用于雙面鍍膜的石墨舟片及石墨舟的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種用于雙面鍍膜的石墨舟片，所述石墨舟片設(shè)置有鏤空硅片位；所述鏤空硅片位邊緣設(shè)置有硅片卡件。本發(fā)明還提供了一種用于雙模鍍膜的石墨舟，包括多片上述技術(shù)方案所述的石墨舟片。本發(fā)明提供的石墨舟包括的石墨片上設(shè)置有鏤空的硅片位，通過鏤空硅片位邊緣設(shè)置的硅片卡件將待鍍膜的硅片卡在硅片位上，從而在鍍膜時實(shí)現(xiàn)硅片的雙面鍍膜。而且，本發(fā)明提供的石墨舟與傳統(tǒng)的太陽能電池生產(chǎn)線兼容，適合大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)。
【專利說明】用于雙面鍍膜的石墨舟片及石墨舟

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及太陽能電池鍍膜【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種用于雙面鍍膜的石墨舟。

【背景技術(shù)】
[0002]太陽能硅片的生產(chǎn)加工中有一道工序叫做等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)鍍膜，其作用是提高硅片的太陽能轉(zhuǎn)化率。這個工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，通過等離子化學(xué)氣相沉積，在骨片表面沉積一層深藍(lán)色氮化硅膜。
[0003]石墨舟是給太陽能電池片中的硅片鍍膜的載體，其結(jié)構(gòu)和大小直接影響硅片的轉(zhuǎn)換效率和生產(chǎn)效率。目前，石墨舟均包括間隔設(shè)置的若干第一石墨舟片、第二石墨舟片、陶瓷套、陶瓷桿、石墨桿、石墨螺母、第一連接塊和第二連接塊；第一石墨舟片的結(jié)構(gòu)和第二石墨舟片的結(jié)構(gòu)相同，第一石墨舟片一端的下部和中部分別設(shè)置有第一接線凸耳，第二石墨舟片另一端的下部和中部分別設(shè)置有第二接線凸耳；陶瓷套設(shè)置在第一石墨舟片和第二石墨舟片之間，再通過陶瓷桿穿過若干第一石墨舟片、第二石墨舟片和陶瓷套與石墨螺母配合將若干第一石墨舟片、第二石墨舟片和陶瓷套固定；第一連接塊設(shè)置在相鄰兩第一接線凸耳之間，再通過陶瓷桿、石墨桿穿過若干第一接線凸耳和第一連接塊與石墨螺母配合將若干第一石墨舟片和第一連接塊固定；第二連接塊設(shè)置在相鄰兩第二接線凸耳之間，再通過陶瓷桿、石墨桿穿過若干第二接線凸耳和二連接塊與石墨螺母配合將若干第二石墨舟片和第二連接塊固定。
[0004]在采用上述石墨舟對硅片進(jìn)行鍍膜時，每個硅片位的硅片通常是背靠背裝片，石墨舟片間接入射頻電源，硅片作為電極的一部分，兩舟片間通過射頻放電形成等離子體，使硅片上沉積上減反射膜。現(xiàn)有技術(shù)公開的石墨舟在鍍膜時只在硅片一面鍍上了鈍化膜或減反膜，不利于其推廣應(yīng)用。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種用于雙面鍍膜的石墨舟，本發(fā)明提供的石墨舟能夠?qū)杵M(jìn)行雙面鍍膜。
[0006]本發(fā)明提供了一種用于雙面鍍膜的石墨舟片，所述石墨舟片設(shè)置有鏤空硅片位；
[0007]所述鏤空硅片位邊緣設(shè)置有硅片卡件。
[0008]優(yōu)選的，每個鏤空娃片位上設(shè)置2個?5個娃片卡件。
[0009]優(yōu)選的，所述鏤空硅片位為四邊形；
[0010]所述四邊形的鏤空硅片位的四個側(cè)邊中至少I個不設(shè)置硅片卡件。
[0011]優(yōu)選的，所述硅片卡件為V型。
[0012]優(yōu)選的，所述硅片卡件包括第一卡面和第二卡面；
[0013]所述第一卡面的一端和第二卡面的一端相接構(gòu)成V型硅片卡件。
[0014]優(yōu)選的，所述鏤空硅片位的尺寸大于待鍍膜的硅片。
[0015]優(yōu)選的，所述石墨舟片的長度為100mm?1500mm;
[0016]所述石墨舟片上的鏤空硅片位為3個?10個。
[0017]優(yōu)選的,所述石墨舟片的長度為IlOOmm?1300mm。
[0018]本發(fā)明提供了一種用于雙面鍍膜的石墨舟，包括多片上述技術(shù)方案所述的石墨舟片。
[0019]優(yōu)選的，所述石墨舟片的片數(shù)為11片?21片。
