專利名稱：一種工藝終點(diǎn)控制方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及工藝終點(diǎn)控制技術(shù)，特別涉及一種較小暴露面積(Low OpenArea)工藝中的終點(diǎn)控制方法和裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體工藝處理過(guò)程中，需要在硅片(Wafer)上加工出極細(xì)微尺寸的圖形。而這些圖形的形成方式，就是采用光刻技術(shù)將掩膜板上的電路圖形轉(zhuǎn)移到覆蓋于硅片表面的光刻膠上，再采用刻蝕技術(shù)，在硅片上沒(méi)有光刻膠(電路圖形)保護(hù)的區(qū)域留下永久的圖形。在刻蝕過(guò)程中，對(duì)于刻蝕深度有著嚴(yán)格的要求，如果刻蝕深度不足或過(guò)度，都會(huì)對(duì)工藝結(jié)果造成嚴(yán)重影響。而刻蝕深度與工藝步驟進(jìn)行的時(shí)間有關(guān)，所以要控制刻蝕深度，就要控制各步驟的終點(diǎn)時(shí)間，即要進(jìn)行工藝的終點(diǎn)控制(EPD，End Point Detection) 0終點(diǎn)控制是半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)中的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。近年來(lái)，隨著半導(dǎo)體設(shè)計(jì)與制造技術(shù)的快速發(fā)展，該技術(shù)也變得愈加重要。終點(diǎn)控制的基本原理是刻蝕材料以及刻蝕氣體中的元素在刻蝕過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生發(fā)射光譜，不同的元素具有不同波長(zhǎng)(頻率)的發(fā)射光譜，在刻蝕過(guò)程中，各元素對(duì)應(yīng)的發(fā)射光譜隨包含該元素的反應(yīng)物或生成物的量進(jìn)行變化。反應(yīng)物或生成物的量越多，元素的發(fā)射光譜的強(qiáng)度越強(qiáng)，反之，元素的發(fā)射光譜的強(qiáng)度就越弱。 當(dāng)工藝進(jìn)行步驟切換時(shí)，即終止一個(gè)步驟并開(kāi)始一個(gè)新的步驟時(shí)，由于所使用的刻蝕氣體以及刻蝕材料的不同，刻蝕過(guò)程中的一些主要元素，比如硅、碳、氟、氯等的發(fā)射光譜會(huì)發(fā)生明顯的變化。終點(diǎn)控制軟件通過(guò)對(duì)這些元素中的一個(gè)或多個(gè)的光譜信號(hào)進(jìn)行數(shù)學(xué)分析，即可準(zhǔn)確地找出工藝終點(diǎn)時(shí)間?，F(xiàn)有用于終點(diǎn)控制的方法主要包括閾值(Threshold)方法以及差分/斜率 (Slope)方法。Threshold方法的基本思想是設(shè)置一觸發(fā)閾值(Trigger Percent)以及滿意時(shí)間(Satisfaction Time) Δ t，若某一時(shí)刻tl光譜信號(hào)的變化量小于設(shè)置的 TriggerPercent,并且tl之后的&itisfaction Time內(nèi)所有時(shí)間點(diǎn)對(duì)應(yīng)的光譜信號(hào)的變化量均小于Trigger Percent，則確定工藝的終點(diǎn)時(shí)間為tl+At。圖1為現(xiàn)有Threshold方法的實(shí)現(xiàn)原理圖，具體步驟如下步驟1 對(duì)工藝光譜信號(hào)進(jìn)行濾波及延時(shí)(Delay)處理，為該光譜信號(hào)設(shè)置一規(guī)范時(shí)間(Normalize Time)，計(jì)算位于Normalize Time內(nèi)的各時(shí)間點(diǎn)對(duì)應(yīng)的光譜信號(hào)的平均強(qiáng)度E，即對(duì)各時(shí)間點(diǎn)對(duì)應(yīng)的光譜信號(hào)強(qiáng)度進(jìn)行相加并求平均。由于位于時(shí)間點(diǎn)初期的光譜信號(hào)波動(dòng)較大，所以在實(shí)際應(yīng)用中，可以先對(duì)光譜信號(hào)進(jìn)行Delay處理，等信號(hào)平穩(wěn)后再進(jìn)行后續(xù)處理。本步驟中的NormalizeTime的具體取值可根據(jù)實(shí)際需要或根據(jù)經(jīng)驗(yàn)設(shè)置。步驟2 從Normalize Time之后的時(shí)間點(diǎn)開(kāi)始，搜索滿足Trigger Percent的第一個(gè)信號(hào)點(diǎn)S。
4
本步驟中的Trigger Percent為預(yù)先設(shè)置，其具體取值可根據(jù)實(shí)際需要或根據(jù)經(jīng)驗(yàn)設(shè)置。搜索滿足Trigger Percent的第一個(gè)信號(hào)點(diǎn)S，即指從Normalize Time之后的第一個(gè)時(shí)間點(diǎn)開(kāi)始，判斷哪個(gè)時(shí)間點(diǎn)上的光譜信號(hào)強(qiáng)度與E的差值小于預(yù)先設(shè)置的Trigger Percent,如果是，則確定該光譜信號(hào)為所需的信號(hào)點(diǎn)S。當(dāng)然，本步驟中判斷哪個(gè)時(shí)間點(diǎn)上的光譜信號(hào)強(qiáng)度與E的差值小于預(yù)先設(shè)置的 Trigger Percent，只是一種可用的判斷光譜信號(hào)是否滿足"Trigger Percent的方式，在實(shí)際應(yīng)用中，還可以采用其它方式，比如，判斷哪個(gè)時(shí)間點(diǎn)上的光譜信號(hào)強(qiáng)度與E的差值絕對(duì)值小于預(yù)先設(shè)置的Trigger Percent ；判斷哪個(gè)時(shí)間點(diǎn)上的光譜信號(hào)強(qiáng)度與E求差值后的結(jié)果與E的比值小于預(yù)先設(shè)置的TriggerPercent ；判斷哪個(gè)時(shí)間點(diǎn)上的光譜信號(hào)強(qiáng)度與E 求差值絕對(duì)值后的結(jié)果與E的比值小于預(yù)先設(shè)置的Trigger Percent等。步驟3 在確定出的第一信號(hào)點(diǎn)S對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)之后緊接著設(shè)置一 Mtisfaction Time，若&itisfaction Time內(nèi)所有時(shí)間點(diǎn)上的光譜信號(hào)均滿足iTriggerPercent,則確定第一個(gè)信號(hào)點(diǎn)S對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)加上Mtisfaction Time之后得到的時(shí)間點(diǎn)為工藝的終點(diǎn)時(shí)間。本步驟中的Mtisfaction Time為預(yù)先設(shè)置，其具體取值可根據(jù)實(shí)際需要或根據(jù)經(jīng)驗(yàn)設(shè)置。這里所提到的Mtisfaction Time內(nèi)所有時(shí)間點(diǎn)上的光譜信號(hào)均滿足Trigger Percent,是指Mtisfaction Time內(nèi)所有時(shí)間點(diǎn)上的光譜信號(hào)強(qiáng)度與E的差值，或差值絕對(duì)值，或所述差值或差值絕對(duì)值與E的比值均小于預(yù)先設(shè)置的Trigger Percent.