專利名稱：汽缸式升降裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種汽缸式升降裝置，更具體地涉及一種適用于真空系統(tǒng)領域內 真空設備腔體蓋的升降或者載物臺的升降等的汽缸式升降裝置。
背景技術：
隨著現(xiàn)代科學技術的迅猛發(fā)展，對產品質量和生產工藝要求不斷提高，真空技術 在高科技產業(yè)化的發(fā)展中展現(xiàn)出廣闊的應用前景，尤其體現(xiàn)在對真空環(huán)境要求極高的數碼 顯示技術產業(yè)中。有機電致發(fā)光(Organic ElectroluminescentLight，簡稱為0EL)技術 是高新數碼顯示領域的新興技術，其具有兩個技術分支，一個是分子量在500 2000之間 的小分子有機發(fā)光二極管(Organic LightEmitting Diode)簡稱為0LED或SM-OLED ；另 一個是分子量在10000 100000之間的高分子(又稱聚合物)有機發(fā)光二極管(Polymer Light-Emitting Diode)簡稱為PLED或P-0LED。0LED顯示技術是0EL顯示技術的一種， 在過去的十多年里發(fā)展迅猛，取得了巨大的成就。近年來，由于0LED顯示器件具有主動發(fā) 光、發(fā)光效率較高、功耗低、輕、無視角限制等優(yōu)點，被業(yè)內人士認為是最有可能在未來的顯 示器件市場上占據霸主地位的新一代顯示器件。所以全球越來越多的顯示器廠家紛紛投入 此技術的研發(fā)，大大的推動了 0LED的產業(yè)化進程。目前0LED已到大規(guī)模量產。0LED顯示 器件是基于有機材料的一種電流型半導體發(fā)光器件。其典型結構是在IT0玻璃上制作一層 幾十納米厚的有機發(fā)光材料作發(fā)光層，發(fā)光層上方有一層低功函數的金屬電極。當電極上 加有電壓時，發(fā)光層就產生光輻射。0LED顯示器件制備過程中很多工序要求在真空環(huán)境下完成，通過利用真空設備來 實現(xiàn)高精度工藝要求，其中有很多工序涉及到升降裝置，比如承載IT0玻璃的承載臺的升 降調節(jié)，腔體設備中腔蓋的升降操作等?，F(xiàn)有技術中升降裝置主要有機械升降裝置，所述升 降裝置一般采用電機經皮帶減速后帶動絲杠旋轉，螺母連同立柱作升降運動。立柱上端通 過設置托架或者掛鉤等來完成特定的產品的升降調節(jié)?，F(xiàn)有的升降裝置傳動結構復雜維護 成本較高，傳動平穩(wěn)性不高，不能滿足平穩(wěn)精確的升降調節(jié)需要。因此，有必要提供一種整體結構緊湊，易于控制，傳動簡單、平穩(wěn)、精確、可靠的汽 缸式升降裝置。
實用新型內容本實用新型的目的是提供一種整體結構緊湊，易于控制，傳動簡單、平穩(wěn)、精確、可 靠的汽缸式升降裝置。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術方案為提供一種汽缸式升降裝置，包括安裝 座、汽缸馬達、托架及導向組件，所述汽缸馬達安裝在所述安裝座上，所述汽缸馬達具有活 塞桿，所述活塞桿一端與所述汽缸馬達活動連接，另一端與所述托架固定連接，所述導向組 件包括導向軸以及滑動地套于所述導向軸外的軸套，所述導向軸的一端與所述托架固定連 接，所述導向軸的另一端懸空，所述導向軸的軸向平行于所述活塞桿的長度方向，所述軸套固定地設置在所述托架與所述安裝座之間。較佳地，所述導向組件還包括支承座，所述支承座固定地設置在所述托架與所述 安裝座之間，所述軸套固定在所述支承座上。