專利名稱：被處理體的輸送方法和被處理體的輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種被處理體的輸送方法和被處理體的輸送裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體裝置的制造工序中，使用進(jìn)行被處理體、例如半導(dǎo)體晶圓的成膜處理等的處理裝置。各種傳感器等被安裝在這樣的處理裝置的內(nèi)部。例如在處理裝置是批量式的處理裝置的情況下，傳感器被安裝在晶圓舟皿的規(guī)定位置對(duì)半導(dǎo)體晶圓是否被收容在晶圓舟皿的規(guī)定的位置進(jìn)行檢測(cè)。另外，提出了通過使用通過該傳感器獲得的數(shù)據(jù)進(jìn)行更高級(jí)的裝置管理的各種方法。例如在專利文獻(xiàn)1中提出了一種基板處理裝置，其通過確認(rèn)輸送部件的支承構(gòu)件可否進(jìn)行輸送處理，能夠可靠地防止由支承構(gòu)件和基板的干涉而引起的基板的破損。專利文獻(xiàn)1 日本特開2009-152396號(hào)公報(bào)可是，在這樣的裝置中，在檢測(cè)到被收納于晶圓舟皿的半導(dǎo)體晶圓的一部分有異常時(shí)，從所有半導(dǎo)體晶圓都留在晶圓舟皿中的狀態(tài)開始，利用手動(dòng)操作對(duì)未被檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行輸送(回收)。因此，存在回收未被檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓的作業(yè)繁雜、不能簡單地回收未被檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓這樣的問題。另外，存在不能快速地輸出未被檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓這樣的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述實(shí)際情況而做成的，本發(fā)明目的在于提供一種能夠簡單且快速地輸送未被檢測(cè)到異常的被處理體的輸送方法、被處理體的輸送裝置和計(jì)算機(jī)可讀取的程序存儲(chǔ)介質(zhì)。為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的第1技術(shù)方案的被處理體的輸送方法的特征在于， 其包括異常判別工序，根據(jù)來自被配置于處理裝置的傳感器的信息來判別被該收納于處理裝置的被處理體是否有異常；異常確定工序，對(duì)在上述異常判別工序中被判別為有異常的被處理體的收容位置和異常的種類進(jìn)行確定；跳過位置決定工序，根據(jù)在上述異常確定工序中被確定的被處理體的收容位置和異常的種類來決定跳過位置；自動(dòng)輸送工序，跳過被收容于在上述跳過位置決定工序被決定的跳過位置的被處理體的輸送而自動(dòng)輸送未被檢測(cè)到異常的被處理體。還可以具有在上述自動(dòng)輸送工序之后從上述被檢測(cè)到異常的被處理體中確定能夠自動(dòng)輸送的被處理體的被處理體確定工序、自動(dòng)輸送在上述被處理體確定工序中被確定的被處理體的被處理體自動(dòng)輸送工序。在上述被處理體確定工序中，例如根據(jù)上述被檢測(cè)到上述異常的被處理體的異常的種類來確定能夠自動(dòng)輸送的被處理體。在上述被處理體確定工序中，還可以包括顯示在上述跳過位置決定工序中被決定的跳過位置的顯示工序、對(duì)與在上述顯示工序中被顯示的跳過位置的變更相關(guān)的信息進(jìn)