如果Mtisfaction Time內(nèi)所有時(shí)間點(diǎn)上的光譜信號(hào)不完全滿足 TriggerPercent,即至少有一個(gè)光譜信號(hào)不滿足TriggerPercent，則重新搜索時(shí)間點(diǎn)S，即重復(fù)執(zhí)行步驟2，不再贅述。對(duì)于一般的工藝，如，對(duì)于硅片的Open Area大于50%的工藝來(lái)說(shuō)，由于硅片的 Open Area比較大，在刻蝕過(guò)程中，一些主要元素的反應(yīng)物或生成物的量比較多，各主要元素的發(fā)射光譜的強(qiáng)度都比較大，所以光譜信號(hào)的變化比較明顯，終點(diǎn)控制過(guò)程中能夠很容易地通過(guò)光譜信號(hào)變化的大小和趨勢(shì)來(lái)確定工藝終點(diǎn)時(shí)間。其中，Open Area是指可刻蝕區(qū)域面積與硅片的總面積的比值。但是，對(duì)于一些Low Open Area的復(fù)雜工藝，由于工藝過(guò)程中一些主要元素的反應(yīng)物或生成物的量都很小，相應(yīng)地，各元素發(fā)射光譜的信號(hào)強(qiáng)度也都比較小，信號(hào)變化也不明顯，所以，如果仍然采用Threshold方法進(jìn)行終點(diǎn)控制，會(huì)很難準(zhǔn)確確定終點(diǎn)時(shí)間。現(xiàn)有技術(shù)中還提供了另外一種終點(diǎn)控制方法，Slope方法，具體實(shí)現(xiàn)如下步驟1 對(duì)工藝光譜信號(hào)進(jìn)行濾波及Delay處理，為該光譜信號(hào)設(shè)置一差分閾值 (Sc, Slope Count)以及一差分時(shí)間(ST, Slope Time)。Slope Count以及Slope Time的具體取值可根據(jù)實(shí)際需要或根據(jù)經(jīng)驗(yàn)設(shè)置。步驟2 計(jì)算第i點(diǎn)光譜信號(hào)的差分，具體計(jì)算方式為Ds (i) = Es (i) -Es (i-1) = Slopes (i) X Δ Τ。其中，Ds(i)表示第i點(diǎn)光譜信號(hào)的差分；Es(i)表示第i點(diǎn)光譜信號(hào)強(qiáng)度；Es(i_l) 表示第i-Ι點(diǎn)，即第i點(diǎn)之前的時(shí)間點(diǎn)上的光譜信號(hào)強(qiáng)度；Slopes (i)表示第i點(diǎn)光譜信號(hào)的斜率；ΔΤ表示采樣周期。原則上，在計(jì)算光譜信號(hào)的差分時(shí)，i的取值從時(shí)間點(diǎn)的起始位置開(kāi)始，但在實(shí)際
5應(yīng)用中，由于根據(jù)經(jīng)驗(yàn)可知時(shí)間點(diǎn)的起始位置不可能為工藝的終點(diǎn)時(shí)間，所以通常將i的初始取值設(shè)置為30左右。步驟3，則將第i點(diǎn)光譜信號(hào)稱為觸發(fā)信號(hào)(Trigger Signal)，在接下來(lái)的Slope Time時(shí)間內(nèi)，若所有的光譜信號(hào)均滿足Ds (k e ST) ( S。，則工藝的終點(diǎn)時(shí)間等于Trigger Signal對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)加上Slope Time時(shí)間后對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)；反之，若Slope Time時(shí)間內(nèi)有光譜信號(hào)不滿足Ds (k e St)彡&，則需重新搜索Trigger Signal，即重復(fù)執(zhí)行步驟2，不再贅述。與Threshold方法一樣，Slope方法也只適用于硅片的Open Area比較大的工藝， 對(duì)于一些Low Open Area的復(fù)雜工藝，采用Slope方法很難準(zhǔn)確確定終點(diǎn)時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實(shí)施例提供一種工藝終點(diǎn)控制方法，能夠準(zhǔn)確方便地確定出LowOpen Area 工藝中的終點(diǎn)時(shí)間。本發(fā)明實(shí)施例提供一種工藝終點(diǎn)控制裝置，能夠準(zhǔn)確方便地確定出LowOpen Area 工藝中的終點(diǎn)時(shí)間。本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的一種工藝終點(diǎn)控制方法，該方法包括搜索光譜信號(hào)中的波峰或平地，將所述搜到的波峰或平地作為拐點(diǎn)；所述波峰是指在其左右兩側(cè)連續(xù)一個(gè)以上的光譜信號(hào)強(qiáng)度均小于其自身強(qiáng)度的光譜信號(hào)；所述平地是指在其左側(cè)連續(xù)一個(gè)以上的光譜信號(hào)強(qiáng)度均小于其自身強(qiáng)度，且其右側(cè)連續(xù)一個(gè)以上的光譜信號(hào)強(qiáng)度只作符合要求的小幅波動(dòng)的光譜信號(hào)； 根據(jù)所述搜索到的拐點(diǎn)，得到所述光譜信號(hào)的工藝終點(diǎn)時(shí)間。所述搜索光譜信號(hào)中的波峰或平地之前，進(jìn)一步包括對(duì)所述光譜信號(hào)進(jìn)行濾波以及延時(shí)處理。所述根據(jù)搜索到的拐點(diǎn)，得到所述光譜信號(hào)的工藝終點(diǎn)時(shí)間包括當(dāng)所述搜索到的拐點(diǎn)為波峰時(shí)，緊鄰所述拐點(diǎn)對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)之后設(shè)置一滿意時(shí)間；判斷所述滿意時(shí)間內(nèi)各時(shí)間點(diǎn)對(duì)應(yīng)的光譜信號(hào)強(qiáng)度是否均小于所述拐點(diǎn)的強(qiáng)度， 如果是，則將所述拐點(diǎn)對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)加上所述滿意時(shí)間后對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)作為所述光譜信號(hào)的工藝終點(diǎn)時(shí)間；當(dāng)所述搜索到拐點(diǎn)為平地時(shí)，緊鄰所述拐點(diǎn)對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)之后設(shè)置一滿意時(shí)間；判斷所述滿意時(shí)間內(nèi)各時(shí)間點(diǎn)對(duì)應(yīng)的光譜信號(hào)強(qiáng)度是否均作符合要求的小幅波動(dòng)，如果是，則將所述拐點(diǎn)對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)加上所述滿意時(shí)間后對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)作為所述光譜信號(hào)的工藝終點(diǎn)時(shí)間。所述根據(jù)搜索到的拐點(diǎn)，得到所述光譜信號(hào)的工藝終點(diǎn)時(shí)間包括對(duì)所述拐點(diǎn)前后兩端的光譜信號(hào)分別采用不同的信號(hào)變換方式進(jìn)行處理，使得所述拐點(diǎn)前端的光譜信號(hào)強(qiáng)度作符合要求的小幅波動(dòng)，所述拐點(diǎn)后端的光譜信號(hào)強(qiáng)度呈明顯下降趨勢(shì)；按照閾值或差分方法得到所述光譜信號(hào)的工藝終點(diǎn)時(shí)間。