所述支承座方便所述軸套的固定。較佳地，所 述支承座鄰近所述托架。由于導向軸需要隨托架的運動在軸套內運動，相應的支承座鄰近 所述托架而設，可大大減小所需導向軸的軸體長度，從而節(jié)約成本，使結構緊湊。在本實用新型的一實施例中，所述支承座固定在已固定的外接設備上。所述軸套 固定在所述支承座上，所述支承座通過與所述外接設備固定連接將所述軸套固定在外接設 備上，為所述導向組件提供導向支點，當汽缸馬達推動活塞桿帶動所述托架做升降運動時， 由于托架與導向軸固定連接、導向軸與軸套配合，從而使所述托架在導向軸的導向作用下 作平穩(wěn)、準確、可靠的升降運動。在本實用新型的另一實施例中，所述支承座與所述汽缸馬達固定連接，所述軸套 固定在所述支承座上，所述支承座通過與所述汽缸馬達固定連接將所述軸套固定在汽缸馬 達上，為所述導向組件提供了導向支點，當汽缸馬達推動活塞桿帶動所述托架做升降運動 時，由于托架與導向軸固定連接、導向軸與軸套配合，從而使所述托架在導向軸的導向作用 下作平穩(wěn)、準確、可靠的升降運動。較佳地，所述安裝座上設有支架，所述汽缸馬達通過所述支架安裝到所述安裝座 上。通過支架，進一步將汽缸馬達穩(wěn)固地固定在所述安裝座上，使升降更平穩(wěn)。較佳地，所述導向軸為滾珠花鍵軸，所述軸套為滾珠花鍵套。所述滾珠花鍵軸、滾 珠花鍵套采用了高精度的配合，且具有較高的剛性、耐用性，具有平滑、強力的轉矩傳遞從 而使精度得到飛躍性的提高。與現(xiàn)有技術相比，由于本實用新型的汽缸式升降裝置利用汽缸馬達提供動力，通 過活塞桿輸出動力來使托架做升降運動，從而實現(xiàn)腔體蓋的升降運動或產品的升降運動， 其傳動簡單，且所述汽缸式升降裝置還具有導向組件，通過導向軸與托架的固定連接，軸套 固定設置在托架與安裝座之間以及導向軸與軸套的配合，對托架的運動起導向作用，有效 的保障了升降的平穩(wěn)、精確、可靠。其組合新穎，整體結構緊湊，推動距離可根據需要選擇不 同行程的汽缸馬達和導向組件進行調節(jié)，易于控制，傳動平穩(wěn)、精確、可靠。
圖1為本實用新型汽缸式升降裝置一實施例的立體圖。圖2為圖1所示汽缸式升降裝置的結構示意圖。圖3為圖1所示汽缸式升降裝置的另一角度的結構示意圖。圖4為圖1所示汽缸式升降裝置的一狀態(tài)示意圖。圖5為本實用新型汽缸式升降裝置另一實施例的立體圖。
具體實施方式
為了詳細說明本實用新型的技術內容、構造特征，以下結合實施方式并配合附圖 作進一步說明，其中不同圖中相同的標號代表相同的部件。如上所述，本實用新型提供了一 種汽缸式升降裝置，包括安裝座、汽缸馬達、托架及導向組件，通過所述汽缸式升降裝置可 以實現(xiàn)產品或設備工件或腔蓋等的平穩(wěn)升降調節(jié)，其利用汽缸馬達提供動力，通過活塞桿輸出動力來使托架做升降運動，傳動簡單，通過導向組件對托架的運動起導向作用，有效的 保障了升降的平穩(wěn)、精確、可靠。其組合新穎，整體結構緊湊，推動距離可根據需要選擇不同 行程的汽缸馬達和導向組件進行調節(jié)，易于控制，傳動平穩(wěn)、精確、可靠。所述汽缸式升降裝 置尤其適用于真空系統(tǒng)領域內真空設備腔體蓋的升降或者載物臺的升降。詳細參考圖1至圖3，本實用新型第一實施例的汽缸式升降裝置10a包括安裝座 10、支架20、汽缸馬達30、托架40及導向組件50，所述安裝座10根據需要固定在某一固定 位置上，所述汽缸馬達30呈大致長方體狀，其下端通過所述支架20安裝在安裝座10上，通 過支架20可進一步將汽缸馬達30穩(wěn)固地固定在所述安裝座10上，使升降更平穩(wěn)。