本發(fā)明涉及一種真空夾緊裝置，用于夾緊工件，尤其是用于夾緊平的基件。

背景技術(shù)：

這樣的真空夾緊裝置在現(xiàn)有技術(shù)中基本上已經(jīng)已知。一般地，這樣的真空夾緊裝置具有真空夾緊板，所述真空夾緊板在其面上分布地具有一定數(shù)量的抽吸開口，所述抽吸開口構(gòu)成在真空夾緊板的抽吸表面中，或所述抽吸開口與一定數(shù)量的抽吸槽處于連接，所述抽吸槽構(gòu)成在真空夾緊板的抽吸表面中。

所述類型的真空夾緊裝置在最不同的技術(shù)領(lǐng)域中使用。

這樣的技術(shù)領(lǐng)域構(gòu)成對以晶片形式的基件的制造和加工。晶片原則上是圓形的或四角形的盤，電子的構(gòu)造元件處于所述盤上。在加工這樣的晶片期間，所述晶片通常處于加工裝置上或中，所述加工裝置例如可以具有加工臺。加工臺具有保持裝置，晶片在加工期間設(shè)置在所述保持裝置上，并且晶片在所述保持裝置上例如借助真空抽吸或被抽吸。在加工過程期間，晶片通常經(jīng)受力，從而存在需求：固定晶片以防打滑。

為此，在現(xiàn)有技術(shù)中例如已經(jīng)已知，將真空夾緊板分成兩個或更多彼此分離的能夠單獨切換的真空區(qū)，其中，每個真空區(qū)具有相應(yīng)的抽吸開口和/或包括抽吸開口的抽吸槽。這樣的解決方案在de102004016476b4中說明。通過已知的解決方案能夠?qū)崿F(xiàn)，將真空夾緊板的尺寸與要夾緊的工件的尺寸適配。按照工件的尺寸，然后將對應(yīng)多個或?qū)?yīng)構(gòu)造的真空區(qū)相互連接成唯一的真空夾緊板。然而在已知的解決方案的運行中，這時總是只提供唯一的真空回路，所述真空回路產(chǎn)生或提供在整個真空夾緊裝置上統(tǒng)一的真空。

在另一種背景中在現(xiàn)有技術(shù)中已經(jīng)已知，將真空夾緊板與要夾緊的工件的特別的輪廓適配。在de202013100632u1中例如在真空夾緊板上施加、例如套裝另一個真空板，其中，所述真空板具有第一外表面并且與此對置的第二外表面，并且其中，所述真空板具有一定數(shù)量的真空通道，所述真空通道從第一外表面至第二外表面延伸穿過真空板。在已知的解決方案中作為一種墊構(gòu)成的真空板可以緊貼到要夾緊的工件上。真空通道與在處于真空板下的真空夾緊板中的抽吸開口連接，從而真空可以在要夾緊的工件的表面上產(chǎn)生或提供。

尤其是在使用真空夾緊裝置的情況下對晶片加工的領(lǐng)域中非常重要的是，借助真空夾緊裝置提供大的保持力，其中，尤其是應(yīng)避免對敏感的晶片的損壞。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

從所述現(xiàn)有技術(shù)出發(fā)，本發(fā)明的任務(wù)是，這樣進一步構(gòu)成已知的真空夾緊裝置，使得借助真空夾緊裝置能夠針對性地產(chǎn)生大的保持力，同時避免要夾緊的工件的損壞。

所述任務(wù)按照本發(fā)明通過具有按照獨立權(quán)利要求1的特征的真空夾緊裝置、具有按照獨立權(quán)利要求5的特征的真空夾緊裝置以及具有按照獨立權(quán)利要求8的特征的真空夾緊裝置解決。

本發(fā)明其他的特征和細節(jié)由從屬權(quán)利要求、說明書以及附圖得出。在此關(guān)聯(lián)發(fā)明方面之一說明的特征以及細節(jié)總是關(guān)聯(lián)分別另兩個發(fā)明方面地也全面適用，從而關(guān)于各個發(fā)明方面的公開內(nèi)容總是相互地全部地分別參考其他的發(fā)明方面并且參閱相應(yīng)的實施方式。