3行接收的信息接收工序、根據(jù)在上述信息接收工序中接收到的與跳過位置的變更相關(guān)的信息來確定自動(dòng)輸送的被處理體的確定工序。 還可以具有在上述被處理體自動(dòng)輸送工序之后手動(dòng)輸送上述處理裝置內(nèi)殘存的被處理體的手動(dòng)輸送工序。本發(fā)明的第2技術(shù)方案的被處理體的輸送裝置的特征在于，其包括異常判別部件，其用于根據(jù)來自被配置于處理裝置的傳感器的信息判別被收納于該處理裝置的被處理體是否有異常；異常確定部件，其用于對(duì)被上述異常判別部件判別為有異常的被處理體的收容位置和異常的種類進(jìn)行確定；跳過位置決定部件，其用于根據(jù)被上述異常確定部件確定的被處理體的收容位置和異常的種類來決定跳過位置；自動(dòng)輸送部件，其用于跳過被收容在由上述跳過位置決定部件決定的跳過位置的被處理體的輸送而自動(dòng)輸送未被檢測(cè)到異常的被處理體。本發(fā)明的第3技術(shù)方案的計(jì)算機(jī)可讀取的程序存儲(chǔ)介質(zhì)的特征在于，其使計(jì)算機(jī)作為下述部件而起作用根據(jù)來自被配置于處理裝置的傳感器的信息來判別被收納于該處理裝置的被處理體是否有異常的異常判別部件、對(duì)被上述異常判別部件判別為有異常的被處理體的收容位置和異常的種類進(jìn)行確定的異常確定部件、根據(jù)被上述異常確定部件確定的被處理體的收容位置和異常的種類來決定跳過位置的跳過位置決定部件、跳過被收容于由上述跳過位置決定部件決定的跳過位置的被處理體的輸送而自動(dòng)輸送未被檢測(cè)到異常的被處理體的自動(dòng)輸送部件。本發(fā)明能夠簡單且快速地輸送未被檢測(cè)到異常的被處理體。


圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的處理裝置的結(jié)構(gòu)的圖。圖2是表示圖1的控制部的結(jié)構(gòu)例的圖。圖3是表示異常信息存儲(chǔ)部的一個(gè)例子的圖。圖4是用于說明本實(shí)施方式的被處理體的回收處理的流程圖。圖5是用于說明本實(shí)施方式的被處理體的回收處理的圖。圖6是用于說明其他實(shí)施方式的被處理體的回收處理的流程圖。圖7是表示異常信息的顯示的一個(gè)例子的圖。圖8是用于說明其他實(shí)施方式的被處理體的回收處理的圖。
具體實(shí)施例方式下面，以對(duì)被收容于圖1所示的處理裝置的批量式熱處理爐的晶圓舟皿的半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行輸送(回收)的情況為例來說明本發(fā)明的被處理體的輸送方法、被處理體的輸送裝置以及程序的本實(shí)施方式。如圖1所示，本實(shí)施方式的處理裝置1的處理室10被分隔壁11劃分成作業(yè)區(qū)域 Si、加載區(qū)域S2。作業(yè)區(qū)域Sl是用于對(duì)收容了多張、例如25張半導(dǎo)體晶圓W的密閉型的輸送容器即承載件C進(jìn)行輸送、保管的區(qū)域，該區(qū)域被保持成大氣氣氛。另一方面，加載區(qū)域 S2是用于對(duì)半導(dǎo)體晶圓W進(jìn)行熱處理、例如成膜處理、氧化處理的區(qū)域，該區(qū)域被保持成非活性氣體、例如氮?dú)夥諊?br> 作業(yè)區(qū)域Sl包括加載部21、承載件輸送機(jī)22、轉(zhuǎn)移臺(tái)23、保管部24。加載部21載置從設(shè)置在處理室10的側(cè)方位置的輸送口 20被未圖示的外部的輸送機(jī)構(gòu)輸入的承載件C。在處理室10的與該輸送口 20相對(duì)應(yīng)的位置的外側(cè)，例如設(shè)置有門 D，輸送口 20利用門D而自由開閉。承載件輸送機(jī)22被設(shè)置在加載部21和轉(zhuǎn)移臺(tái)23之間，在作業(yè)區(qū)域Sl中輸送承載件C。