所述汽 缸馬達30具有活塞桿32，所述活塞桿32 —端與所述汽缸馬達30的上端活動連接，另一端 與托架40固定連接，具體地，如圖2中截面部分所示，所述活塞桿32通過鎖緊螺母34、36 與所述托架40相連接。所述托架40位于所述汽缸馬達30的上方，所述托架40連接腔體 蓋或者需要升降的產品、設備。所述托架40可以外接任何設備來實現(xiàn)產品或者腔蓋的升降 運動，如外接載置臺，或者小型容器等等，外接的設備是根據實際需要來設置。所述導向組 件50包括滾珠花鍵副52與支承座57a，所述滾珠花鍵副52包括滾珠花鍵軸53以及滑動地 套于所述滾珠花鍵軸53外的滾珠花鍵套54，所述滾珠花鍵軸53的一端與所述托架40固 定連接，另一端懸空。所述滾珠花鍵軸53、滾珠花鍵套54采用了高精度的配合，且具有較 高的剛性、耐用性，具有平滑、強力的轉矩傳遞從而使精度得到飛躍性的提高。所述滾珠花 鍵軸53與所述托架40固定連接，且所述滾珠花鍵軸53的軸向平行于所述活塞桿32的長 度方向。具體地，如圖3中截面部分所示，所述滾珠花鍵軸53的頂端通過螺釘55與所述托 架40固定，所述滾珠花鍵軸53活動套設在滾珠花鍵套54內。所述滾珠花鍵套54固定在 所述支承座57a上，所述支承座57a設置在某一已固定的外接設備(圖未示)上，例如設置 在腔體上。所述支承座57a設置在托架40與安裝座10之間，較佳地，所述支承座57a鄰近 所述托架40。由于滾珠花鍵軸53需要隨托架40的運動在滾珠花鍵套54內運動，相應的 支承座57a鄰近所述托架40而設，可大大減小所需滾珠花鍵軸53的軸體長度，從而節(jié)約成 本，使結構緊湊。所述支承座57a通過與所述外接設備固定連接將所述滾珠花鍵套54固定 在外接設備上，為所述滾珠花鍵副52提供導向支點，當汽缸馬達30推動活塞桿32帶動所 述托架40做升降運動時，由于托架40與滾珠花鍵軸53的一端固定連接、滾珠花鍵軸53與 滾珠花鍵套54高精度配合，從而使所述托架40在滾珠花鍵軸53的導向作用下作平穩(wěn)、準 確、可靠的升降運動。參考圖4，以下對上述實施例的汽缸式升降裝置la的原理作進一步說明，在該實 施例中，支承座57a與外界設備固定連接，為滾珠花鍵副52提供導向支點，在汽缸馬達30 的作用下，推動活塞桿32開始做升降運動，使固定在活塞桿32的一端的托架40隨活塞桿 32 一起做升降運動，從而使與托架40連接的腔體蓋或放置在托架上的產品實現(xiàn)升降調節(jié)。 如圖4中箭頭所示，托架40做升降運動時帶動滾珠花鍵軸53在滾珠花鍵套54內做精確的 升降運動，進而確保腔體蓋開啟、關閉或產品在升降運動過程中平穩(wěn)、精確、可靠。圖5為本實用新型另一實施例的汽缸式升降裝置lb，與上述實施例不同的是，支 承座57b固定在所述汽缸馬達30上，所述滾珠花鍵套54固定在所述支承座57b上，所述支 承座57b通過與所述汽缸馬達30固定連接將所述滾珠花鍵套54固定在汽缸馬達30上，為 所述滾珠花鍵副52提供導向支點，當汽缸馬達30推動活塞桿32帶動所述托架40做升降
