本發(fā)明是關(guān)于一種基板載具，尤指一種具有防刮傷設(shè)計(jì)的基板載具。

背景技術(shù)：

由于地球石油資源有限，因此近年來對(duì)于替代能源的需求與日俱增。在各式替代能源中，太陽能由于能夠通過自然界的循環(huán)而源源不絕，已成為目前最具發(fā)展?jié)摿Φ木G色能源，因此太陽能電池也已成為近幾年各界的發(fā)展重點(diǎn)。

鍍膜工藝是制作太陽能電池其中的一個(gè)重要步驟，通常已完成鍍膜的基板會(huì)放置于基板載具上。已知的基板載具具有承載面，而已完成鍍膜的基板是以面接觸的方式放置于承載面上。另一方面，由于基板上的薄膜非常脆弱，因此在取放或搬運(yùn)過程中非常容易因些微的振動(dòng)造成基板上的薄膜刮傷，進(jìn)而導(dǎo)致所形成的太陽能電池的效能例如光電轉(zhuǎn)換效率等造成負(fù)面的影響。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的主要目的之一在于提供一種基板載具，以解決放置于基板載具上的基板在取放或搬運(yùn)過程中受到振動(dòng)使得基板上的薄膜刮傷的問題。

為達(dá)上述的目的，本發(fā)明提供一種基板載具，用以承載具有雙面鍍膜的至少一基板。基板載具包括至少一承載體用以承載基板，承載體具有至少一傾斜面，當(dāng)基板載具承載基板時(shí)，基板的至少部分的側(cè)邊接觸傾斜面，且基板與傾斜面之間具有一為銳角的第一夾角。

附圖說明

為使熟悉本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的一般技術(shù)者能更進(jìn)一步了解本發(fā)明，下文特列舉本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并配合所附附圖，詳細(xì)說明本發(fā)明的構(gòu)成內(nèi)容及所欲達(dá)成的功效，其中：

圖1繪示了本發(fā)明的第一實(shí)施例的基板載具的上視示意圖。

圖2繪示了本發(fā)明的第一實(shí)施例的基板載具沿圖1的A-A’剖線所繪示的剖面示意圖。

圖3繪示了本發(fā)明的第一實(shí)施例的一變化實(shí)施例的基板載具的上視示意圖。

圖4繪示了本發(fā)明的第二實(shí)施例的基板載具的上視示意圖。

圖5繪示了本發(fā)明的第二實(shí)施例的基板載具于圖4中X區(qū)域的放大立體示意圖。

圖6繪示了本發(fā)明的第二實(shí)施例的基板載具沿圖4的B-B’剖線所繪示的剖面示意圖。

圖7繪示了本發(fā)明的第二實(shí)施例的一變化實(shí)施例的基板載具的上視示意圖。

圖8繪示了本發(fā)明的第三實(shí)施例的基板載具的上視示意圖。

圖9繪示了本發(fā)明的第三實(shí)施例的一變化實(shí)施例的基板載具的上視示意圖。

具體實(shí)施方式

請(qǐng)參考圖1與圖2。圖1繪示了本發(fā)明的第一實(shí)施例的基板載具的上視示意圖，圖2繪示了本發(fā)明的第一實(shí)施例的基板載具沿圖1的A-A’剖線所繪示的剖面示意圖。如圖1與圖2所示，本實(shí)施例的基板載具100是用以承載具有雙面鍍膜的至少一基板102。本實(shí)施例是以承載一個(gè)基板102的基板載具100為例，但不以此為限。在其他變化實(shí)施例中，基板載具100也可以承載多個(gè)基板102，例如可為多個(gè)圖1中的結(jié)構(gòu)以陣列方式排列所組合而成的基板載具。此外，本實(shí)施例的基板載具100的形狀是以方形為例，但不以此為限，基板載具100也可依需求具有其他適合的形狀。在本實(shí)施例中，基板102例如可以是太陽能電池基板、半導(dǎo)體基板、透明基板或其它適合的基板。詳細(xì)而言，本實(shí)施例的基板102是一太陽能電池半成 品基板，其指的是半導(dǎo)體基底在經(jīng)過鍍膜工藝(例如非晶硅半導(dǎo)體層的雙面鍍膜工藝)后的太陽能電池半成品基板。此外，基板102的形狀一般為導(dǎo)角方形(pseudo square)，但并不以此為限?；遢d具100具有至少一承載體104，用以承載基板102。承載體104的材料可為金屬或合金例如鉬、鈦、鉭、鎢或不銹鋼，但不以此為限。