承載件輸送機(jī)22包括支柱25、設(shè)置在支柱25的側(cè)面的水平臂沈。支柱25被沿鉛垂方向加長設(shè)置在處理室10內(nèi)。水平臂沈利用被設(shè)置在支柱25的下方側(cè)的電動(dòng)機(jī)M 能夠升降。例如在電動(dòng)機(jī)上組合有編碼器，根據(jù)該編碼器的編碼值檢測(cè)水平臂26的高度位置。另外，在水平臂沈上設(shè)置例如由關(guān)節(jié)臂構(gòu)成的輸送臂27，通過使水平臂沈升降而使輸送臂27進(jìn)行升降。輸送臂27利用未圖示的電動(dòng)機(jī)能夠沿水平方向移動(dòng)。這樣，水平臂沈通過使輸送臂27升降和水平移動(dòng)而能夠進(jìn)行承載件C的交接。轉(zhuǎn)移臺(tái)23被設(shè)置在分隔壁11的作業(yè)區(qū)域Sl側(cè)，載置由承載件輸送機(jī)22所輸送的承載件C。轉(zhuǎn)移臺(tái)23例如被安裝在上下2個(gè)地方。在轉(zhuǎn)移臺(tái)23上利用下述的移載機(jī)構(gòu) 42將半導(dǎo)體晶圓W從被載置的承載件C內(nèi)取出到加載區(qū)域S2。另外，轉(zhuǎn)移臺(tái)23的側(cè)方位
置的分隔壁11形成有開口。在分隔壁11的加載區(qū)域S2側(cè)設(shè)置有開閉器30，以便堵住該開□。保管部M被設(shè)置在作業(yè)區(qū)域Sl內(nèi)的上方側(cè)，用于保管承載件C。保管部M例如以縱4列、橫2列排列的形式被分組設(shè)置，該保管部M的組被隔著支柱25 (承載件C的輸送區(qū)域)地設(shè)置。在加載區(qū)域S2中配置有以下端作為爐口而開口的立式的處理部即熱處理爐40。 在熱處理爐40的下方側(cè)設(shè)置有用于保持多張半導(dǎo)體晶圓W的保持件即晶圓舟皿41，該晶圓舟皿41利用未圖示的升降機(jī)構(gòu)可自由升降。在晶圓舟皿41中配置有用于檢測(cè)被收容的半導(dǎo)體晶圓W的收容的有無、收納位置的晶圓位置傳感器，例如一對(duì)光電傳感器。在晶圓舟皿41和分隔壁11之間設(shè)置有移載機(jī)構(gòu)42。移載機(jī)構(gòu)42在被載置于轉(zhuǎn)移臺(tái)23的承載件C和晶圓舟皿41之間進(jìn)行半導(dǎo)體晶圓W的交接。另外，移載機(jī)構(gòu)42的將例如能夠?qū)⒍鄰埌雽?dǎo)體晶圓W —次性地移載的臂43可自由進(jìn)退地設(shè)置。移載機(jī)構(gòu)42構(gòu)成為利用未圖示的電動(dòng)機(jī)繞鉛垂軸線自由旋轉(zhuǎn)、沿升降軸44自由升降。在處理裝置1的處理室10中配置有各種傳感器。例如，在熱處理爐40中配置有多個(gè)用于測(cè)量熱處理爐40內(nèi)的溫度的溫度傳感器、測(cè)量熱處理爐40內(nèi)的壓力的壓力傳感器。另外，在各種電動(dòng)機(jī)、缸體上配置有檢測(cè)電動(dòng)機(jī)位置、缸體位置的限位傳感器、基準(zhǔn)位置傳感器等位置傳感器。另外，處理裝置1與用于控制該裝置各部分的控制部100相連接。在圖2中表示控制部100的結(jié)構(gòu)。如圖2所示，控制部100連接有操作面板121、光電傳感器等各種傳感器122等?？刂撇?00根據(jù)來自光電傳感器等各種傳感器122的數(shù)據(jù)例如向移載機(jī)構(gòu)42、 水平臂沈等輸出控制信號(hào)。操作面板121具有顯示部(顯示畫面)和操作按鈕，將操作者的操作指令向控制部100傳遞，或者將來自控制部100的各種各樣的信息顯示在顯示畫面上。光電傳感器等各種傳感器122檢測(cè)半導(dǎo)體晶圓W的位置等并將檢測(cè)到的信息(位置等)向控制部100報(bào)
生
1=1 O