所述對(duì)拐點(diǎn)前后兩端的光譜信號(hào)分別采用不同的信號(hào)變換方式進(jìn)行處理包括對(duì)所述拐點(diǎn)前端的每個(gè)光譜信號(hào)i按照以下方式進(jìn)行處理求取拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值與拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值的差值，以及變換前光譜信號(hào)i的強(qiáng)度與所述拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值的差值；求取所述變換前光譜信號(hào)i的強(qiáng)度與所述拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值的差值與所述拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值與拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值的差值的商；求取所述商與拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的標(biāo)準(zhǔn)差及預(yù)先設(shè)定的系數(shù)m的乘積；求取拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的平均值與所述乘積的和；對(duì)所述拐點(diǎn)后端的每個(gè)光譜信號(hào)j按照以下方式進(jìn)行處理求取拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值與拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值的差值，以及所述拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值與變換前光譜信號(hào)j的強(qiáng)度的差值；求取所述拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值與變換前光譜信號(hào)j的強(qiáng)度的差值與所述拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值與拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值的差值的商；求取所述商與拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的標(biāo)準(zhǔn)差及預(yù)先設(shè)定的系數(shù)η的乘積；求取拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的平均值與所述乘積的差。一種工藝終點(diǎn)控制裝置，包括搜索單元以及確定單元；所述搜索單元，用于搜索光譜信號(hào)中的波峰或平地，將所述搜索到的波峰或平地作為拐點(diǎn)；所述波峰是指在其左右兩側(cè)連續(xù)一個(gè)以上的光譜信號(hào)強(qiáng)度均小于其自身強(qiáng)度的光譜信號(hào)；所述平地是指在其左側(cè)連續(xù)一個(gè)以上的光譜信號(hào)強(qiáng)度均小于其自身強(qiáng)度，且其右側(cè)連續(xù)一個(gè)以上的光譜信號(hào)強(qiáng)度只作符合要求的小幅波動(dòng)的光譜信號(hào)；所述確定單元，用于根據(jù)所述搜索單元搜索到的拐點(diǎn)，得到所述光譜信號(hào)的工藝終點(diǎn)時(shí)間。該裝置中進(jìn)一步包括處理單元，用于對(duì)所述光譜信號(hào)進(jìn)行濾波以及延時(shí)處理，并將所述經(jīng)濾波及延時(shí)處理后的光譜信號(hào)發(fā)送給所述搜索單元。所述搜索單元中進(jìn)一步包括波峰搜索子單元以及平地搜索子單元；所述波峰搜索子單元，用于搜索光譜信號(hào)中的波峰，將所述搜索到的波峰作為拐點(diǎn) 所述平地搜索子單元，用于搜索光譜信號(hào)中的平地，將所述搜索到的平地作為拐點(diǎn)ο所述確定單元中進(jìn)一步包括設(shè)置子單元以及判斷子單元；所述設(shè)置子單元，用于在緊鄰所述拐點(diǎn)對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)之后設(shè)置一滿意時(shí)間；所述判斷子單元，用于判斷所述滿意時(shí)間內(nèi)各時(shí)間點(diǎn)對(duì)應(yīng)的光譜信號(hào)強(qiáng)度是否均小于所述拐點(diǎn)的強(qiáng)度，如果是，則將所述拐點(diǎn)對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)加上所述滿意時(shí)間后對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)作為所述光譜信號(hào)的工藝終點(diǎn)時(shí)間；或者，判斷所述滿意時(shí)間內(nèi)各時(shí)間點(diǎn)對(duì)應(yīng)的光譜信號(hào)強(qiáng)度是否均作符合要求的小幅波動(dòng)，如果是，則將所述拐點(diǎn)對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)加上所述滿意時(shí)間后對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)作為所述光譜信號(hào)的工藝終點(diǎn)時(shí)間。
所述確定單元中進(jìn)一步包括信號(hào)變換子單元以及確定子單元；所述信號(hào)變換子單元，用于對(duì)所述拐點(diǎn)前后兩端的光譜信號(hào)分別采用不同的信號(hào)變換方式進(jìn)行處理，使得所述拐點(diǎn)前端的光譜信號(hào)強(qiáng)度作符合要求的小幅波動(dòng)，所述拐點(diǎn)后端的光譜信號(hào)強(qiáng)度呈明顯下降趨勢(shì)；所述確定子單元，用于按照閾值方法或差分方法得到所述光譜信號(hào)的工藝終點(diǎn)時(shí)間。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明實(shí)施例所述方案針對(duì)Low Open Area工藝中的光譜信號(hào)特點(diǎn)，通過(guò)搜索光譜信號(hào)中的波峰或平地來(lái)獲取拐點(diǎn)，并進(jìn)而根據(jù)獲取到的拐點(diǎn)確定終點(diǎn)時(shí)間，從而實(shí)現(xiàn)了準(zhǔn)確方便地確定Low Open Area工藝中的終點(diǎn)時(shí)間。


