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基板結(jié)構(gòu)及其制作方法與流程

文檔序號:12749642閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種基板結(jié)構(gòu),其特征在于,包含:

一介電材料層;

一第一導(dǎo)線層,嵌設(shè)于該介電材料層內(nèi);

一第二導(dǎo)線層;

一第一導(dǎo)電柱層,嵌設(shè)于該介電材料層內(nèi)并設(shè)置于該第一導(dǎo)線層以及該第二導(dǎo)線層之間,具有至少一第一導(dǎo)電柱;以及

一第二導(dǎo)電柱層,設(shè)置于該第二導(dǎo)線層上,具有至少一第二導(dǎo)電柱;

其中,該第一導(dǎo)線層以及該第二導(dǎo)線層借助該至少一第一導(dǎo)電柱電性連接,該至少一第二導(dǎo)電柱是┴型導(dǎo)電柱、┬型導(dǎo)電柱以及┼型導(dǎo)電柱其中之一。

2.如權(quán)利要求1所述的基板結(jié)構(gòu),其特征在于,其中,該第二導(dǎo)線層嵌設(shè)于該介電材料層內(nèi),該至少一第二導(dǎo)電柱部份地嵌設(shè)于該介電材料層內(nèi)。

3.如權(quán)利要求2所述的基板結(jié)構(gòu),其特征在于,其中,該至少一第二導(dǎo)電柱嵌設(shè)于該介電材料層內(nèi)。

4.如權(quán)利要求1所述的基板結(jié)構(gòu),其特征在于,其中,該介電材料層為一鑄?;衔铮∕olding Compound)層,該鑄?;衔飳泳哂蟹尤┗鶚渲∟ovolac-based Resin)、環(huán)氧基樹脂(Epoxy-based Resin)以及硅基樹脂(Silicone-based Resin)其中之一。

5.一種基板結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,包含下列步驟:

提供一承載板,其具有一表面;

形成一介電材料層于該承載板的表面;

形成一第一導(dǎo)線層于該介電材料層上;

形成一第一導(dǎo)電柱層于該第一導(dǎo)線層上;

形成該介電材料層,使其包覆該第一導(dǎo)線層以及該第一導(dǎo)電柱層,并露出該第一導(dǎo)電柱層的一端;

形成一第二導(dǎo)線層于露出的該第一導(dǎo)電柱層的一端上與該介電材料層上;

形成一第二導(dǎo)電柱層于該第二導(dǎo)線層上,其具有至少一第二導(dǎo)電柱;以及

移除該承載板;

其中,該至少一第二導(dǎo)電柱為┴型導(dǎo)電柱。

6.如權(quán)利要求5所述的制作方法,其特征在于,更包含下列步驟:

形成該介電材料層,使其包覆該第二導(dǎo)線層以及該第二導(dǎo)電柱層,并露出該第二導(dǎo)電柱層的一端。

7.一種基板結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,包含下列步驟:

提供一承載板,其具有一表面;

形成一介電材料層于該承載板的表面;

形成一第一導(dǎo)線層于該介電材料層上;

形成一第一導(dǎo)電柱層于該第一導(dǎo)線層上;

形成該介電材料層,使其包覆該第一導(dǎo)線層以及該第一導(dǎo)電柱層,并露出該第一導(dǎo)電柱層的一端;

形成一第二導(dǎo)線層于露出的該第一導(dǎo)電柱層的一端上與該介電材料層上;

形成該介電材料層于該第二導(dǎo)線層上,并露出該第二導(dǎo)線層的一端;

形成一第二導(dǎo)電柱層于露出的該第二導(dǎo)線層的一端上,其具有至少一第二導(dǎo)電柱;以及

移除該承載板;

其中,該至少一第二導(dǎo)電柱為┬型導(dǎo)電柱以及┼型導(dǎo)電柱其中之一。

8.如權(quán)利要求5、6或7所述的制作方法,其特征在于,其中,形成一介電材料層的步驟更包含下列步驟:

提供一鑄模化合物;

加熱該鑄?;衔镏烈灰后w狀態(tài);

注入呈現(xiàn)該液體狀態(tài)的鑄?;衔?,使呈現(xiàn)該液體狀態(tài)的鑄?;衔锇苍摰谝粚?dǎo)線層、該第一導(dǎo)電柱層、該第二導(dǎo)線層以及該第二導(dǎo)電柱層其中之一;以及

固化呈現(xiàn)該液體狀態(tài)的鑄?;衔镆孕纬梢昏T?;衔飳?。

9.如權(quán)利要求8所述的制作方法,其特征在于,其中,該鑄模化合物層具有酚醛基樹脂、環(huán)氧基樹脂以及硅基樹脂其中之一。

10.如權(quán)利要求5或7所述的制作方法,其特征在于,其中,形成一介電材料層于該承載板的表面的步驟是應(yīng)用一真空壓合制程將該介電材料層壓合于該承載板的表面。

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