如圖2所示，控制部100由異常信息存儲(chǔ)部101、制程程序存儲(chǔ)部102、R0M103、 RAM104、I/0接口 105、CPU(中央處理器)106、將這些互相連接的總線107所構(gòu)成。在異常信息存儲(chǔ)部101中存儲(chǔ)有與半導(dǎo)體晶圓W的異常相關(guān)的異常信息。在異常信息存儲(chǔ)部101中，如圖3所示，存儲(chǔ)有例如與異常信息編號(hào)、異常位置、異常信息的種類、 跳過位置、回收處理等相關(guān)的信息。在此，所謂的異常位置是指晶圓舟皿41內(nèi)的收容有被檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓W的位置。異常信息的種類有晶圓偏移、晶圓重疊、晶圓傾斜等。 所謂的跳過位置是指在自動(dòng)回收未被檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓W時(shí)，將半導(dǎo)體晶圓W的回收越過(跳過)的位置。在本實(shí)施方式中，不論異常信息的種類如何都將異常位置士1作為跳過位置。所謂的回收處理是指被檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓W的回收方法，存在利用移載機(jī)構(gòu)42自動(dòng)地回收半導(dǎo)體晶圓W的自動(dòng)回收、操作者手動(dòng)操作移載機(jī)構(gòu)42來回收半導(dǎo)體晶圓W的手動(dòng)回收。在制程程序存儲(chǔ)部102中存儲(chǔ)有按照在該處理裝置1執(zhí)行的處理的種類來決定控制過程的工藝用制程程序。工藝用制程程序是用戶為每次實(shí)際上進(jìn)行的處理(工藝)所準(zhǔn)備的制程程序。該制程程序中包含裝置各部分的規(guī)定的動(dòng)作程序。R0M103由E EPR0M、閃存存儲(chǔ)器、硬盤等構(gòu)成，是存儲(chǔ)CPU106的動(dòng)作程序等的存儲(chǔ)介質(zhì)。RAM104作為CPU106的工作區(qū)域等而起作用。I/O接口 105例如在向CPU106提供來自傳感器的信息的同時(shí)，向裝置的各部分輸出CPU106所輸出的控制信號(hào)。CPU (中央處理器)106構(gòu)成控制部100的中樞而執(zhí)行被存儲(chǔ)在R0M103中的動(dòng)作程序。另外，CPU106按照來自操作面板121的指令，按照被存儲(chǔ)在制程程序存儲(chǔ)部102的工藝用制程程序來控制處理裝置1的動(dòng)作。總線107在各部分之間傳遞信息。下面說明被處理體的輸送方法(回收處理)。在本發(fā)明的被處理體的輸送方法中， 在從晶圓舟皿41輸送(回收)半導(dǎo)體晶圓W之前，確認(rèn)被收納于晶圓舟皿41的半導(dǎo)體晶圓W是否有異常，在被檢測(cè)到異常的情況下，跳過被檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓W的回收而自動(dòng)回收未被檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓W。圖4是用于說明回收處理的流程圖。另外，圖5是用于說明回收處理的圖，是表示被收納于晶圓舟皿41的半導(dǎo)體晶圓W的狀態(tài)的圖。首先，控制部100(CPU106)判別被收納在晶圓舟皿41中的半導(dǎo)體晶圓W的處理是否已經(jīng)結(jié)束(步驟Si)。CPU106判別為半導(dǎo)體晶圓W的處理已經(jīng)結(jié)束時(shí)(步驟Sl =Yes)， 則判別被收容在晶圓舟皿41中的半導(dǎo)體晶圓W是否有異常(步驟S2)。