圖1為現(xiàn)有Hireshold方法的實(shí)現(xiàn)原理圖。圖2為現(xiàn)有Low Open Area工藝中常用的兩條光譜信號(hào)曲線示意圖。圖3為本發(fā)明工藝終點(diǎn)控制方法實(shí)施例的流程圖。圖4為本發(fā)明工藝終點(diǎn)控制裝置實(shí)施例的組成結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本發(fā)明實(shí)施例中某一 Low Open Area工藝中的兩光譜曲線示意圖。圖6為本發(fā)明實(shí)施例中對(duì)圖5所示光譜曲線進(jìn)行按本發(fā)明實(shí)施例所述方案進(jìn)行信號(hào)變換后得到的光譜曲線示意圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下參照附圖并舉實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步地詳細(xì)說(shuō)明。圖2為現(xiàn)有Low Open Area工藝中常用的兩條光譜信號(hào)曲線示意圖(以下簡(jiǎn)稱為光譜曲線)。其中，上面的圖為0ES220(波長(zhǎng)為220nm)的元素對(duì)應(yīng)的光譜曲線；下面的圖為0ES251(波長(zhǎng)為251nm)的元素對(duì)應(yīng)的光譜曲線。從圖2可以看出，在通過(guò)多次實(shí)驗(yàn)確定出的工藝終點(diǎn)時(shí)間T = 108秒附近，兩條光譜曲線都沒(méi)有像現(xiàn)有Open Area比較大的工藝下對(duì)應(yīng)的光譜曲線一樣，在終點(diǎn)時(shí)間附近出現(xiàn)光譜信號(hào)強(qiáng)度大幅減少的“正常”趨勢(shì)，而是變化趨勢(shì)各異且變化很不明顯，這也正是現(xiàn)有Threshold以及Slope方法不能準(zhǔn)確確定出 Low Open Area工藝中的終點(diǎn)時(shí)間的原因。但是，圖2所示兩條光譜曲線在終點(diǎn)時(shí)間附近也分別形成了一定的趨勢(shì)對(duì)于0ES220的光譜曲線，在終點(diǎn)時(shí)間附近，光譜信號(hào)強(qiáng)度的變化趨勢(shì)是先上升后下降，在終點(diǎn)時(shí)間前形成了一個(gè)小波峰；而對(duì)于0ES251的光譜曲線，在終點(diǎn)時(shí)間附近，光譜信號(hào)強(qiáng)度的變化趨勢(shì)是先上升然后再作小幅波動(dòng)，在終點(diǎn)時(shí)間前形成了一塊平地。由于圖2所示兩條光譜曲線為現(xiàn)有Low Open Area工藝中常用的兩條光譜曲線，所以圖2所示光譜信號(hào)強(qiáng)度變化趨勢(shì)可以推廣為所有LowOpen Area工藝中的光譜曲線的變化趨勢(shì)。通過(guò)上述分析可知，在實(shí)際應(yīng)用中，可以通過(guò)搜索光譜信號(hào)中的波峰或平地，來(lái)實(shí)現(xiàn)Low Open Area工藝中的終點(diǎn)時(shí)間確定?；谏鲜鏊枷?，本發(fā)明實(shí)施例中提出了一種新的工藝終點(diǎn)控制方法，即，搜索光譜信號(hào)中的波峰或平地，將搜到的波峰或平地作為拐點(diǎn)；其中，波峰是指在其左右兩側(cè)連續(xù)一個(gè)以上的光譜信號(hào)強(qiáng)度均小于其自身強(qiáng)度的光譜信號(hào)；平地是指在其左側(cè)連續(xù)一個(gè)以上的光譜信號(hào)強(qiáng)度均小于其自身強(qiáng)度，且其右側(cè)連續(xù)一個(gè)以上的光譜信號(hào)強(qiáng)度只作符合要求的小幅波動(dòng)的光譜信號(hào)；根據(jù)搜索到的拐點(diǎn)，確定光譜信號(hào)的終點(diǎn)時(shí)間。下面通過(guò)具體的實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明所述方案作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明圖3為本發(fā)明工藝終點(diǎn)控制方法實(shí)施例的流程圖。如圖3所示，包括以下步驟步驟301 對(duì)獲取到的光譜信號(hào)進(jìn)行濾波處理以及Delay處理。本步驟中，可以采用現(xiàn)有各種常用的濾波方式，如中值濾波、算術(shù)濾波以及一階滯后濾波等，對(duì)獲取到的光譜信號(hào)進(jìn)行濾波，以降低光譜信號(hào)中的噪聲。另外，由于位于時(shí)間點(diǎn)初期的光譜信號(hào)波動(dòng)較大，所以在實(shí)際應(yīng)用中，可以對(duì)光譜信號(hào)進(jìn)行Delay處理，等信號(hào)平穩(wěn)后再進(jìn)行后續(xù)處理。步驟302 搜索光譜信號(hào)中的波峰或平地，將搜到的波峰或平地作為拐點(diǎn)?；谥暗慕榻B可知，Low Open Area工藝下光譜信號(hào)強(qiáng)度的變化一般會(huì)呈現(xiàn)兩種趨勢(shì)，即，先上升后下降，在終點(diǎn)時(shí)間前形成一個(gè)波峰；以及先上升后小幅波動(dòng)，在終點(diǎn)時(shí)間前形成一塊平地。也就是說(shuō)，波峰，就是指其左右兩側(cè)連續(xù)多個(gè)光譜信號(hào)強(qiáng)度均小于波峰強(qiáng)度的光譜信號(hào)；平地是指在其左側(cè)連續(xù)多個(gè)光譜信號(hào)強(qiáng)度均小于平地強(qiáng)度，且其右側(cè)連續(xù)多個(gè)光譜信號(hào)強(qiáng)度只作符合要求的小幅波動(dòng)的光譜信號(hào)。其中，哪種小幅波動(dòng)算是符合要求可預(yù)先設(shè)置，比如，上下浮動(dòng)范圍不超過(guò)預(yù)先設(shè)置的閾值等。本步驟中，可以按照上述波峰以及平地的特點(diǎn)對(duì)波峰和平地進(jìn)行具體的定義，在進(jìn)行波峰或平地的搜索時(shí)，按照所作定義進(jìn)行相應(yīng)搜索即可。比如定義1 如果某一光譜信號(hào)i同時(shí)滿足E (i)-E (i-1)≥ 0，E (i)-E (i_2)≥ 0，-—，E (i)-E (i_k)≥ 0 ；E (i)-E (i+1)≥ 0，E (i)-E (i+2)≥ 0，-—，E (i)-E (i+k)≥ 0則可確定該光譜信號(hào)i為波峰。或者，如果某一光譜信號(hào)i同時(shí)滿足E (i)-E (i-1)≥ 0，E (i-1) -E (i_2)≥ 0，-—，E (i-k+1) -E (i_k)≥ 0 ；E (i)-E (i+1)≥ 0，E (i+1) -E (i+2)≥ 0，-—，E (i+k-1) -E (i+k)≥ 0 ；則可確定該光譜信號(hào)i為波峰。其中，E⑴表示光譜信號(hào)i的強(qiáng)度；E(i-l)表示位于光譜信號(hào)i前一時(shí)間點(diǎn)上的光譜信號(hào)強(qiáng)度；待定參數(shù)k為波峰信號(hào)的判斷條件數(shù)，為一大于0的整數(shù)，k越大，搜索到的波峰越準(zhǔn)確，其值大小可根據(jù)實(shí)際需要或經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行設(shè)置，建議將其設(shè)置為〔8，10〕中的一個(gè)值，即8、9或10。需要說(shuō)明的是，上述定義中光譜信號(hào)i左右兩側(cè)所對(duì)應(yīng)的k的取值也可以不相等，但通常情況下如本實(shí)施例所示設(shè)置為同一個(gè)值。可以看出，上述定義1的兩種定義方式中，后一種定義方式與前一種定義方式相比，要求更加嚴(yán)格，不但要求波峰兩端的光譜信號(hào)強(qiáng)度都要小于波峰處的強(qiáng)度；而且，波峰左側(cè)的各光譜信號(hào)強(qiáng)度必須遵循嚴(yán)格的遞增順序，而波峰右側(cè)的各光譜信號(hào)強(qiáng)度必須遵循嚴(yán)格的遞減順序。對(duì)于平地，可以采用如下的定義方式定義2 如果某一光譜信號(hào)i同時(shí)滿足E (i)-E (i-1)≥ 0，E ⑴-E (i_2)≥ 0，-—，E (i)-E (i_k)≥ 0 ；