在本實(shí)施例中，承載體104為連續(xù)地沿著基板載具100的四周設(shè)置，但不以此為限。在其他變化實(shí)施例中，可為多個(gè)具有相同或不同長度的承載體104分別設(shè)置于基板載具100的四周，以穩(wěn)固地承載基板102。本實(shí)施例的承載體104具有至少一傾斜面106，其傾斜面106是承載體104面向基板載具100中心的一個(gè)側(cè)面。此外，承載體104具有一底面108與傾斜面106相連接，底面108實(shí)質(zhì)上是沿水平方向D1(圖2中的橫方向)延伸，底面108與傾斜面106之間具有一第二夾角θ2，且第二夾角θ2為一銳角(亦即第二夾角θ2大于0°且小于90°)。換言之，承載體104的垂直剖面形狀可為一梯形，但不以此為限。當(dāng)基板載具100承載基板102時(shí)，基板102的至少部分的側(cè)邊110接觸傾斜面106，此處與傾斜面106接觸的基板102的側(cè)邊110可包括是基板102在放置于基板載具100上時(shí)，圍繞基板102面向基板載具100的一下表面112邊緣的側(cè)邊或/及基板102的側(cè)表面114的一側(cè)邊。另一方面，本實(shí)施例的基板102的形狀為導(dǎo)角方形，而基板102的側(cè)邊110指的是導(dǎo)角方形中長度較長的邊，但不以此為限。另外，當(dāng)基板載具100承載基板102時(shí)，基板102與傾斜面106之間具有一為銳角的第一夾角θ1(亦即第一夾角θ1大于0°且小于90°)。詳細(xì)而言，第一夾角θ1是基板102的下表面112與承載體104的傾斜面106之間的夾角。此外，本實(shí)施例的基板載具100承載基板102時(shí)，基板102的下表面112可大致上與承載體104的底面108平行，亦即第一夾角θ1與第二夾角θ2可大致上為相等，但不以此為限。具體而言，本實(shí)施例的基板載具100承載基板102時(shí)，基板102是以線接觸方式放置于承載體104的傾斜面106上。在本實(shí)施例中，承載體104可具有四個(gè)傾斜面106分別僅與基板102的四個(gè)側(cè)邊110以線接觸方式形成接觸。由此，基板102在放置于基板載具100上時(shí)，其下表面112并未接觸基板載具100。

在本實(shí)施例中，基板載具100具有一第一開口116，且承載體104沿 著第一開口116的邊緣設(shè)置。因此，基板102可對(duì)應(yīng)第一開口116放置在基板載具100上。本實(shí)施例的第一開口116的面積小于基板102面向基板載具100的下表面112的面積，以確保基板102能夠穩(wěn)固地放置在承載體104上，但不以此為限。另外，本實(shí)施例的基板載具100可選擇性地另具有一底座118設(shè)置于承載體104的底面108上，以提供基板載具100額外的支撐力。在本實(shí)施例中，底座118具有一第二開口120，且第二開口120與第一開口116對(duì)應(yīng)設(shè)置，但不以此為限。在其他變化實(shí)施例中，底座118也可依需求不具有第二開口120。再者，本實(shí)施例的底座118的第二開口120的面積是小于或等于承載體104的第一開口116的面積，但不以此為限。由此，本實(shí)施例的基板載具100具有第一開口116與第二開口120，除了可應(yīng)用于基板102的搬運(yùn)載具外，也可應(yīng)用于鍍膜工藝中用以乘載基板102的載具，例如物理氣相沉積工藝(例如：熱蒸鍍工藝或?yàn)R鍍工藝)，或其它由下往上鍍膜工藝。在本實(shí)施例中，承載體104與底座118可為兩個(gè)獨(dú)立的元件，但不以此為限。在其他變化實(shí)施例中，承載體104與底座118亦可為一體成形的物件。本實(shí)施例的底座118的材料可與承載體104的材料為相同或不同，底座118的材料可為金屬或合金例如鉬、鈦、鉭、鎢或不銹鋼，但不以此為限。另外，本實(shí)施例的基板載具100可另選擇性地具有多個(gè)固定元件122，用以將承載體104固定于底座118上，但不以此為限。固定元件122可以是螺絲或任何能將承載體104固定于底座118上的元件。