具體地說，CPU106 根據(jù)來自被配置于晶圓舟皿41的一對(duì)光電傳感器的信息來確認(rèn)半導(dǎo)體晶圓W的收容的有無、收納位置，從而判別被收納在晶圓舟皿41中的半導(dǎo)體晶圓W是否有異常。CPU106判別為半導(dǎo)體晶圓W沒有異常時(shí)(步驟S2 =No)，則進(jìn)入步驟S5。CPU106判斷半導(dǎo)體晶圓W有異常時(shí)(步驟S2 :Yes)，則確定收容有被判別為有異常的半導(dǎo)體晶圓W的晶圓舟皿41內(nèi)的位置(異常位置)、異常的種類(步驟S3)。隨后， CPU106決定在自動(dòng)回收未被檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓W時(shí)將半導(dǎo)體晶圓W的回收越過的跳過位置(步驟S4)。由此，決定未被檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓W的自動(dòng)回收的位置。然后， CPU106控制移載機(jī)構(gòu)42使移載機(jī)構(gòu)42跳過被收容在跳過位置的半導(dǎo)體晶圓W的回收而實(shí)施未被檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓W的自動(dòng)回收(步驟S5)。例如，如圖5的(a)所示，在晶圓舟皿41內(nèi)的位置“ 12”的半導(dǎo)體晶圓W是“錯(cuò)位”、 位置“26 31”的半導(dǎo)體晶圓W是“晶圓傾斜”的情況下，在未被檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓
6W的自動(dòng)回收時(shí)將半導(dǎo)體晶圓W的回收越過的跳過位置是“11 13" ”、“25 32”。CPU106 控制移載機(jī)構(gòu)42使移載機(jī)構(gòu)42跳過被收容在跳過位置“11 13”、“25 32”的半導(dǎo)體晶圓W的回收，如圖5的(b)所示，實(shí)施未被檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓W的自動(dòng)回收。隨后，CPU106判別在晶圓舟皿41內(nèi)是否殘存有半導(dǎo)體晶圓W(步驟S6)。CPU106 判別為在晶圓舟皿41內(nèi)沒有殘存半導(dǎo)體晶圓W時(shí)(步驟S6 :No)，則結(jié)束該處理。CPU106判別在晶圓舟皿41內(nèi)殘存有半導(dǎo)體晶圓W時(shí)(步驟S6 =Yes)，則判別是否有能夠自動(dòng)回收的半導(dǎo)體晶圓W(步驟S7)。CPU106判別為沒有能夠自動(dòng)回收的半導(dǎo)體晶圓W時(shí)(步驟S7 =No)，則進(jìn)入步驟SlO。CPU106判別為有能夠自動(dòng)回收的半導(dǎo)體晶圓W時(shí)(步驟S7 :Yes)，則實(shí)施能夠自動(dòng)回收的半導(dǎo)體晶圓W的自動(dòng)回收(步驟S8)。例如被收容在晶圓舟皿41內(nèi)的位置“12” 的半導(dǎo)體晶圓W的異常的種類是“錯(cuò)位”，如圖3所示，能夠自動(dòng)回收。因此，如圖5的(c) 所示，CPU106實(shí)施被收容在能夠自動(dòng)回收的跳過位置“11 13”的半導(dǎo)體晶圓W的自動(dòng)回收。隨后，CPU106判別在晶圓舟皿41內(nèi)是否殘存有半導(dǎo)體晶圓W(步驟S9)。CPU106 判別為在晶圓舟皿41內(nèi)沒有殘存半導(dǎo)體晶圓W時(shí)(步驟S9 :No)，則結(jié)束該處理。CPU106判別為在晶圓舟皿41內(nèi)殘存有半導(dǎo)體晶圓W時(shí)(步驟S9 =Yes)，則實(shí)施殘存的半導(dǎo)體晶圓W的手動(dòng)回收(步驟S10)，而結(jié)束該處理。