本發(fā)明基于如下基本思想，即，利用按照所有的三個發(fā)明方面的用于夾緊工件、尤其是用于夾緊平的基件的真空夾緊裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)保持力的尤其是針對性的增大。為此，按照本專利申請?zhí)峁┤齻€替代解決方案，它們?nèi)拷鉀Q相同的任務(wù)并且全部實現(xiàn)共同的統(tǒng)一的基本思想，即，真空夾緊裝置、尤其是真空夾緊板以特別的方式構(gòu)成。

按照本發(fā)明，按照本發(fā)明的真空夾緊裝置的所有三個方面提供用于夾緊工件、尤其是用于夾緊平的基件的真空夾緊裝置。

真空夾緊裝置本身在現(xiàn)有技術(shù)中已經(jīng)已知。在此，真空夾緊尤其是從如下原理出發(fā)，即，在可以作為真空臺構(gòu)成亦或是真空臺的組成部分的真空夾緊裝置的外部和內(nèi)部首先存在正常的大氣的空氣壓力，所述空氣壓力通常為大約1巴?，F(xiàn)在，將要夾緊的工件施加到真空夾緊裝置上。利用真空設(shè)備、例如真空泵吸出在真空夾緊裝置內(nèi)部的空氣。由此，在內(nèi)部和外部之間產(chǎn)生壓力差，所述內(nèi)部和外部的邊界層描述要夾緊的工件。因此，在工件和真空夾緊裝置之間產(chǎn)生真空。在這里尤其是涉及負壓，所述負壓顯著、也就是說以多倍小于環(huán)境壓力、例如大氣的空氣壓力。大氣的空氣壓力現(xiàn)在將工件擠壓到真空夾緊裝置上。現(xiàn)在可以加工夾緊的工件的上側(cè)，必要時也加工所述工件的邊緣區(qū)域，而工件在此不會滑動離開。

原則上，本發(fā)明不限于夾緊確定的工件。優(yōu)選按照本發(fā)明的真空夾緊裝置用于夾緊平的基件。原則上，本發(fā)明不限于基件的確定的類型。所述基件一般可以是底板或基體。例如基件可以是如開頭所述的晶片，從而真空夾緊裝置優(yōu)選用于夾緊晶片。

如果所述基件是晶片，則真空夾緊裝置優(yōu)選是所謂的卡盤或這樣的卡盤的組成部分?？ūP尤其構(gòu)成保持裝置，所述保持裝置例如裝配在加工臺上，亦或構(gòu)成這樣的加工臺?？ūP例如借助產(chǎn)生的真空接納晶片。

所述真空夾緊裝置具有真空夾緊板，所述真空夾緊板在其面上分布地具有一定數(shù)量的抽吸開口。在此，本發(fā)明不限于確定的數(shù)量的抽吸開口。合適的數(shù)量尤其是由要夾緊的工件的尺寸和形狀以及要產(chǎn)生的保持力的大小得出。在每個情況中優(yōu)選設(shè)置多于兩個這樣的抽吸開口。通過抽吸開口，在要夾緊的工件的區(qū)域中產(chǎn)生或提供真空，其方式為，在通過抽吸開口產(chǎn)生真空時，工件在真空夾緊板上被吸住。原則上，本發(fā)明不限于真空夾緊板的確定的類型。在一種優(yōu)選的實施形式中可以規(guī)定，抽吸開口構(gòu)成在真空夾緊板的抽吸表面中。在該實施形式中，抽吸開口通入抽吸表面中并且打通所述抽吸表面。因此，一定數(shù)量的抽吸開口處于抽吸表面中，所述抽吸開口例如可以是孔，并且所述抽吸開口與用于產(chǎn)生真空的設(shè)備連接，如進一步在下面更詳細地解釋的那樣。在另一種優(yōu)選的實施形式中規(guī)定，所述抽吸開口與一定數(shù)量的抽吸槽處于連接，所述抽吸槽構(gòu)成在真空夾緊板的抽吸表面中。在該情況中，真空本身通過抽吸槽產(chǎn)生或提供，其中，抽吸槽同樣與抽吸開口連接。然而，在該實施例中可以總體上設(shè)置較少的抽吸開口。