在本實(shí)施例的基板載具100中，由于承載體104具有傾斜面106，且基板102是以線接觸方式放置于承載體104的傾斜面106上，故可避免當(dāng)基板載具100以面接觸方式承載基板102時(shí)，受到些微振動(dòng)就容易使得基板102上的薄膜受到刮傷，進(jìn)而避免對(duì)于所形成的太陽能電池的效能例如光電轉(zhuǎn)換效率等造成負(fù)面的影響。另一方面，由于基板102是以線接觸方式放置于承載體104的傾斜面106上，故不需要犧牲基板102的下表面112邊緣的面積以與承載體104接觸，進(jìn)而使得太陽能電池能夠進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換的有效面積增加，由此更有效地提升光電轉(zhuǎn)換效率。

下文將針對(duì)本發(fā)明的不同實(shí)施例進(jìn)行說明，且為簡化說明，以下說明主要針對(duì)各實(shí)施例不同之處進(jìn)行詳述，而不再對(duì)相同之處作重復(fù)贅述。此 外，本發(fā)明的各實(shí)施例中相同的元件是以相同的標(biāo)號(hào)進(jìn)行標(biāo)示，用以方便在各實(shí)施例間互相對(duì)照。

請(qǐng)參考圖3，圖3繪示了本發(fā)明的第一實(shí)施例的一變化實(shí)施例的基板載具的上視示意圖。如圖3所示，本變化實(shí)施例與第一實(shí)施例不同的地方在于，承載體104于基板載具100A的其中三個(gè)邊上具有三個(gè)傾斜面106。因此，當(dāng)基板載具100A承載基板102時(shí)，基板102中對(duì)應(yīng)傾斜面106位置的三個(gè)側(cè)邊110是以線接觸方式放置于傾斜面106上，也就是說基板102可僅有三個(gè)側(cè)邊110與基板載具100A接觸，而其他側(cè)邊110或其他部分則均未與基板載具100A接觸。由此，基板102在放置于基板載具100A上時(shí)，其下表面112并未接觸基板載具100A。本變化實(shí)施例的基板載具100A的其余特征可與前述第一實(shí)施例相同，并可參考圖1與圖2，在此不再贅述。

請(qǐng)參考圖4-6，圖4繪示了本發(fā)明的第二實(shí)施例的基板載具的上視示意圖，圖5繪示了本發(fā)明的第二實(shí)施例的基板載具于圖4中X區(qū)域的放大立體示意圖，圖6繪示了本發(fā)明的第二實(shí)施例的基板載具沿圖4的B-B’剖線所繪示的剖面示意圖。本實(shí)施例與第一實(shí)施例不同的地方在于基板載具200的承載體104的傾斜面106為一彎曲傾斜面124，舉例來說，承載體104可包括一具有彎曲傾斜面124的凸出物126，而此凸出物126可包括一圓錐體或一半球體，但不以此為限。如圖4所示，本實(shí)施例的承載體104具有四個(gè)凸出物126(圖4中的凸出物是以圓錐體為例，但并不以此為限)，分別設(shè)置于基板載具200的四個(gè)邊上，但不以此為限。在其他變化實(shí)施例中，可以依需求于基板載具200的各個(gè)邊上設(shè)置多個(gè)凸出物126。如圖5所示，承載體104可具有一與底面108相對(duì)的頂面128，且凸出物126是設(shè)置于一部分的頂面128上，但不以此為限。凸出物126可包括一凸出物底面134以及與凸出物底面134相對(duì)的一凸出物頂面136，凸出物底面134可與承載體104的頂面128為同一平面，且彎曲傾斜面124位于凸出物底面134與凸出物頂面136之間并相連接凸出物底面134與凸出物頂面136。詳細(xì)而言，如圖6所示，凸出物底面134與彎曲傾斜面124之間具有一第三夾角θ3，且第三夾角θ3為一銳角(亦即第三夾角θ3大于0°且小于90°)。當(dāng)基板載具200承載基板102時(shí)，基板102的至少部分 的側(cè)邊110接觸彎曲傾斜面124，此處與彎曲傾斜面124接觸的基板102的側(cè)邊110可包括指的是基板102在放置于基板載具200上時(shí)，圍繞基板102面向基板載具200的一下表面112邊緣的側(cè)邊或/及基板102的側(cè)表面114的一側(cè)邊。另一方面，本實(shí)施例的基板102的形狀為導(dǎo)角方形，而基板102的側(cè)邊110指的是導(dǎo)角方形中長度較長的邊，但不以此為限。另外，當(dāng)基板載具200承載基板102時(shí)，基板102與彎曲傾斜面124之間具有一為銳角的第一夾角θ1，亦即第一夾角θ1大于0°且小于90°。詳細(xì)而言，第一夾角θ1是位于基板的下表面112與凸出物126的彎曲傾斜面124之間。此外，本實(shí)施例的基板載具200承載基板102時(shí)，基板102的下表面112可大致上與凸出物126的凸出物底面134平行，亦即第一夾角θ1與第三夾角θ3可大致上為相等，但不以此為限。具體而言，本實(shí)施例的基板載具200承載基板102時(shí)，基板102是以點(diǎn)接觸方式放置于承載體104的傾斜面106上。換言之，基板102僅有四個(gè)側(cè)邊110分別與承載體104的四個(gè)傾斜面106(即四個(gè)凸出物126的彎曲傾斜面124)接觸。由此，基板102在放置于基板載具200上時(shí)，其下表面112并未接觸基板載具200。此外，在本實(shí)施例的承載體104中，凸出物126是設(shè)置于承載體104的一部分的頂面128上，但不以此為限。在其他變化實(shí)施例中，承載體104也可單純僅為多個(gè)凸出物126，且凸出物126是直接設(shè)置于底座118上。本實(shí)施例的基板載具200的其余特征可與前述實(shí)施例相同，在此不再贅述。