[0020]本發(fā)明提供了一種用于雙面鍍膜的石墨舟片，所述石墨舟片設(shè)置有鏤空硅片位；所述鏤空硅片位邊緣設(shè)置有硅片卡件。本發(fā)明還提供了一種用于雙模鍍膜的石墨舟，包括多片上述技術(shù)方案所述的石墨舟片。本發(fā)明提供的石墨舟包括的石墨片上設(shè)置有鏤空的硅片位，通過鏤空硅片位邊緣設(shè)置的硅片卡件將待鍍膜的硅片卡在硅片位上，從而在一次鍍膜的進(jìn)程中，實(shí)現(xiàn)硅片的雙面鍍膜。而且，本發(fā)明提供的石墨舟與傳統(tǒng)的太陽能電池生產(chǎn)線兼容，適合大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0022]圖1為本發(fā)明實(shí)施例中硅片卡件的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2為本發(fā)明實(shí)施例中硅片位邊緣設(shè)置有3個硅片卡件的石墨舟片結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖3為本發(fā)明實(shí)施例中硅片位邊緣設(shè)置有4個硅片卡件的石墨舟片結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖4為本發(fā)明實(shí)施例中石墨舟的正視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0026]為了使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0027]本發(fā)明提供了一種用于雙面鍍膜的石墨舟片，所述石墨舟片設(shè)置有鏤空硅片位；
[0028]所述鏤空硅片位邊緣設(shè)置有硅片卡件。
[0029]本發(fā)明提供的石墨舟片設(shè)置有鏤空硅片位，通過所述鏤空硅片位邊緣的硅片卡件將待鍍膜的硅片固定在石墨舟片上，在對硅片進(jìn)行鍍膜時，可同時對硅片的雙面進(jìn)行鍍膜，得到雙模鍍膜的硅片。
[0030]本發(fā)明提供的用于雙面鍍膜的石墨舟片上設(shè)置有鏤空硅片位。本發(fā)明對所述石墨舟片的尺寸、材質(zhì)、形狀等沒有特殊的限制，采用本領(lǐng)域技術(shù)人員熟知的石墨舟片即可。與現(xiàn)有技術(shù)不同的是，本發(fā)明在石墨舟片上設(shè)置了鏤空的硅片位。在本發(fā)明中，所述石墨舟片的長度優(yōu)選為100mm?1500mm,更優(yōu)選為IlOOmm?1300mm,最優(yōu)選為1196mm。
[0031]本發(fā)明對每片石墨舟片上鏤空硅片位的數(shù)量沒有特殊的限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員可根據(jù)生產(chǎn)需要，設(shè)置合適數(shù)量的硅片位。在本發(fā)明中，每片石墨舟片上鏤空硅片位的數(shù)量優(yōu)選為3個?10個，更優(yōu)選為4個?7個。在本發(fā)明的實(shí)施例中，每片石墨舟片上可設(shè)置4個、5個、6個或7個鏤空硅片位。本發(fā)明對相鄰鏤空硅片位的間隔距離也沒有特殊的限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員可跟設(shè)置任意的間隔距離。在本發(fā)明的實(shí)施例中，每片石墨舟片上的口空硅片位平均分布。
[0032]本發(fā)明對所述鏤空硅片位的形狀沒有特殊的限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員可根據(jù)待鍍膜硅片的形狀，設(shè)置與所述待鍍膜硅片形狀相適應(yīng)的鏤空硅片位。在本發(fā)明的實(shí)施例中，所述鏤空硅片位可以為四邊形。在本發(fā)明中，為了能夠?qū)Υ兡さ墓杵轿诲兡ぃ鲧U空硅片位的尺寸優(yōu)選大于待鍍膜硅片。
[0033]在本發(fā)明中，所述鏤空硅片位的邊緣設(shè)置有硅片卡件，用于將待鍍膜硅片固定在石墨舟片上。
[0034]參見圖1，圖1為本發(fā)明實(shí)施例中硅片卡件的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0035]在本發(fā)明中，所述硅片卡件優(yōu)選為V型。具體的，所述硅片卡件包括第一卡面和第二卡面，所述第一卡面的一端與第二卡面的一端相接形成V型硅片卡件。在本發(fā)明中，所述第一卡面和第二卡面相接的部位與所述鏤空硅片位邊緣相接，用于將硅片卡件固定在鏤空硅片位邊緣；所述第一卡面和第二卡面的開口處用于放置待鍍膜的硅片。本發(fā)明對所述第一卡面和第二卡面開口處的距離沒有特殊的限制，能夠?qū)⒋兡す杵潭ㄗ〖纯伞?br> [0036]本發(fā)明對每個鏤空硅片位邊緣設(shè)置的硅片卡件的數(shù)量沒有特殊的限制，能夠?qū)⒐杵潭纯?。在本發(fā)明中，每個鏤空硅片位上優(yōu)選設(shè)置2個?5個硅片可見，更優(yōu)選為3個?4個。
[0037]本發(fā)明對硅片卡件在鏤空硅片位邊緣設(shè)置的位置沒有特殊的限制，能夠?qū)⒐杵潭纯?。在本發(fā)明的實(shí)施例中，當(dāng)所述鏤空硅片位為四邊形時，所述鏤空硅片位的四個側(cè)邊上至少有I個側(cè)邊上不設(shè)置硅片卡件，用于將待鍍膜硅片插入硅片卡件中。在本發(fā)明的實(shí)施例中，所述四邊形的鏤空硅片位的四個側(cè)邊中，可以有I個側(cè)邊不設(shè)置硅片卡件，也可以2個側(cè)邊不設(shè)置硅片卡件。