接著現(xiàn)在說明優(yōu)選的第一實施例，即，可以怎樣設(shè)計按照本發(fā)明的真空夾緊裝置。

按照本發(fā)明的第一方面，提供一種真空夾緊裝置，其用于夾緊工件，尤其是用于夾緊平的基件，所述真空夾緊裝置包括真空夾緊板，所述真空夾緊板在其面上分布地具有一定數(shù)量的抽吸開口，所述抽吸開口構(gòu)成在真空夾緊板的抽吸表面中，或所述抽吸開口與一定數(shù)量的抽吸槽處于連接，所述抽吸槽構(gòu)成在真空夾緊板的抽吸表面中，其中，真空夾緊板具有兩個或更多彼此分離的能夠單獨切換的真空區(qū)，其中，每個真空區(qū)具有相應(yīng)的抽吸開口和/或包括抽吸開口的抽吸槽。所述真空夾緊裝置的特征在于，所述真空夾緊裝置具有兩個或更多彼此獨立的真空回路，每個真空區(qū)配置給真空回路之一或是真空回路之一的組成部分，并且每個真空回路構(gòu)成用于產(chǎn)生獨立的真空。

作為以上已經(jīng)所述的特征的補充，在按照第一發(fā)明方面的真空夾緊裝置中規(guī)定，所述真空夾緊板具有兩個或更多彼此分離的能夠單獨切換的真空區(qū)，其中，每個真空區(qū)具有相應(yīng)的抽吸開口和/或包括抽吸開口的抽吸槽。如以上已經(jīng)提到的那樣，真空夾緊板的以兩個或更多真空區(qū)的這樣的設(shè)計原則上由de102004016476b4已知。

然而，區(qū)別于由該文獻已知的解決方案按照本發(fā)明規(guī)定，所述真空夾緊裝置具有兩個或更多彼此獨立的真空回路。真空回路原則上包括一序列不同的元件，這些元件是必需的，借助這些元件可以產(chǎn)生或提供真空。處于真空夾緊板的抽吸表面中的抽吸開口尤其是與真空通道或真空導(dǎo)管連接。這些真空通道或真空導(dǎo)管尤其是通過連接元件、例如相應(yīng)的閥元件與用于產(chǎn)生真空的設(shè)備、例如真空泵連接。原則上可以確定，真空回路包括用于產(chǎn)生真空的設(shè)備、例如真空泵、負壓區(qū)域和設(shè)有抽吸開口的真空夾緊板。各個構(gòu)件可以通過通道和導(dǎo)管、例如通過軟管、例如氣動軟管、必要時在另外使用閥的情況下彼此連接。如果通過用于產(chǎn)生真空的設(shè)備在負壓區(qū)域中減少空氣壓力，則產(chǎn)生保持力。

按照本發(fā)明，區(qū)別于de102004016476b4現(xiàn)在規(guī)定，每個真空區(qū)配置給真空回路之一或是真空回路之一的組成部分，并且每個真空回路構(gòu)成用于產(chǎn)生獨立的真空。在已知的解決方案中，與之相反總體上只設(shè)置唯一的真空回路，全部的真空區(qū)配置給該真空回路。這在于，在已知的解決方案中應(yīng)該實現(xiàn)，真空夾緊板在其尺寸方面應(yīng)該盡可能準確地與要夾緊的工件適配，從而在需要時各個真空區(qū)相互連接成唯一的真空夾緊板。

利用按照本發(fā)明的解決方案，現(xiàn)在完全采用另一種方式。在這里每個真空區(qū)配置給單獨的真空回路。

在按照本發(fā)明的解決方案中存在至少兩個這樣的真空回路，所述真空回路彼此獨立，并且借助所述真空回路能夠分別獨立地產(chǎn)生真空。配置給確定的真空回路的真空區(qū)能夠因此產(chǎn)生或提供真空，所述真空獨立于通過配置給另一個真空回路的真空區(qū)產(chǎn)生或提供的真空。

利用本發(fā)明，因此不只提供在結(jié)構(gòu)上彼此分開的至少兩個真空區(qū)，而是所述真空區(qū)此外也還在涉及真空的產(chǎn)生和提供的功能上彼此分開。按照各個真空區(qū)在真空夾緊板中的設(shè)計和布置結(jié)構(gòu)，可以因此在確定的位置上非常準確并且快速地產(chǎn)生或提供分別期望的真空。對此的一些優(yōu)選的實施例此外在說明書中更詳細地解釋。

