本實(shí)用新型涉及單晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種單晶硅片專(zhuān)用超聲清洗裝置。

背景技術(shù)：

單晶硅片從晶棒上切割下來(lái)后，表面會(huì)聚集很多臟污，在進(jìn)入下道工序之前必須對(duì)硅片外表面進(jìn)行清洗處理，由于硅片厚度薄，數(shù)量大，若將其直接放置在普通清洗槽中勢(shì)必會(huì)造成堆積，以致不能對(duì)硅片表面進(jìn)行有效的清洗，清洗效果達(dá)不到規(guī)定的要求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于克服現(xiàn)有的技術(shù)缺陷，提供一種單晶硅片專(zhuān)用超聲清洗裝置。

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題采用以下的技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：

一種單晶硅片專(zhuān)用超聲清洗裝置，包括清洗槽和與清洗槽相匹配的卡塞盒，所述清洗槽靠近上表面設(shè)置擱架，擱架將清洗槽分割成一個(gè)個(gè)大小相等、彼此相鄰的隔槽，隔槽下方彼此連通，水可以在隔槽底部自由流動(dòng)，以便于利用超聲清洗并將臟污排出清洗槽。利用擱架將清洗槽分割成1-5行，2-8列隔槽，增大該清洗槽清洗容量。

所述隔槽一對(duì)邊分別設(shè)置卡口，所述卡塞盒形狀與隔槽相匹配并可置于該隔槽內(nèi)，在卡塞盒兩邊設(shè)置有凸起，當(dāng)將卡塞盒放置于隔槽內(nèi)時(shí)通過(guò)凸起與卡口的配合將卡塞盒懸置于隔槽內(nèi)?？ㄈ袃?nèi)設(shè)置有隔層，硅片置于該隔層內(nèi)，可以設(shè)置5-25個(gè)隔層，卡塞盒底部鏤空，便于清洗硅片時(shí)水在卡塞盒內(nèi)流動(dòng)，同時(shí)將臟污從底部帶走。

使用該超聲清洗槽對(duì)硅片進(jìn)行清洗時(shí)，先將硅片置于卡塞盒內(nèi)的隔層中，將卡塞盒置于清洗槽內(nèi)的隔槽中，然后啟動(dòng)超聲裝置進(jìn)行清洗，為達(dá)到最佳的清洗效果，清洗用水最好淹沒(méi)卡塞盒頂部。

本實(shí)用新型的有益效果為：通過(guò)將普通清洗槽分割成一個(gè)個(gè)彼此連通的隔槽，裝有硅片的卡塞盒置于該隔槽內(nèi)，從而能夠?qū)γ恳黄杵髅孢M(jìn)行全方位清洗，不會(huì)因?yàn)楣杵逊e而造成清洗死角。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型俯視圖；

圖2為裝置硅片的卡塞盒俯視圖。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。

如圖1、2所示，一種單晶硅片專(zhuān)用超聲清洗裝置，包括清洗槽1和與清洗槽1相匹配的卡塞盒5，清洗槽1靠近上表面設(shè)置擱架2，擱架2將清洗槽1分割成一個(gè)個(gè)大小相等、彼此相鄰的隔槽3，隔槽3下方彼此連通，水可以在隔槽3底部自由流動(dòng)，以便于利用超聲清洗并將臟污排出清洗槽1。利用擱架2將清洗槽1分割成1-5行，2-8列隔槽，增大該清洗槽清洗容量。

在隔槽3一對(duì)邊分別設(shè)置卡口4，卡塞盒5形狀與隔槽3相匹配并可置于隔槽3內(nèi)，在卡塞盒5兩邊設(shè)置有凸起7，當(dāng)將卡塞盒5放置于隔槽3內(nèi)時(shí)通過(guò)凸起7與卡口4的配合將卡塞盒5懸置于隔槽3內(nèi)。卡塞盒5內(nèi)設(shè)置有隔層6，硅片置于該隔層6內(nèi)，可以設(shè)置5-25個(gè)隔層6，卡塞盒5底部鏤空，便于清洗硅片時(shí)水在卡塞盒5內(nèi)流動(dòng)，同時(shí)將臟污從底部帶走。

使用該超聲清洗槽對(duì)硅片進(jìn)行清洗時(shí)，先將硅片置于卡塞盒5內(nèi)的隔層6中，將卡塞盒5置于清洗槽1內(nèi)的隔槽3中，然后啟動(dòng)超聲裝置進(jìn)行清洗，為達(dá)到最佳的清洗效果，清洗用水最好淹沒(méi)卡塞盒5頂部。

以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書(shū)中描述的只是說(shuō)明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書(shū)及其等效物界定。