請(qǐng)參考圖7，圖7繪示了本發(fā)明的第二實(shí)施例的一變化實(shí)施例的基板載具的上視示意圖。如圖7所示，本變化實(shí)施例與第二實(shí)施例不同的地方在于，基板載具200A的承載體104具有三個(gè)凸出物126分別設(shè)置于基板載具200A其中的三個(gè)邊上。因此，當(dāng)基板載具200A承載基板102時(shí)，基板102中對(duì)應(yīng)凸出物126位置的三個(gè)側(cè)邊110是以點(diǎn)接觸方式放置于彎曲傾斜面124上。由此，基板102在放置于基板載具200A上時(shí)，其下表面112并未接觸基板載具200A(請(qǐng)參考第二實(shí)施例的圖5與圖6)。此外，承載體104的其中兩個(gè)凸出物124是分別設(shè)置于基板載具200A的兩相對(duì)邊上，且較靠近基板載具200A中沒有設(shè)置凸出物126的一側(cè)，以使承載體104能夠穩(wěn)固的承載基板102，但不以此為限。承載體104的三個(gè)凸出物126可依需求設(shè)置于基板載具200A中各對(duì)應(yīng)凸出物126的邊上其他合適的 位置。本變化實(shí)施例的基板載具200A的其余特征可與前述第二實(shí)施例相同，并可參考圖4-6，在此不再贅述。

請(qǐng)參考圖8，圖8繪示了本發(fā)明的第三實(shí)施例的基板載具的上視示意圖。如圖8所示，本實(shí)施例與前述實(shí)施例不同的地方在于，基板載具300包括多個(gè)承載體104，且承載體104包括至少一第一承載體130以及至少一第二承載體132。本實(shí)施例的第一承載體130可與前述第一實(shí)施例的承載體104相同，并可參考第一實(shí)施例的圖1-2。其中第一承載體130具有一傾斜面106，其傾斜面106是第一承載體130面向基板載具300中心的一個(gè)側(cè)面。此外，第一承載體130具有一底面108與傾斜面106相連接，底面108實(shí)質(zhì)上是沿水平方向D1延伸，底面108與傾斜面106之間具有一第二夾角θ2，且第二夾角θ2為一銳角(亦即第二夾角θ2大于0°且小于90°)。本實(shí)施例的第二承載體132可與前述第二實(shí)施例的承載體104相同，并可請(qǐng)參考第二實(shí)施例的圖4-6。第二承載體132的傾斜面106為一彎曲傾斜面124，其中第二承載體132可包括一凸出物126例如一圓錐體或一半球體，但不以此為限。第二承載體132可具有一與底面108相對(duì)的頂面128，且凸出物126是設(shè)置于一部分的頂面128上，但不以此為限。凸出物126可包括一凸出物底面134以及與凸出物底面134相對(duì)的一凸出物頂面136，凸出物底面134可與第二承載體132的頂面128為同一平面，且彎曲傾斜面124位于凸出物底面134與凸出物頂面136之間并相連接凸出物底面134與凸出物頂面136。詳細(xì)而言，凸出物底面134與彎曲傾斜面124之間具有一第三夾角θ3，且第三夾角θ3為一銳角(亦即第三夾角θ3大于0°且小于90°)。在本實(shí)施例中，承載體104包括兩個(gè)第一承載體130與兩個(gè)第二承載體132，第一承載體130分別設(shè)置于基板載具300的兩個(gè)相對(duì)的邊上，以及第二承載體132分別設(shè)置于基板載具300的另外兩個(gè)相對(duì)的邊上，但不以此為限。兩個(gè)第一承載體130亦可設(shè)置于基板載具300的任兩個(gè)邊上，而兩個(gè)第二承載體132可設(shè)置于基板載具300的另外兩個(gè)邊上。當(dāng)基板載具300承載基板102時(shí)，基板102的其中兩側(cè)邊110是以線接觸方式放置于第一承載體130的傾斜面106上，基板102的另外兩側(cè)邊110是以點(diǎn)接觸方式放置于第二承載體132的彎曲傾斜面124上。此處與第一承載體130的傾斜面106以及第二承載體132的彎曲傾斜面 124接觸的基板102的側(cè)邊110可包括指的是基板102在放置于基板載具300上時(shí)，圍繞基板102面向基板載具300的一下表面112邊緣的側(cè)邊或/及基板102的側(cè)表面114的一側(cè)邊。另一方面，本實(shí)施例的基板102的形狀為導(dǎo)角方形，而基板102的側(cè)邊110指的是導(dǎo)角方形中長度較長的邊，但不以此為限。換言之，基板102僅有四個(gè)側(cè)邊110分別與第一承載體130的兩個(gè)傾斜面106與第二承載體132的兩個(gè)彎曲傾斜面124(即兩個(gè)凸出物126的彎曲傾斜面124)接觸。由此，基板102在放置于基板載具300上時(shí)，其下表面112并未接觸基板載具300。