5運動時，由于托架40與滾珠花鍵軸53固定連接、滾珠花鍵軸53與滾珠花鍵套54配合，從 而使所述托架40在滾珠花鍵軸53的導向作用下作平穩(wěn)、準確、可靠的升降運動。該實施例 的汽缸式升降裝置lb的運動原理與上述實施例類似，不同之處在于支承座57b固定在汽缸 馬達上30，在托架40隨活塞桿32做升降運動過程中，滾珠花鍵軸53在通過支承座57b固 定在汽缸馬達30上的滾珠花鍵套54內活動，使所述托架40在滾珠花鍵軸53的導向作用 下作平穩(wěn)、準確、可靠的升降運動，從而使與托架40連接的腔體蓋或放置在托架上的產品 實現(xiàn)升降調節(jié)。與現(xiàn)有技術相比，由于本實用新型的汽缸式升降裝置利用汽缸馬達30提供動力， 通過活塞桿32輸出動力來使托架40做升降運動，從而實現(xiàn)腔體蓋的升降運動或產品的升 降運動，其傳動簡單，且所述汽缸式升降裝置還具有滾珠花鍵副52作為導向，通過滾珠花 鍵軸53與托架40的固定連接，滾珠花鍵套54固定設置在托架40與安裝座10之間以及滾 珠花鍵軸53與滾珠花鍵套54的配合，對托架40的運動起導向作用，有效的保障了升降的 平穩(wěn)、精確、可靠。其組合新穎，整體結構緊湊，推動距離可根據需要選擇不同行程的汽缸馬 達30和滾珠花鍵副52進行調節(jié)，易于控制，傳動平穩(wěn)、精確、可靠?？梢源?zhèn)鹘y(tǒng)的機械式 開蓋機構，也可用于需要實現(xiàn)產品做升降運動的設備中，實用范圍相當廣泛，有利于實現(xiàn)程 序化、自動化的控制要求。以上所揭露的僅為本實用新型的較佳實例而已，當然不能以此來限定本實用新型 之權利范圍，因此依本實用新型權利要求所作的等同變化，仍屬于本實用新型所涵蓋的范圍。
權利要求一種汽缸式升降裝置，其特征在于，包括安裝座、汽缸馬達、托架及導向組件，所述汽缸馬達安裝在所述安裝座上，所述汽缸馬達具有活塞桿，所述活塞桿一端與所述汽缸馬達活動連接，另一端與所述托架固定連接，所述導向組件包括導向軸以及滑動地套于所述導向軸外的軸套，所述導向軸的一端與所述托架固定連接，所述導向軸的另一端懸空，所述導向軸的軸向平行于所述活塞桿的長度方向，所述軸套固定地設置在所述托架與所述安裝座之間。
2.如權利要求1所述的汽缸式升降裝置，其特征在于，所述導向組件還包括支承座，所 述支承座固定地設置在所述托架與所述安裝座之間，所述軸套固定在所述支承座上。
3.如權利要求2所述的汽缸式升降裝置，其特征在于，所述支承座鄰近所述托架。
4.如權利要求3所述的汽缸式升降裝置，其特征在于，所述支承座固定在已固定的外 接設備上。
5.如權利要求3所述的汽缸式升降裝置，其特征在于，所述支承座與所述汽缸馬達固 定連接。
6.如權利要求1所述的汽缸式升降裝置，其特征在于，所述安裝座上設有支架，所述汽 缸馬達通過所述支架安裝到所述安裝座上。
7.如權利要求1所述的汽缸式升降裝置，其特征在于，所述導向軸為滾珠花鍵軸，所述 軸套為滾珠花鍵套。
專利摘要本實用新型公開了一種汽缸式升降裝置，包括安裝座、汽缸馬達、托架及導向組件，汽缸馬達安裝在安裝座上，所述汽缸馬達具有活塞桿，活塞桿一端與汽缸馬達活動連接，另一端與托架固定連接，導向組件包括導向軸以及滑動地套于導向軸外的軸套，導向軸的一端與托架固定連接，導向軸的另一端懸空，導向軸的軸向平行于活塞桿的長度方向，軸套固定設置在托架與安裝座之間。由于本實用新型的汽缸式升降裝置利用汽缸馬達提供動力，通過活塞桿輸出動力來使托架做升降運動，傳動簡單，通過導向組件對托架的運動起導向作用，有效的保障了升降的平穩(wěn)、精確、可靠。其組合新穎，整體結構緊湊且易于控制，推動距離可根據需要選擇不同行程的汽缸馬達和導向組件進行調節(jié)。
文檔編號H01L51/56GK201608206SQ20092027421
公開日2010年10月13日 申請日期2009年12月1日 優(yōu)先權日2009年12月1日
發(fā)明者劉惠森, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良, 雷振宇 申請人:東莞宏威數碼機械有限公司