技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種RIE制絨硅片表面修飾清洗方法，包括如下步驟：準(zhǔn)備RIE制絨硅片，并檢測絨面反射率；根據(jù)上述測試的反射率結(jié)果配制初次修飾清洗藥液，將硅片絨面浸入所述初次修飾清洗藥液中進(jìn)行初次清洗；將RIE制絨硅片取出，并采用去離子水清洗，去除硅片表面殘留的藥液；采用二次清洗液繼續(xù)對制絨硅片清洗；采用去離子水沖洗RIE制絨硅片，并用吹干。本發(fā)明根據(jù)RIE方法制絨的硅片表面特征配制特定比例的清洗藥液，通過搭配適當(dāng)?shù)那逑礈囟群颓逑磿r(shí)間有效去除硅片表面的缺陷，去除硅片絨面上尺寸嚴(yán)重偏小的凹坑，使絨面形貌平滑；采用本發(fā)明方法清洗后RIE絨面效果優(yōu)異，可有效提高電池效率，且本發(fā)明工藝流程簡單，易于在生產(chǎn)線上推廣。

技術(shù)研發(fā)人員：黃鈞林;范維濤;周肅;黃青松;黃惜惜;張鑫;勾憲芳
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中節(jié)能太陽能科技（鎮(zhèn)江）有限公司
文檔號(hào)碼：201610180460
技術(shù)研發(fā)日：2016.03.25
技術(shù)公布日：2017.04.12