如上面說明所述，采用本實(shí)施方式，因?yàn)樘^被收容在跳過位置的半導(dǎo)體晶圓W 的回收而實(shí)施未被檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓W的自動(dòng)回收，所以能夠簡單且快速地輸送未被檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓W。另外，采用本實(shí)施方式，即使是被檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓W，因?yàn)閷?duì)于能夠自動(dòng)回收的半導(dǎo)體晶圓W實(shí)施自動(dòng)回收，所以能夠使半導(dǎo)體晶圓W的回收簡單化。另外，本發(fā)明不限定于上述的實(shí)施方式，能夠進(jìn)行各種變形、應(yīng)用。下面說明能夠應(yīng)用于本發(fā)明的其他的實(shí)施方式。在上述的實(shí)施方式中，根據(jù)被檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓W的異常的種類來決定是否能夠自動(dòng)回收，但是，例如也可以將回收方法變更為根據(jù)目視對(duì)能夠自動(dòng)回收的半導(dǎo)體晶圓W進(jìn)行自動(dòng)回收。圖6表示說明能夠變更回收方法的回收處理的流程圖。首先，與上述實(shí)施方式同樣，CPU106實(shí)施步驟從Sl到步驟S9的處理。S卩，CPU106 判別被收納在晶圓舟皿41中的半導(dǎo)體晶圓W的處理是否已經(jīng)結(jié)束(步驟Si)、判別為半導(dǎo)體晶圓W的處理已經(jīng)結(jié)束時(shí)(步驟Sl :Yes)，則判別被收容在晶圓舟皿41中的半導(dǎo)體晶圓 W是否有異常(步驟S2)。隨后，CPU106判別為半導(dǎo)體晶圓W有異常時(shí)(步驟S2:Yes)，則確定異常位置、異常的種類(步驟S3)、決定跳過位置(步驟S4)。然后，CPU106控制移載機(jī)構(gòu)42使移載機(jī)構(gòu)42跳過被收容在跳過位置的半導(dǎo)體晶圓W的回收而實(shí)施未被檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓W的自動(dòng)回收(步驟S5)。隨后，CPU106判別在晶圓舟皿41內(nèi)是否殘存有半導(dǎo)體晶圓W(步驟S6)，判別為在晶圓舟皿41內(nèi)殘存有半導(dǎo)體晶圓W時(shí)(步驟S6 =Yes), 則判別是否有能夠自動(dòng)回收的半導(dǎo)體晶圓W(步驟S7)。CPU106判別為有能夠自動(dòng)回收的半導(dǎo)體晶圓W時(shí)(步驟S7 :Yes)，則實(shí)施能夠自動(dòng)回收的半導(dǎo)體晶圓W的自動(dòng)回收(步驟 S8)。然后，CPU106判別在晶圓舟皿41內(nèi)是否殘存有半導(dǎo)體晶圓W(步驟S9)。CPU106判別為在晶圓舟皿41內(nèi)殘存有半導(dǎo)體晶圓W時(shí)(步驟S9 =Yes)，則如圖7 (a)所示那樣在操作面板121的顯示部123 (顯示畫面)，顯示異常信息(步驟Sll)。處理裝置1的操作者如果根據(jù)目視判斷有能夠自動(dòng)回收的半導(dǎo)體晶圓W，則在按 “修正”按鈕后，例如，如圖7的(b)所示，將跳過位置“25 32”變更為“27 32”。然后， 處理裝置1的操作者按“發(fā)送”按鈕，向CPU106發(fā)送變更后的異常信息。由此，如圖7的 (c)所示，跳過位置“25 沈”的回收方法變成自動(dòng)回收，跳過位置“27 32”的回收方法變成手動(dòng)回收。