技術(shù)總結(jié)
一種單晶硅專(zhuān)用超聲清洗裝置，該超聲清洗裝置包括清洗槽和與清洗槽相匹配的卡塞盒，所述清洗槽靠近上表面設(shè)置擱架，擱架將清洗槽分割成大小相等、彼此相鄰的隔槽，隔槽下方彼此連通，所述卡塞盒形狀與隔槽相匹配并可置于該隔槽內(nèi)，卡塞盒內(nèi)設(shè)置有隔層，卡塞盒底部鏤空。通過(guò)將普通清洗槽分割成一個(gè)個(gè)彼此連通的隔槽，裝有硅片的卡塞盒置于該隔槽內(nèi)，從而能夠?qū)γ恳黄杵髅孢M(jìn)行全方位清洗，不會(huì)因?yàn)楣杵逊e而造成清洗死角。

技術(shù)研發(fā)人員：呂鳳崗;程林;曹來(lái)福;戴珍旭;胡正田
受保護(hù)的技術(shù)使用者：安徽正田能源科技有限公司
文檔號(hào)碼：201620923082
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.23
技術(shù)公布日：2017.03.15