E(i+1)-EM| 彡 Es, E(i+2)-EM 彡 Es, -—，E(i+k) -Em 彡 Es ；則確定該光譜信號(hào)i為平地?；蛘?，如果某一光譜信號(hào)i同時(shí)滿足E(i)-E(i-1)彡 0，E(i-l)-E(i-2)彡 0，-—, E (i-k+1)-E (i-k)彡 0 ；E(i+1)-EM| ( nEs，E(i+2)-EM ( nEs，-—，E(i+k) -Em ( nEs ；則確定該光譜信號(hào)i為平地。其中，E(i)表示光譜信號(hào)i的強(qiáng)度；&、Es分別表示光譜信號(hào)強(qiáng)度數(shù)組E(i+1)、 E(i+2)、一、E(i+k)的平均值與標(biāo)準(zhǔn)差，即方差的平方根；待定參數(shù)k為平地信號(hào)的判斷條件數(shù)，為一大于0的整數(shù)，k越大，搜索到的平地信號(hào)越準(zhǔn)確，其值大小可根據(jù)實(shí)際需要或經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行設(shè)置，建議將其設(shè)置為〔8，10〕中的一個(gè)值，即8、9或10 ;n為&的系數(shù)，其具體取值也可根據(jù)實(shí)際需要或經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行預(yù)先設(shè)置。當(dāng)然，上述定義1和定義2僅用于舉例說(shuō)明，并不用于限制本發(fā)明的技術(shù)方案，如果采用其它的定義方式，只要符合本發(fā)明實(shí)施例所述思想，能夠完成本發(fā)明實(shí)施例所述功能，也是可以的。其它可能的具體定義方式不再一一列舉。按照上述對(duì)波峰以及平地的定義方式，在經(jīng)過(guò)步驟301處理后的光譜信號(hào)中進(jìn)行波峰以及平地的搜索，即搜索滿足定義1或定義2所述條件的光譜信號(hào)。原則上，本步驟所述搜索過(guò)程需要按各光譜信號(hào)對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)的順序，從時(shí)間點(diǎn)的起始位置處開(kāi)始進(jìn)行搜索，但是根據(jù)經(jīng)驗(yàn)可知，工藝終點(diǎn)時(shí)間不會(huì)位于起始時(shí)間點(diǎn)處，所以在實(shí)際應(yīng)用中，可以從某一時(shí)間點(diǎn)，比如30秒處左右開(kāi)始進(jìn)行搜索。一旦搜索到波峰或平地后，則結(jié)束搜索過(guò)程。 搜索到的波峰或平地即為本發(fā)明實(shí)施例中所需的拐點(diǎn)。步驟303 根據(jù)搜索到的拐點(diǎn)，確定光譜信號(hào)的終點(diǎn)時(shí)間。本步驟中，可以采用兩種方式來(lái)確定光譜信號(hào)的終點(diǎn)時(shí)間方式一，通過(guò)設(shè)置 Satisfaction Time來(lái)確定終點(diǎn)時(shí)間，其中&itisfaction Time時(shí)間內(nèi)各時(shí)間點(diǎn)對(duì)應(yīng)的光譜信號(hào)都需要滿足定義1或定義2中所定義的拐點(diǎn)右側(cè)特性要求。方式二，通過(guò)在拐點(diǎn)前后兩端采用不同的信號(hào)變換方式，使得終點(diǎn)時(shí)間附近的光譜信號(hào)變化具有明顯的特征和規(guī)律， 比如，通過(guò)不同的信號(hào)處理方式，使得拐點(diǎn)前端的光譜信號(hào)強(qiáng)度作符合要求的小幅波動(dòng)，拐點(diǎn)后端的光譜信號(hào)強(qiáng)度呈明顯下降趨勢(shì)。然后，再按照現(xiàn)有Threshold或slope方法來(lái)確定光譜信號(hào)的終點(diǎn)時(shí)間。下面對(duì)這兩種方式分別進(jìn)行具體介紹方式一當(dāng)搜索到的拐點(diǎn)為波峰時(shí)，在緊鄰該拐點(diǎn)對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)之后設(shè)置一 Mtisfaction Time;判斷Mtisfaction Time內(nèi)各時(shí)間點(diǎn)對(duì)應(yīng)的光譜信號(hào)強(qiáng)度是否均小于拐點(diǎn)處的強(qiáng)度，如果是，則用拐點(diǎn)對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)加上Mtisfaction Time，將計(jì)算得到的時(shí)間點(diǎn)確定為光譜信號(hào)的終點(diǎn)時(shí)間。當(dāng)搜索到拐點(diǎn)為平地時(shí)，在緊鄰拐點(diǎn)對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)之后設(shè)置一 SatisfactionTime ；判斷&itisfaction Time內(nèi)各時(shí)間點(diǎn)對(duì)應(yīng)的光譜信號(hào)強(qiáng)度是否均作符合要求的小幅波動(dòng)，如果是，則用拐點(diǎn)對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)加上Mtisfaction Time，將計(jì)算得到的時(shí)間點(diǎn)確定為光譜信號(hào)的終點(diǎn)時(shí)間。方式二本發(fā)明實(shí)施例中提出一種新的信號(hào)變換方式，即，對(duì)于拐點(diǎn)前端的每個(gè)光譜信號(hào)i按照以下方式進(jìn)行處理求取拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值與拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值的差值，以及變換前光譜信號(hào)i的強(qiáng)度與拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值的差值；求取變換前光譜信號(hào)i的強(qiáng)度與拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值的差值與拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值與拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值的差值的商；求該商與拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的標(biāo)準(zhǔn)差及預(yù)先設(shè)定的系數(shù)m的乘積；求取拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的平均值與所述乘積的和。對(duì)拐點(diǎn)后端的每個(gè)光譜信號(hào)j按照以下方式進(jìn)行處理求取拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值與拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值的差值，以及拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值與變換前光譜信號(hào)j的強(qiáng)度的差值；求取拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值與變換前光譜信號(hào)j的強(qiáng)度的差值與拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值與拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值的差值的商；求該商與拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的標(biāo)準(zhǔn)差及預(yù)先設(shè)定的系數(shù)η的乘積；求取拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的平均值與所述乘積的差。