例如可以規(guī)定，將真空夾緊板分成大于兩個的數(shù)量或更多的真空區(qū)。在該設(shè)計中可以完全規(guī)定，分別將多個真空區(qū)配置給一個真空回路。然而設(shè)置至少兩個真空回路，從而每個真空回路配置有至少一個真空區(qū)。在另一種優(yōu)選的實施形式中可以規(guī)定，將每個真空區(qū)配置給單獨的真空回路，從而借助每個所述真空區(qū)關(guān)于其他的真空區(qū)并且獨立于其他的真空區(qū)可以分別產(chǎn)生或提供獨立的真空。

優(yōu)選各個真空區(qū)彼此分開地構(gòu)成并且通過相應(yīng)的障礙物或隔離件彼此分開。

各個真空區(qū)然后隨后組合成真空夾緊板。因為每個所述真空區(qū)配置給單獨的真空回路，所以所述真空區(qū)可以完全彼此獨立地運行。因此可能的是，如進一步在下面更詳細地說明的那樣，在整個真空夾緊板上看，提供具有分別不同的真空的區(qū)域，從而利用按照本發(fā)明的真空夾緊裝置能夠?qū)崿F(xiàn)具有不同大小的保持力的區(qū)域。

原則上本發(fā)明不限于確定的數(shù)量的真空區(qū)。在一種優(yōu)選的實施形式中，真空夾緊板分成兩個真空區(qū)，其中，第一真空區(qū)在面積方面以多倍大于第二真空區(qū)。

在另一種優(yōu)選的實施形式，所述真空夾緊板備選地或以另一設(shè)計方案分成兩個真空區(qū)，其中，通過第一真空區(qū)產(chǎn)生或提供真空，該真空大于、尤其是以多倍大于通過第二真空區(qū)產(chǎn)生或提供的真空。

真空區(qū)的形狀、尤其是其尺寸和/或輪廓同樣如通過真空區(qū)產(chǎn)生的或提供的真空那樣可以按照設(shè)計方案自由設(shè)計。

在一種優(yōu)選的實施形式中，所述真空夾緊板構(gòu)成為圓形的，其中，至少一個真空區(qū)作為扇形或作為圓弓構(gòu)成。當(dāng)各真空區(qū)構(gòu)成為不同大小時，尤其是較小的真空區(qū)是這樣的扇形或這樣的圓弓。扇形亦或圓區(qū)段尤其是圓的面的一部分，其由圓心角的邊和相配的圓弧限定。扇形亦或圓弓是圓的面的一部分，其由弦和與弦相配的圓弧限定。如果設(shè)置圓弓，則所述圓由弦分成兩個部段。

通過按照第一發(fā)明方面的真空夾緊裝置，提供至少一個附加的、通過單獨的分開的真空回路運行的真空區(qū)，所述真空區(qū)能夠顯著改善工件的夾緊。這樣可以例如規(guī)定，對于于工件在真空夾緊裝置上的優(yōu)化的夾緊值得期望的是，在不同的區(qū)域中產(chǎn)生或提供不同的真空。這可以利用本發(fā)明實現(xiàn)，這接著借助來自晶片加工的領(lǐng)域的非獨有的實例闡明。

在晶片的加工期間不是很罕見地規(guī)定，將所述晶片至少在其一個表面上并且至少短時以膜片遮蓋，其中，該膜片通常層壓到晶片上。該膜片在一些使用中滿足保護功能并且在這里作為保護膜構(gòu)成。在晶片加工的進一步階段中，必須然后再次去除保護膜。這通常借助為此設(shè)置的膜片拉出裝置發(fā)生。也可以稱為膜片剝離工序的膜片拉出工序通常以如下方式實施，即，將特別的拉出膜片或剝離膜片焊接到要拉出的保護膜上。隨后拉出膜片借助拉出裝置牽拉，其中，在拉出膜片上焊接的保護膜被一起拉出。在拉出膜片焊接并且隨后的拉出過程開始、為此必須施加開始的拉出力的那個區(qū)域中，可能有利的是，晶片由真空夾緊裝置保持的保持力大于在其余的區(qū)域中。通過本發(fā)明，現(xiàn)在可能的是，在膜片的該拉出區(qū)域中設(shè)置包括單獨的與此有關(guān)的真空回路的單獨的真空區(qū)，從而在該區(qū)域中可以產(chǎn)生或提供不同于在其余的區(qū)域中的情況中的另一真空。