[0038]具體的，當(dāng)所述硅片卡件為2個時，可以設(shè)置在鏤空硅片位相對的兩個側(cè)邊邊緣；當(dāng)所述硅片卡件為3個時，可以將3個硅片卡件設(shè)置在鏤空硅片位的三個側(cè)邊的邊緣，每個側(cè)邊的邊緣設(shè)置I個；當(dāng)所述硅片卡件為4個時，所述4個硅片卡件設(shè)置在鏤空硅片位的三個側(cè)邊的邊緣，在所述三個側(cè)邊中，相對的兩個側(cè)邊中的每個側(cè)邊設(shè)置I個硅片卡件，余下的一個側(cè)邊設(shè)置2個硅片卡件。
[0039]參見圖2和圖3，圖2為本發(fā)明實(shí)施例中硅片位邊緣設(shè)置有3個硅片卡件的石墨舟片結(jié)構(gòu)示意圖。其中I為鏤空硅片位，2為第一硅片卡件，3為第二硅片卡件，4為第二硅片卡件；
[0040]圖3為本發(fā)明實(shí)施例中硅片位邊緣設(shè)置有4個硅片卡件的石墨舟片的結(jié)構(gòu)示意圖，其中5為鏤空硅片位，6為第三硅片卡件，7為第四硅片卡件，8為第五硅片卡件，9為第六娃片卡件。
[0041]本發(fā)明還提供了一種用于雙面鍍膜的石墨舟，包括多片上述技術(shù)方案所述的石墨舟片。本發(fā)明對所述多片石墨舟片之間的連接方式?jīng)]有特殊的限制，按照本領(lǐng)域技術(shù)人員熟知的現(xiàn)有技術(shù)中石墨舟片的設(shè)置方式即可。在本發(fā)明中，所述石墨舟包括的石墨舟片數(shù)可以為11片?21片。在本發(fā)明的實(shí)施例提供的石墨舟中，所述石墨舟片的片數(shù)可以為11片、12片、13片、14片、15片、16片、17片、18片、19片、20片或21片。
[0042]在本發(fā)明中，所述石墨舟中，相鄰石墨舟片之間的垂直距離優(yōu)選為1mm?20mm，更優(yōu)選為13mm?18mm,最優(yōu)選為15mm。
[0043]在本發(fā)明中，所述石墨舟包括的石墨舟片中，設(shè)置在外側(cè)的兩片石墨舟片為實(shí)心。
[0044]參見圖4，圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的石墨舟的正視圖。圖4中，10為設(shè)置有鏤空硅片位的石墨舟片，11為第一外側(cè)石墨舟片，12為第二外側(cè)石墨舟片。圖4提供的石墨舟包括17片設(shè)置有鏤空硅片位的石墨舟片和2片實(shí)心石墨舟片。
[0045]對所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實(shí)施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種用于雙面鍍膜的石墨舟片，所述石墨舟片設(shè)置有鏤空硅片位； 所述鏤空硅片位邊緣設(shè)置有硅片卡件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟片，其特征在于，每個鏤空硅片位上設(shè)置2個?5個硅片卡件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石墨舟片，其特征在于，所述鏤空硅片位為四邊形； 所述四邊形的鏤空硅片位的四個側(cè)邊中至少I個不設(shè)置硅片卡件。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟片，其特征在于，所述硅片卡件為V型。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的石墨舟片，其特征在于，所述硅片卡件包括第一卡面和第二卡面； 所述第—^面的一端和第二卡面的一端相接構(gòu)成V型娃片卡件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟片，其特征在于，所述鏤空硅片位的尺寸大于待鍍膜的硅片。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟片，其特征在于，所述石墨舟片的長度為100mm?1500mm ； 所述石墨舟片上的鏤空硅片位為3個?10個。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的石墨舟片，其特征在于，所述石墨舟片的長度為IlOOmm?1300mmo
9.一種用于雙面鍍膜的石墨舟，其特征在于，包括多片權(quán)利要求1?8任意一項所述的石墨舟片。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的石墨舟，其特征在于，所述石墨舟片的片數(shù)為11片?21片。
【文檔編號】H01L21/673GK104282604SQ201410582768
【公開日】2015年1月14日 申請日期:2014年10月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月27日
【發(fā)明者】黃紀(jì)德, 蔣方丹, 金井升, 金浩, 陳康平 申請人:浙江晶科能源有限公司, 晶科能源有限公司