請(qǐng)參考圖9，圖9繪示了本發(fā)明的第三實(shí)施例的一變化實(shí)施例的基板載具的上視示意圖。如圖9所示，本變化實(shí)施例與前述第三實(shí)施例不同的地方在于，基板載具300A的承載體104具有兩個(gè)第一承載體130與一個(gè)第二承載體132，其中第一承載體130分別設(shè)置于基板載具300A的兩個(gè)相對(duì)的邊上，以及第二承載體132設(shè)置于基板載具300A的另外兩個(gè)邊的其中一個(gè)的邊上，但不以此為限。兩個(gè)第一承載體132亦可設(shè)置于基板載具300A的任兩個(gè)邊上，而第二承載體132可設(shè)置于基板載具300A的另外兩個(gè)邊的其中一個(gè)的邊上。當(dāng)基板載具300A承載基板102時(shí)，基板102的其中兩個(gè)側(cè)邊110是以線接觸方式放置于第一承載體130的傾斜面106上，另一方面，基板102的另外一個(gè)側(cè)邊110是以點(diǎn)接觸方式放置于第二承載體132的彎曲傾斜面124上。換言之，基板102僅有三個(gè)側(cè)邊110分別與兩個(gè)第一承載體130的傾斜面106以及一個(gè)第二承載體132的傾斜面106接觸。由此，基板102在放置于基板載具300A上時(shí)，其下表面112并未接觸基板載具300A。

值得一提的是，本發(fā)明的基板載具的承載體的配置并不以前述實(shí)施例及其變化實(shí)施例為限。在其他變化實(shí)施例中，承載體亦可具有一個(gè)第一承載體及兩個(gè)第二承載體，或是承載體可具有一個(gè)第一承載體及三個(gè)第二承載體，或是承載體具有三個(gè)第一承載體及一個(gè)第二承載體。此外，各第一承載體及各第二承載體可依需求設(shè)置于基板載具上適當(dāng)?shù)奈恢谩?/p>

綜上所述，在本發(fā)明的基板載具中，由于承載體具有傾斜面，且基板是以線接觸或點(diǎn)接觸或兩者混和的方式放置于承載體的傾斜面上，故可避免當(dāng)基板載具以面接觸方式承載基板時(shí)，受到些微振動(dòng)就使得基板上的薄 膜受到刮傷，進(jìn)而避免太陽能電池光電轉(zhuǎn)換效率的損失。另一方面，由于基板是以線接觸或點(diǎn)接觸或兩者混和的方式放置于承載體的傾斜面上，故不需要犧牲基板邊緣的面積以與承載體接觸，進(jìn)而使得太陽能電池能夠進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換的有效面積增加，由此更有效地提升光電轉(zhuǎn)換效率。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，凡依本發(fā)明申請(qǐng)專利范圍所做的均等變化與修飾，皆應(yīng)屬本發(fā)明權(quán)利要求涵蓋范圍。