按照本發(fā)明的另一方面亦或在上面提到的第一方面的一種優(yōu)選的進一步構(gòu)成方案中，提供一種真空夾緊裝置，其用于夾緊工件，尤其是用于夾緊平的基件，所述真空夾緊裝置包括真空夾緊板，所述真空夾緊板在其面上分布地具有一定數(shù)量的抽吸開口，所述抽吸開口構(gòu)成在真空夾緊板的抽吸表面中，或所述抽吸開口與一定數(shù)量的抽吸槽處于連接，所述抽吸槽構(gòu)成在真空夾緊板的抽吸表面中，其特征在于，所述真空夾緊板構(gòu)成為偏心的真空夾緊板。

以意外的方式發(fā)現(xiàn)，通過真空夾緊板的這樣的偏心的形式也可以進一步放大保持力。

偏心的真空夾緊板的特征尤其是在于，其具有如下區(qū)域：所述區(qū)域不具有共同的中心。

優(yōu)選可以為此規(guī)定，所述真空夾緊板構(gòu)成為圓形的，并且所述真空夾緊板具有至少兩個區(qū)域，所述兩個區(qū)域不具有共同的中心。這表示，真空夾緊板的周向至少局部地描繪不同的圓形軌道。

在一種優(yōu)選的實施形式中規(guī)定，真空夾緊板構(gòu)成為圓形的，使得所述真空夾緊板具有兩個或更多彼此分離的能夠單獨切換的真空區(qū)，其中，每個真空區(qū)具有相應(yīng)的抽吸開口和/或包括抽吸開口的抽吸槽，并且真空區(qū)具有圓形的外部的限定部，這些限定部不具有共同的中心。

當(dāng)真空夾緊板例如具有兩個真空區(qū)，其中，設(shè)置有較大的第一真空區(qū)，并且設(shè)置有例如構(gòu)成為圓弓的較小的第二真空區(qū)時，則較大的真空區(qū)可例如構(gòu)成為圓形的，而第二真空區(qū)以圓弓的形式具有圓弧，所述圓弧與此偏心，這表示，兩個真空區(qū)的限定部不具有共同的中心。

按照本發(fā)明的另一個方面亦或在上述兩個方面的優(yōu)選的進一步構(gòu)成中，提供一種真空夾緊裝置，用于夾緊工件，尤其是用于夾緊平的基件，所述真空夾緊裝置包括真空夾緊板，所述真空夾緊板在其面上分布地具有一定數(shù)量的抽吸開口，所述抽吸開口構(gòu)成在真空夾緊板的抽吸表面中，或所述抽吸開口與一定數(shù)量的抽吸槽處于連接，所述抽吸槽構(gòu)成在真空夾緊板的抽吸表面中，其中，真空夾緊板構(gòu)成為真空板，或在真空夾緊板之前設(shè)置有真空板，其中，真空板具有第一外表面和具有與此對置的第二外表面，并且其中，真空板具有一定數(shù)量的真空通道，所述真空通道從第一外表面至第二外表面地延伸穿過真空板，其特征在于，至少一些真空通道與垂直定向偏離地在各外表面之間延伸穿過真空板和/或至少一些真空通道具有與圓柱形的形狀偏離的形狀。

為了固定工件以防打滑，尤其合適的是，在工件和真空夾緊板之間設(shè)置這樣的另一個真空板，其優(yōu)選設(shè)置在真空夾緊板和工件之間。這樣的真空板應(yīng)該不僅是空氣可滲透的(這通過真空通道實現(xiàn))，而且其有高的摩擦阻力(這尤其是通過用于真空板的材料實現(xiàn))。