具體實(shí)現(xiàn)如下所示將拐點(diǎn)前端的每個(gè)光譜信號(hào)按照Ea (i) = Mean (Q) +m*Std (Q) * [ (Eb (i) -Min (Q)) / (Max (Q) -Min (Q))]方式進(jìn)行變換。其中，EA(i)表示變換后的光譜信號(hào)的強(qiáng)度表示變換前的光譜信號(hào)的強(qiáng)度； Mena(Q)表示拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的平均值；Std(Q)表示拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的標(biāo)準(zhǔn)差；Min(Q)表示拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值；Max(Q)表示拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值。將拐點(diǎn)后端的每個(gè)光譜信號(hào)按照Ea (j) = Mean (H) -n*Std (H) * [ (Max (H) -Eb (j)) / (Max (H) -Min (H))]方式進(jìn)行變換。其中，Ea (j)表示變換后的光譜信號(hào)的強(qiáng)度表示變換前的光譜信號(hào)的強(qiáng)度； Mena(H)表示拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的平均值；Std(H)表示拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的標(biāo)準(zhǔn)差；Min(H)表示拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值；Max(H)表示拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值。m、η分別為Md(Q)和Md(H)的系數(shù)，具體取值為可根據(jù)實(shí)際需要或根據(jù)經(jīng)驗(yàn)預(yù)
先設(shè)定。將拐點(diǎn)前后兩端的光譜信號(hào)分別按照上述方式進(jìn)行處理后，即可使得終點(diǎn)時(shí)間附近的光譜信號(hào)變化具有明顯的特征和規(guī)律，這樣，后續(xù)按照現(xiàn)有Threshold或slope方法，即可確定光譜信號(hào)的終點(diǎn)時(shí)間。比如，可采用Threshold方法，在步驟302中搜索到的拐點(diǎn)之后設(shè)置一 Satisfaction Time,并設(shè)置一個(gè) Trigger Percent ；若 Satisfaction Time內(nèi)的所有時(shí)間點(diǎn)對(duì)應(yīng)的光譜信號(hào)強(qiáng)度與拐點(diǎn)處的強(qiáng)度的差值均小于所設(shè)置的Trigger Percent，則將拐點(diǎn)處對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)加上Mtisfaction Time后對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)作為所確定的光譜信號(hào)的終點(diǎn)時(shí)間。slope方法與Threshold方法類似，不再贅述。當(dāng)然，除方式二外，還可以采用其它的信號(hào)變換方式，對(duì)拐點(diǎn)前后兩端的光譜信號(hào)進(jìn)行處理，以使得終點(diǎn)時(shí)間附近的光譜信號(hào)變化具有明顯的特征和規(guī)律，比如，冪函數(shù)變化、指數(shù)變換、對(duì)數(shù)變換以及其它已知的變換方式等。
上述方式一和方式二中的Mtisfaction Time的具體取值可根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)置。通常情況下，采用本發(fā)明實(shí)施例所述方案確定出的拐點(diǎn)和待確定的終點(diǎn)時(shí)間離得很近。 待確定的終點(diǎn)時(shí)間通常位于拐點(diǎn)對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)之后的一兩秒左右的時(shí)間點(diǎn)上?；谏鲜龇椒?，圖4為本發(fā)明工藝終點(diǎn)控制裝置實(shí)施例的組成結(jié)構(gòu)示意圖。如圖 4所示，該裝置包括搜索單元401以及確定單元402 ；搜索單元401，用于搜索光譜信號(hào)中的波峰或平地，將搜到的波峰或平地作為拐點(diǎn)；其中，波峰是指在其左右兩側(cè)連續(xù)一個(gè)以上的光譜信號(hào)強(qiáng)度均小于其自身強(qiáng)度的光譜信號(hào)；平地是指在其左側(cè)連續(xù)一個(gè)以上的光譜信號(hào)強(qiáng)度均小于其自身強(qiáng)度，且其右側(cè)連續(xù)一個(gè)以上的光譜信號(hào)強(qiáng)度只作符合要求的小幅波動(dòng)的光譜信號(hào)；

確定單元402，用于根據(jù)搜索單元401搜索到的拐點(diǎn)，確定光譜信號(hào)的終點(diǎn)時(shí)間。此外，裝置中還可進(jìn)一步包括處理單元403，用于對(duì)光譜信號(hào)進(jìn)行濾波以及 Delay處理，并將經(jīng)濾波及Delay處理后的光譜信號(hào)發(fā)送給搜索單元401。上述搜索單元401中進(jìn)一步包括波峰搜索子單元4011以及平地搜索子單元 4012 ；波峰搜索子單元4011，用于搜索光譜信號(hào)中的波峰，將搜索到的波峰作為拐點(diǎn)； 具體實(shí)現(xiàn)可以是按時(shí)間順序依次判斷光譜信號(hào)i是否同時(shí)滿足E(i)-E(i-1)彡 0，E(i)-E(i-2)彡 0，-—，E(i)-E(i_k)彡 0 ；E(i)-E(i+1)彡 0，E(i)-E(i+2)彡 0，-—，E(i)-E(i+k)彡 0 ；如果是，則確定光譜信號(hào)i為波峰；或者，按時(shí)間順序依次判斷光譜信號(hào)i是否同時(shí)滿足E(i)-E(i-1)彡 0，E(i-l)-E(i-2)彡 0，-—, E (i-k+1)-E (i-k)彡 0 ；E(i)-E(i+1)彡 0，E(i+l)-E(i+2)彡 0，-—, E (i+k-1)-E (i+k)彡 0 ；如果是，則確定該光譜信號(hào)i為波峰；其中，E(i)表示光譜信號(hào)i的強(qiáng)度；E(i-l) 表示位于光譜信號(hào)i前一時(shí)間點(diǎn)上的光譜信號(hào)強(qiáng)度；k為大于0的整數(shù)，取值為預(yù)先設(shè)定。平地搜索子單元4012，用于搜索光譜信號(hào)中的平地，將搜索到的平地作為拐點(diǎn)； 具體實(shí)現(xiàn)可以是按時(shí)間順序依次判斷光譜信號(hào)i是否同時(shí)滿足E(i)-E(i-1)彡 0，E(i)-E(i-2)彡 0，-—，E(i)-E(i_k)彡 0 ；E(i+1)-EM| ( Es, E(i+2)-EM ( Ws, —，E (i+k) -Em ( Es ；如果是，則確定該光譜信號(hào)i為平地；或者，按時(shí)間順序依次判斷光譜信號(hào)i是否同時(shí)滿足E(i)-E(i-1)彡 0，E(i-l)-E(i-2)彡 0，-—, E (i-k+1)-E (i-k)彡 0 ；E(i+1)-EM I 彡 nEs，E(i+2)-EM 彡 nEs，-—，E (i+k) -Em ^ nEs ；如果是，則確定該光譜信號(hào)i為平地；其中，E(i)表示光譜信號(hào)i的強(qiáng)度；E(i-l)表示位于光譜信號(hào)i前一時(shí)間點(diǎn)上的光譜信號(hào)強(qiáng)度； 、 分別表示光譜信號(hào)強(qiáng)度數(shù)組E(i+l)、E(i+2)、---、E(i+k)的平均值與標(biāo)準(zhǔn)差；k為大于0的整數(shù)，取值為預(yù)先設(shè)定；η為&的系數(shù)，取值為預(yù)先設(shè)定。上述確定單元402中進(jìn)一步包括設(shè)置子單元4021以及判斷子單元4022 ；設(shè)置子單元4021，用于在緊鄰所述拐點(diǎn)對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)之后設(shè)置一 Mtisfaction Time ；
