技術(shù)編號(hào)：11973047
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光伏電站領(lǐng)域中的晶體硅太陽(yáng)能電池工藝領(lǐng)域，尤其涉及一種RIE制絨硅片表面修飾清洗方法。背景技術(shù)隨著光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，在電池片生產(chǎn)中，光電轉(zhuǎn)換效率的提升和電池制造成本的降低已成為整個(gè)光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的根本。在晶體硅太陽(yáng)能電池工藝中，制備絨面來降低硅片表面反射是提升電池效率的常用方法。用RIE方法制備絨面是降低硅片表面反射，增加光吸收，從而提高太陽(yáng)能電池效率的有效手段。然而，由于RIE制絨工藝中等離子體對(duì)硅片表面轟擊造成硅片表面的微結(jié)構(gòu)缺陷多，制成電池后由于表面復(fù)合嚴(yán)重，電池效率反而偏低。同時(shí)，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。