技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種改善博世法刻蝕工藝終點(diǎn)監(jiān)測(cè)準(zhǔn)確性的方法與利用博世法進(jìn)行刻蝕的方法，以改善工藝結(jié)果的穩(wěn)定性和刻蝕終點(diǎn)監(jiān)測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。其中，所述改善博世法刻蝕工藝終點(diǎn)監(jiān)測(cè)準(zhǔn)確性的方法，包括：獲取博世法刻蝕工藝的工藝菜單；更改工藝菜單中某些步驟的氣壓參數(shù)，以使該工藝菜單中刻蝕步驟與沉積步驟的氣壓相等；對(duì)于氣壓參數(shù)被更改的步驟，調(diào)整工藝菜單中該步驟的其它參數(shù)，以補(bǔ)償其氣壓參數(shù)的更變；根據(jù)該更改氣壓參數(shù)和調(diào)整其它參數(shù)的步驟，獲得新的工藝菜單；執(zhí)行該新的工藝菜單，以進(jìn)行刻蝕。

技術(shù)研發(fā)人員：黃智林;黃秋平;王洪青;嚴(yán)利均;倪圖強(qiáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
文檔號(hào)碼：201510960586
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.21
技術(shù)公布日：2017.06.27