在一種優(yōu)選的實施形式中規(guī)定，所述另一個真空板固定、例如粘著在真空夾緊板上。

所述真空板由一定數(shù)量的真空通道貫穿。真空通道在此尤其是真空板的兩個表面之間的管形的連接通道，其中，連接通道的各端部處于表面上，連接通道因此通入表面。真空板為此具有兩個外表面，其中，各真空通道在各外表面之間延伸穿過真空板，從而各真空通道的端部通入外表面并且因此中斷真空板。包括這樣的真空通道的真空板在現(xiàn)有技術(shù)中原則上已知并且例如在以上提到的de202013100632u1中提到。然而，在該已知的解決方案中規(guī)定，各真空通道垂直延伸穿過真空板。

區(qū)別于已知的解決方案，當(dāng)真空通道相比于已知的解決方案不同地構(gòu)成時，即這樣構(gòu)成：使得至少一些真空通道與垂直定向偏離地在各外表面之間延伸穿過真空板和/或至少一些真空通道具有與圓柱形的形狀偏離的形狀，那么現(xiàn)在以意外的方式發(fā)現(xiàn)，保持力能夠被針對性地放大。圓柱體原則上由兩個平行的平面、基面和蓋面并且由外罩或圓柱面限定的體，其中，外罩面由平行的直線形成。圓柱體尤其是管形的空心體。

原則上本發(fā)明在真空通道的定向和/或形狀方面不受制于確定的實施形式。優(yōu)選至少一些真空通道可以以傾斜的走向在各外表面之間延伸穿過真空板和/或至少一些真空通道可以具有錐形的走向。在另一種設(shè)計方案中也可設(shè)想，多個連接通道在唯一的點中會聚。連接通道用于，借此吸出空氣，由此可以產(chǎn)生負壓或真空。通過真空通道的特別的設(shè)計和/或其特別的定向可能的是，如對于工件的可靠的保持需要的那樣調(diào)節(jié)保持力。

在一種優(yōu)選的實施形式中，在真空板中，至少一些真空通道以分別不同的定向和/或分別不同的形狀構(gòu)成。這表示，在真空板中可分別構(gòu)成具有不同的定向和/或形狀的真空通道。例如具有小的直徑的垂直的或傾斜的孔可以作為真空通道實現(xiàn)。在按照本發(fā)明的真空板中的真空通道可以例如具有50μm的直徑。為了流動優(yōu)化，作為真空通道可設(shè)置具有不同的幾何結(jié)構(gòu)的、例如圓柱形，錐形和類似形狀的孔。

真空板可以由任意的材料制成。如果這樣的真空板至今優(yōu)選由多孔的材料、例如陶瓷制成，則由于真空通道的使用現(xiàn)在用于真空板的其他材料也是可能的，從而所述真空板例如也可以由金屬、塑料或類似材料形成。

連接通道可以以任意的方式引入真空板中，例如借助激光打孔、激光燒蝕、腐蝕或類似方法。

在另一種設(shè)計方案中優(yōu)選規(guī)定，真空夾緊板具有對應(yīng)于要夾緊的工件、尤其是要夾緊的平的基件的尺寸和/或輪廓的尺寸和/或輪廓。

優(yōu)選可以此外規(guī)定，真空夾緊板在其外圍區(qū)域中至少局部地具有凸出部。在此作為凸出部尤其理解的是如下區(qū)域：所述區(qū)域超過真空夾緊板地向外延伸。當(dāng)工件處于真空夾緊板上時，則凸出部超過夾緊的工件、例如晶片的邊緣。

在所述凸出部中，優(yōu)選設(shè)置用于吸出空氣的設(shè)備。例如可以為此在凸出部中設(shè)置至少一個吸出開口，通過所述吸出開口能夠吸出空氣。當(dāng)然也可以存在多個這樣的吸出開口。借此空氣能夠在夾緊的工件、例如晶片的邊緣被吸出。當(dāng)例如進行工件從真空夾緊板的局部的剝離，由此產(chǎn)生間隙，空氣借助環(huán)境壓力可能滲透到所述間隙中，由此通過真空夾緊板產(chǎn)生的或提供的真空可能崩潰時，則這通過包括吸出開口的凸出部阻止，因為這樣的空氣被相同地吸出并且因此完全不會首先到達通過局部的剝離產(chǎn)生的間隙中。