12
判斷子單元4022，用于判斷Mtisfaction Time內(nèi)各時(shí)間點(diǎn)對(duì)應(yīng)的光譜信號(hào)強(qiáng)度是否均小于拐點(diǎn)的強(qiáng)度，如果是，則將拐點(diǎn)對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)加上SatisfactionTime后對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)確定為光譜信號(hào)的終點(diǎn)時(shí)間；或者，判斷Mtisfaction Time內(nèi)各時(shí)間點(diǎn)對(duì)應(yīng)的光譜信號(hào)強(qiáng)度是否均作符合要求的小幅波動(dòng)，如果是，則將拐點(diǎn)對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)加上 Satisfaction Time后對(duì)應(yīng)的時(shí)間點(diǎn)確定為光譜信號(hào)的終點(diǎn)時(shí)間?；蛘?，上述確定單元402中進(jìn)一步包括信號(hào)變換子單元4023以及確定子單元 4024 ；信號(hào)變換子單元4023，用于采用不同的信號(hào)變換方式，分別對(duì)拐點(diǎn)前后兩端的光譜信號(hào)進(jìn)行處理，使得拐點(diǎn)前端的光譜信號(hào)強(qiáng)度作符合要求的小幅波動(dòng)，拐點(diǎn)后端的光譜信號(hào)強(qiáng)度呈明顯下降趨勢(shì)；確定子單元40M，用于按照Threshold或slope方法確定光譜信號(hào)的終點(diǎn)時(shí)間。其中，信號(hào)變換子單元4023具體用于，對(duì)拐點(diǎn)前端的每個(gè)光譜信號(hào)按照EA(i)= Mean (Q) +m*Std (Q) * [ (Eb (i) -Min (Q)) / (Max (Q) -Min (Q))]方式進(jìn)行處理；EA (i)表示變換后光譜信號(hào)的強(qiáng)度表示變換前光譜信號(hào)的強(qiáng)度；Mena(Q)表示拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的平均值A(chǔ)td(Q)表示拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的標(biāo)準(zhǔn)差；Min(Q)表示拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值；Max(Q)表示拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值；對(duì)拐點(diǎn)后端的每個(gè)光譜信號(hào)按照Ea (j) = Mean (H) -n*Std (H) * [ (Max (H) -Eb (j)) / (Max(H)-Min(H))]方式進(jìn)行處理；EA(j)表示變換后光譜信號(hào)的強(qiáng)度表示變換前光譜信號(hào)的強(qiáng)度；Mena(H)表示拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的平均值jtd(H)表示拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的標(biāo)準(zhǔn)差；Min(H)表示拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值；Max(H)表示拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值；m、n分別Md(Q)和Md(H)的系數(shù)，取值為預(yù)先設(shè)定?？梢?jiàn)，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明實(shí)施例所述方案的最大特點(diǎn)就是引入了波峰以及平地兩拐點(diǎn)的思想，并提出了一種新型的信號(hào)變換方法，使得終點(diǎn)時(shí)間附近的光譜信號(hào)變化具有明顯的特征和規(guī)律，從而更好地根據(jù)所述拐點(diǎn)確定終點(diǎn)時(shí)間。為了更好地表現(xiàn)本發(fā)明實(shí)施例所述方案在Low Open Area工藝中確定終點(diǎn)時(shí)間時(shí)的準(zhǔn)確性和可靠性，下面通過(guò)具體的仿真實(shí)例來(lái)作進(jìn)一步地說(shuō)明圖5為本發(fā)明實(shí)施例中某一 Low Open Area工藝中的兩光譜曲線示意圖。如圖5 所示，其中的上圖為0ES220的光譜曲線；下圖為0ES251的光譜曲線。由于實(shí)際的0ES220 和0ES251光譜曲線數(shù)據(jù)量過(guò)大，所以圖5所示兩幅圖中僅分別顯示了終點(diǎn)時(shí)間附近的部分光譜曲線。兩光譜曲線對(duì)應(yīng)的工藝終點(diǎn)時(shí)間大約在T= 108秒左右。該值為通過(guò)多次實(shí)驗(yàn)確定或預(yù)先已知的一個(gè)準(zhǔn)確值。按照?qǐng)D3所示本發(fā)明方法對(duì)圖5所示兩條光譜曲線中的光譜信號(hào)進(jìn)行處理，假設(shè) Delay時(shí)間設(shè)置為30秒，參數(shù)k設(shè)置為8。那么，可得到兩條光譜曲線的拐點(diǎn)分別為T = 107. 2秒以及T = 106. 6秒。之后，對(duì)拐點(diǎn)前后兩端的光譜信號(hào)，按照本發(fā)明實(shí)施例所述的信號(hào)變換方法進(jìn)行處理，其中參數(shù)η和m分別設(shè)置為3和9，得到圖6所示變換后的兩條光譜曲線示意圖。從圖6可以看出，經(jīng)過(guò)處理后，終點(diǎn)時(shí)間前后兩端的光譜信號(hào)強(qiáng)度變化趨勢(shì)明顯。后續(xù)即可根據(jù)圖6所示變換后的光譜信號(hào)強(qiáng)度信息確定終點(diǎn)時(shí)間，不再贅述?？傊?，采用本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案，能夠準(zhǔn)確方便地確定出Low OpenArea工藝中的終點(diǎn)時(shí)間。