另外，處理裝置1的操作者在根據(jù)目視判斷沒有能夠自動(dòng)回收的半導(dǎo)體晶圓W的情況下，不做修正而按“發(fā)送”按鈕向CPU106發(fā)送異常信息。然后，CPU106判別是否接收到異常信息(步驟S12)。CPU106判別為接收到異常信息時(shí)(步驟S12:Yes)，則判別是否有自動(dòng)回收(步驟S13)。CPU106判別為沒有自動(dòng)回收時(shí)(步驟S13 =No)，則進(jìn)入步驟SlO。CPU106判斷為有自動(dòng)回收時(shí)(步驟S13 :Yes)，則控制移載機(jī)構(gòu)42來實(shí)施被設(shè)定為自動(dòng)回收的半導(dǎo)體晶圓W的自動(dòng)回收(步驟S14)。例如CPU106從圖8的(a)所示的位置“25 32”的半導(dǎo)體晶圓W殘存的狀態(tài)開始，實(shí)施被收容在能夠自動(dòng)回收的位置“25 26"的半導(dǎo)體晶圓W的自動(dòng)回收，如圖8的(b)所示，形成位置“27 32”的半導(dǎo)體晶圓W 殘存的狀態(tài)。然后，CPU106實(shí)施殘存的半導(dǎo)體晶圓W的手動(dòng)回收(步驟S10)，結(jié)束該處理。 由此，能夠?qū)嵤┡c實(shí)際的異常的狀態(tài)相對(duì)應(yīng)的處理。另外，也可以不實(shí)施步驟S7 S9，而實(shí)施未檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓W的自動(dòng)回收(步驟S5)，判別為晶圓舟皿41內(nèi)殘存有半導(dǎo)體晶圓W時(shí)(步驟S6 :Yes)，也可以在操作面板121的顯示部123顯示異常信息(步驟S10)。在這樣的情況下，也能夠?qū)嵤┡c實(shí)際的異常的狀態(tài)相對(duì)應(yīng)的處理。在上述的實(shí)施方式中，無論被檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓W的異常的種類如何都將異常位置士 1作為跳過位置，但是，也可以根據(jù)異常的種類變更跳過位置，例如在異常的種類是晶圓傾斜的情況下將異常位置士2作為跳過位置。在上述的實(shí)施方式中，以處理體是半導(dǎo)體晶圓W的情況為例說明了本發(fā)明，但是， 也能夠應(yīng)用于例如FPD基板、玻璃基板、PDP基板等的處理。本發(fā)明的實(shí)施方式的控制部100不依賴專用的系統(tǒng)，能夠用普通的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)。例如，可以通過從存儲(chǔ)有用于執(zhí)行上述的處理的程序的存儲(chǔ)介質(zhì)(軟盤、CD-ROM等)將該程序安裝到通用計(jì)算機(jī)中而構(gòu)成執(zhí)行上述的處理的控制部100。另外，用于提供這些程序的方法是任意的。除了可以利用上述的規(guī)定的存儲(chǔ)介質(zhì)進(jìn)行提供之外，也可以利用例如通信線路、通信網(wǎng)絡(luò)、通信系統(tǒng)等進(jìn)行提供。在這種情況下， 例如也可以在通信網(wǎng)絡(luò)的公告板(BBS)公告該程序，利用網(wǎng)絡(luò)將該程序疊加于輸送波進(jìn)行提供。然后，起動(dòng)這樣被提供的程序，在OS的控制下，通過與其他的應(yīng)用程序同樣地執(zhí)行從而能夠執(zhí)行上述的處理。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明適用于被處理體的輸送方法、被處理體的輸送裝置。
權(quán)利要求