本發(fā)明不受限于用于凸出部的設(shè)計的確定的實施形式。例如凸出部可以環(huán)繞地設(shè)置或構(gòu)成在真空夾緊板的外圍區(qū)域中。在另一種設(shè)計中，凸出部可以以至少一個凸出區(qū)段的形式設(shè)置或構(gòu)成在真空夾緊板的外圍區(qū)域中。這樣的凸出區(qū)段可例如是一種凸鼻或接片。凸出區(qū)段優(yōu)選彼此間隔開地沿真空夾緊板的外圍區(qū)域設(shè)置或構(gòu)成。如果設(shè)置上述的吸出開口，則優(yōu)選在每個凸出區(qū)段中構(gòu)成至少一個這樣的吸出開口。

附圖說明

現(xiàn)在借助實施例參考附圖進一步解釋本發(fā)明。附圖如下：

圖1是按照本發(fā)明的真空夾緊板的一種實施例的示意圖；以及

圖2是真空板的示意視圖，所述真空板設(shè)置在真空夾緊板之前。

具體實施方式

在圖1中示出用于真空夾緊裝置的真空夾緊板10，其中，利用真空夾緊裝置應(yīng)該夾緊晶片。圓形構(gòu)成的真空夾緊板10具有兩個彼此分離的能夠單獨切換的真空區(qū)11、12，其中，作為圓弓構(gòu)成的較小的真空區(qū)12相比于較大的第一真空區(qū)11具有偏心的形狀13。為所述真空區(qū)11、12中的每個真空區(qū)配置有單獨的真空回路，從而在兩個真空區(qū)11、12的每個中可以產(chǎn)生獨立的分離的真空。真空的產(chǎn)生這樣進行，使得真空夾緊板10總體上具有抽吸表面14，抽吸槽15處于所述抽吸表面上。此外設(shè)置一系列抽吸開口16，所述抽吸開口與抽吸槽15處于連接。

如果現(xiàn)在將晶片(未示出)夾緊在真空夾緊板上，則所述晶片首先放置到真空夾緊板上。隨后空氣通過抽吸槽15和抽吸開口16被抽吸，這通過未示出的用于產(chǎn)生真空的設(shè)備、例如真空泵進行。為此，真空泵通過合適的負壓設(shè)備與抽吸開口16連接，所述負壓設(shè)備例如可以具有通道、管路、閥和類似物。

通過真空夾緊板10具有分別包括一個真空區(qū)11和真空區(qū)12的兩個不同的彼此分離的真空回路，并且通過所述真空區(qū)12具有偏心的形狀13，能夠放大用于晶片的保持力，其中，保持力的放大能夠優(yōu)選針對性地進行。當(dāng)利用較小的真空區(qū)應(yīng)該產(chǎn)生或提供例如相比于較大的真空區(qū)11而言較大的真空時，可以在真空區(qū)12的區(qū)域中非常準確地并且針對性地產(chǎn)生較大的保持力，這在許多晶片加工過程中是有利的。

以四個凸出區(qū)段19形式的凸出部18在真空夾緊板10的外圍區(qū)域17上延伸。在每個凸出區(qū)段19中設(shè)置用于空氣的吸出開口20。此外可以在真空夾緊板10的外圍區(qū)域17中吸出空氣。例如有利的是，晶片局部地從真空夾緊板10剝離?，F(xiàn)在沒有空氣再可以滲透到在此產(chǎn)生的間隙中，從而真空的崩潰能夠被阻止。

在真空夾緊板10上可固定、例如粘著另一個真空板21，所述另一個真空板在圖2中示出。為了阻止晶片22的打滑，合適的是，在晶片22和真空夾緊板10之間設(shè)置這樣的真空板21。真空板21具有第一外表面23和第二外表面24，其中，一定數(shù)量的真空通道25從外表面23、24延伸穿過真空板21。作為真空通道25，可以設(shè)置小的直徑的垂直的和傾斜的孔。為了進一步的流動優(yōu)化，真空通道25可具有不同的幾何結(jié)構(gòu)、例如圓柱形的幾何結(jié)構(gòu)、錐形的幾何結(jié)構(gòu)或類似結(jié)構(gòu)。

附圖標(biāo)記列表

10真空夾緊板

11真空區(qū)

12真空區(qū)

13偏心的形狀

14抽吸表面

15抽吸槽

16抽吸開口

17外圍區(qū)域

18凸出部

19凸出區(qū)段

20吸出開口

21真空板

22晶片

23外表面

24外表面

25真空通道