綜上所述，以上僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非用于限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。 凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種工藝終點(diǎn)控制方法，其特征在于，該方法包括搜索光譜信號(hào)中的波峰或平地，將所述搜到的波峰或平地作為拐點(diǎn)； 所述波峰是指在其左右兩側(cè)連續(xù)一個(gè)以上的光譜信號(hào)強(qiáng)度均小于其自身強(qiáng)度的光譜信號(hào)；所述平地是指在其左側(cè)連續(xù)一個(gè)以上的光譜信號(hào)強(qiáng)度均小于其自身強(qiáng)度，且其右側(cè)連續(xù)一個(gè)以上的光譜信號(hào)強(qiáng)度只作符合要求的小幅波動(dòng)的光譜信號(hào)； 根據(jù)所述搜索到的拐點(diǎn)，得到所述光譜信號(hào)的工藝終點(diǎn)時(shí)間，包括 對(duì)所述拐點(diǎn)前后兩端的光譜信號(hào)分別采用不同的信號(hào)變換方式進(jìn)行處理，使得所述拐點(diǎn)前端的光譜信號(hào)強(qiáng)度作符合要求的小幅波動(dòng)，所述拐點(diǎn)后端的光譜信號(hào)強(qiáng)度呈明顯下降趨勢(shì)；按照閾值或差分方法得到所述光譜信號(hào)的工藝終點(diǎn)時(shí)間；其中，所述對(duì)拐點(diǎn)前后兩端的光譜信號(hào)分別采用不同的信號(hào)變換方式進(jìn)行處理包括 對(duì)所述拐點(diǎn)前端的每個(gè)光譜信號(hào)i按照以下方式進(jìn)行處理求取拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值與拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值的差值， 以及變換前光譜信號(hào)i的強(qiáng)度與所述拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值的差值；求取所述變換前光譜信號(hào)i的強(qiáng)度與所述拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值的差值與所述拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值與拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值的差值的商；求取所述商與拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的標(biāo)準(zhǔn)差及預(yù)先設(shè)定的系數(shù)m的乘積； 求取拐點(diǎn)前所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的平均值與所述乘積的和； 對(duì)所述拐點(diǎn)后端的每個(gè)光譜信號(hào)j按照以下方式進(jìn)行處理求取拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值與拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值的差值， 以及所述拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值與變換前光譜信號(hào)j的強(qiáng)度的差值；求取所述拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值與變換前光譜信號(hào)j的強(qiáng)度的差值與所述拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最大值與拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的最小值的差值的商； 求取所述商與拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的標(biāo)準(zhǔn)差及預(yù)先設(shè)定的系數(shù)η的乘積； 求取拐點(diǎn)后所有光譜信號(hào)強(qiáng)度的平均值與所述乘積的差。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述搜索光譜信號(hào)中的波峰或平地之前， 進(jìn)一步包括對(duì)所述光譜信號(hào)進(jìn)行濾波以及延時(shí)處理。
3.—種工藝終點(diǎn)控制裝置，其特征在于，該裝置包括搜索單元以及確定單元；所述搜索單元，用于搜索光譜信號(hào)中的波峰或平地，將所述搜索到的波峰或平地作為拐點(diǎn)；所述波峰是指在其左右兩側(cè)連續(xù)一個(gè)以上的光譜信號(hào)強(qiáng)度均小于其自身強(qiáng)度的光譜信號(hào)；所述平地是指在其左側(cè)連續(xù)一個(gè)以上的光譜信號(hào)強(qiáng)度均小于其自身強(qiáng)度，且其右側(cè)連續(xù)一個(gè)以上的光譜信號(hào)強(qiáng)度只作符合要求的小幅波動(dòng)的光譜信號(hào)；所述確定單元，用于根據(jù)所述搜索單元搜索到的拐點(diǎn)，得到所述光譜信號(hào)的工藝終點(diǎn)時(shí)間；其中，所述確定單元中進(jìn)一步包括信號(hào)變換子單元以及確定子單元； 所述信號(hào)變換子單元，用于對(duì)所述拐點(diǎn)前后兩端的光譜信號(hào)分別采用不同的信號(hào)變換方式進(jìn)行處理，使得所述拐點(diǎn)前端的光譜信號(hào)強(qiáng)度作符合要求的小幅波動(dòng)，所述拐點(diǎn)后端的光譜信號(hào)強(qiáng)度呈明顯下降趨勢(shì)；所述確定子單元，用于按照閾值方法或差分方法得到所述光譜信號(hào)的工藝終點(diǎn)時(shí)間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，該裝置中進(jìn)一步包括處理單元，用于對(duì)所述光譜信號(hào)進(jìn)行濾波以及延時(shí)處理，并將所述經(jīng)濾波及延時(shí)處理后的光譜信號(hào)發(fā)送給所述搜索單元。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述搜索單元中進(jìn)一步包括波峰搜索子單元以及平地搜索子單元；所述波峰搜索子單元，用于搜索光譜信號(hào)中的波峰，將所述搜索到的波峰作為拐點(diǎn)； 所述平地搜索子單元，用于搜索光譜信號(hào)中的平地，將所述搜索到的平地作為拐點(diǎn)。
全文摘要
本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種工藝終點(diǎn)控制方法，搜索光譜信號(hào)中的波峰或平地，將所述搜到的波峰或平地作為拐點(diǎn)；所述波峰是指在其左右兩側(cè)連續(xù)一個(gè)以上的光譜信號(hào)強(qiáng)度均小于其自身強(qiáng)度的光譜信號(hào)；所述平地是指在其左側(cè)連續(xù)一個(gè)以上的光譜信號(hào)強(qiáng)度均小于其自身強(qiáng)度，且其右側(cè)連續(xù)一個(gè)以上的光譜信號(hào)強(qiáng)度只作符合要求的小幅波動(dòng)的光譜信號(hào)；根據(jù)所述搜索到的拐點(diǎn)，確定所述光譜信號(hào)的工藝終點(diǎn)時(shí)間。本發(fā)明實(shí)施例同時(shí)公開(kāi)了一種工藝終點(diǎn)控制裝置。應(yīng)用本發(fā)明實(shí)施例所述的方法和裝置，能夠準(zhǔn)確方便地確定出較小暴露面積(Low Open Area)工藝的終點(diǎn)時(shí)間。
文檔編號(hào)H01L21/00GK102163567SQ20101058463
公開(kāi)日2011年8月24日 申請(qǐng)日期2008年1月22日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月22日
發(fā)明者張善貴 申請(qǐng)人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司