1.一種被處理體的輸送方法，其特征在于， 其包括異常判別工序，根據(jù)來自被配置于處理裝置的傳感器的信息，判別被收納于該處理裝置的被處理體是否有異常；異常確定工序，對(duì)在上述異常判別工序中被判別為有異常的被處理體的收容位置和異常的種類進(jìn)行確定；跳過位置決定工序，根據(jù)在上述異常確定工序中被確定的被處理體的收容位置和異常的種類來決定跳過位置；自動(dòng)輸送工序，跳過被收容于在上述跳過位置決定工序中被決定的跳過位置的被處理體的輸送，自動(dòng)輸送未被檢測(cè)到異常的被處理體。
2.根據(jù)上述權(quán)利要求1所述的被處理體的輸送方法，其特征在于， 其還具有被處理體確定工序，在上述自動(dòng)輸送工序之后，從被檢測(cè)到上述異常的被處理體中確定能夠自動(dòng)輸送的被處理體；被處理體自動(dòng)輸送工序，自動(dòng)輸送在上述被處理體確定工序中被確定的被處理體。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的被處理體的輸送方法，其特征在于，在上述被處理體確定工序中，根據(jù)被檢測(cè)到上述異常的被處理體的異常的種類來確定能夠自動(dòng)輸送的被處理體。
4.根據(jù)上述權(quán)利要求2所述的被處理體的輸送方法，其特征在于， 在上述被處理體確定工程中還包括顯示工序，顯示在上述跳過位置決定工序中被決定的跳過位置； 接收工序，對(duì)與在上述顯示工序中被顯示的跳過位置的變更相關(guān)的信息進(jìn)行接收； 確定工序，根據(jù)在上述接收工序中接收到的與跳過位置的變更相關(guān)的信息，確定進(jìn)行自動(dòng)輸送的被處理體。
5.根據(jù)權(quán)利要求2 4的任意一項(xiàng)所述的被處理體的輸送方法，其特征在于， 還具有在上述被處理體自動(dòng)輸送工序之后手動(dòng)輸送上述處理裝置內(nèi)殘存的被處理體的手動(dòng)輸送工序。
6.一種被處理體的輸送裝置，其特征在于， 其包括異常判別部件，其用于根據(jù)來自被配置于處理裝置的傳感器的信息，判別被收納于該處理裝置的被處理體是否有異常；異常確定部件，其用于對(duì)被上述異常判別部件判別為有異常的被處理體的收容位置和異常的種類進(jìn)行確定；跳過位置決定部件，其用于根據(jù)被上述異常確定部件確定的被處理體的收容位置和異常的種類來決定跳過位置；自動(dòng)輸送部件，其用于跳過被收容于由上述跳過位置決定部件決定的跳過位置的被處理體的輸送，自動(dòng)輸送未被檢測(cè)到異常的被處理體。
全文摘要
本發(fā)明提供一種被處理體的輸送方法和被處理體的輸送裝置，其能夠簡單且快速地輸送未被檢測(cè)到異常的被處理體。被收納于晶圓舟皿的半導(dǎo)體晶圓有異常時(shí)(步驟S2Yes)，確定異常位置和異常的種類(步驟S3)，決定跳過位置(步驟S4)。隨后，跳過被收容于跳過位置的半導(dǎo)體晶圓的回收，實(shí)施未被檢測(cè)到異常的半導(dǎo)體晶圓(W)的自動(dòng)回收(步驟S5)。然后，晶圓舟皿中殘存有半導(dǎo)體晶圓(步驟S6Yes)，且有能夠自動(dòng)回收的半導(dǎo)體晶圓時(shí)(步驟S7Yes)，則實(shí)施能夠自動(dòng)回收的半導(dǎo)體晶圓的自動(dòng)回收(步驟S8)。然后，實(shí)施所殘存的半導(dǎo)體晶圓的手動(dòng)回收(步驟S10)。
文檔編號(hào)H01L21/00GK102244025SQ20111012023
公開日2011年11月16日 申請(qǐng)日期2011年5月10日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月11日
發(fā)明者遠(yuǎn)洞征樹 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社