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一種倒裝結(jié)構(gòu)的LED芯片的制作方法

文檔序號:12613007閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種倒裝結(jié)構(gòu)的LED芯片,包括芯片和支架,所述芯片從上到下依次包括:藍(lán)寶石層、P型半導(dǎo)體層、N型半導(dǎo)體層、反射層、電極、金屬凸點和支架;所述藍(lán)寶石層與P型半導(dǎo)體層和N型半導(dǎo)體層接觸,其特征在于:所述N型半導(dǎo)體層和P型半導(dǎo)體層相互交替放置,所述反射層設(shè)置于N型半導(dǎo)體層和P型半導(dǎo)體層之下,包括金屬反射層和曲面聚光裝置,金屬反射層覆蓋于曲面聚光裝置上,反射層下對應(yīng)N型半導(dǎo)體層和P型半導(dǎo)體層設(shè)置有P極和N極,P極通過金屬凸點與支架連接,N極通過金屬凸點與支架連接;所述支架為硅片。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述倒裝結(jié)構(gòu)的LED芯片,其特征在于:所述P型半導(dǎo)體層之間設(shè)置有N型半導(dǎo)體層,每個P型半導(dǎo)體層連接一個P極;所述N形半導(dǎo)體層之間設(shè)置有P型半導(dǎo)體,每個N型半導(dǎo)體層連接一個N極。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述倒裝結(jié)構(gòu)的LED芯片,其特征在于:所述P型半導(dǎo)體為P-CaN,所述N型半導(dǎo)體為N-CaN。

4.一種具有倒裝結(jié)構(gòu)的LED芯片的制備方法,包括:

步驟一:將藍(lán)寶石進行感應(yīng)耦合離子刻蝕,得到背面圖形化的藍(lán)寶石襯底;

步驟二:在藍(lán)寶石襯底上通過MOCVD生長外延層,分別為N型GaN和P型GaN;

步驟三:在外延層上制作反射層,在導(dǎo)電反射層上面制作金屬保護層,在金屬保護層表面制作SiO2絕緣層;

步驟四:通過真空鍍膜方法蒸鍍金屬,制作N電極和P電極:

步驟五:將藍(lán)寶石研磨減薄,切割裂片成獨立的芯粒,將芯粒焊接在支架上。

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