配使用。為了減小霍爾...
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