專利名稱：真空腔定位裝置的制作方法
技術(shù)領域：
本實用新型涉及一種真空腔定位裝置，尤其涉及一種對提供真空環(huán)境的真空腔體 進行密封的腔蓋進行定位及支撐的真空腔定位裝置。
背景技術(shù)：
隨著科學技術(shù)的不斷進步，人們對數(shù)碼產(chǎn)品的使用要求不斷提高，尤其是數(shù)碼產(chǎn) 品的顯示屏。0LED顯示屏就是數(shù)碼產(chǎn)品中的一種新產(chǎn)品，0LED即有機發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode)，又禾爾為有機電發(fā)光顯不(OrganicElectroluminesence Display, 0ELD)，0LED是一種低電壓、低功耗、高亮度、高光效、寬視覺、全固化、全彩顯、重量輕、價格 低的電致發(fā)光器件，正成為當今世界顯示器件研究的熱點，因此，具有較大的市場潛力。在此類半導體、電子工業(yè)及機械領域，特別是目前在真空制造和有潔凈度要求的 領域，為了達到產(chǎn)品質(zhì)量的要求，其工藝過程都需要一個干凈的加工環(huán)境，例如在半導體加 工過程中廣泛應用的化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、刻蝕、氧化等工藝制程，為 了提供一個較佳的工藝環(huán)境，加工過程往往都在一個封閉的腔體內(nèi)進行，這個時候就需要 一種腔體設備，特別是真空腔體設備，腔體設備是貫穿整個生產(chǎn)制程，且也是最普遍、最重 要的設備。隨著廣泛應用在制造電致發(fā)光顯示裝置中的玻璃襯底已經(jīng)變得越來越大，例如在 第六代尺寸為1500mmX 1800mm，第七代中尺寸為1870mmX2200mm，以及在第八代中尺寸為 2160mmX2400mm的玻璃襯底都會被引入到生產(chǎn)線。較大的玻璃襯底當然需要更大的腔體與 腔蓋與之適應，所以腔蓋的重量相對應的會越來越重。然而，有時候為了保證腔體內(nèi)的真空 質(zhì)量，需要定期或不定期的對腔體內(nèi)的部件進行清理和維護，比如腔體內(nèi)部零部件需要更 換、改造、調(diào)試或者說腔體內(nèi)部需要清理的時候，就需要將腔蓋打開進行維護。在維護的過 程中既要確保調(diào)試人員的安全和腔蓋的穩(wěn)定，又要保證調(diào)試的方便性，所以對腔蓋進行穩(wěn) 定定位的機構(gòu)相當?shù)闹匾６F(xiàn)有的定位裝置要么穩(wěn)定性及可靠性不足，并且結(jié)構(gòu)過于復
雜o因此，急需一種結(jié)構(gòu)簡單、性能安全可靠的具有定位及支撐功能的真空腔定位裝置。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、性能安全可靠的具有定位及支撐功能 的真空腔定位裝置。為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供一種真空腔定位裝置，適用于對提供真空環(huán) 境的真空腔體進行密封的腔蓋進行定位及支撐，所述真空腔定位裝置包括支架、支臂、鉸鏈 軸及定位桿，所述支架的起始端與所述真空腔體固定連接，所述支臂的起始端與所述腔蓋 固定連接，所述支架的末端與所述支臂的末端相互重疊且均開設有相互對應的容置孔，所 述鉸鏈軸樞接地穿過所述容置孔使所述支架與所述支臂樞接，所述支臂的末端及所述支架的末端以所述容置孔的中心為圓心等徑地開設有定位孔，所述定位桿可插拔的插入所述支 臂的末端及所述支架的末端的定位孔內(nèi)實現(xiàn)支臂與支架的固定。較佳地，所述支架上開設有與所述定位桿數(shù)量相等的暫存孔，所述暫存孔容置所 述定位桿。在腔蓋上升或者下降過程及腔蓋關閉時，不需要使用所述定位桿對腔蓋進行鎖 定，所述定位桿脫離于所述定位孔之外，為了保證定位桿不至于丟失或者遺落，在所述支架 上設置的所述暫存孔可用于暫時存放所述定位桿，防止所述定位桿丟失。較佳地，所述支架的末端還固定連接有支架加強塊，所述支臂的末端還固定連接 有支臂加強塊，所述支架加強塊及所述支臂加強塊相互重疊，所述容置孔及定位孔開設于 所述支架加強塊及所述支臂加強塊上。由于真空腔定位裝置一般用于對較大的腔蓋進行定 位，腔蓋重量都比較大，在定位過程中，極有可能因為腔蓋太重而導致支架及支臂出現(xiàn)彎曲 變形，嚴重時甚至斷裂，對正在進在清理或維護腔體的工作人員造成致命的傷害。因此，在 所述支架及支臂上增加了支架加強塊及支臂加強塊可以增加所述支架及所述支臂的強度， 從而使所述支架及所述支臂具有足夠的支撐力支撐笨重的腔蓋，保證整個真空腔定位裝置 穩(wěn)定性及可靠性，防止意外的發(fā)生。與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本實用新型所述支架及所述支臂通過鉸鏈軸鉸接，并在所 述支架及所述支臂的所述容置孔周圍以所述容置孔的中心為圓心等徑地設置所述定位孔， 定位時，通過轉(zhuǎn)動所述支臂，所述支臂圍繞所述容置孔的中心轉(zhuǎn)動，使所述支架及所述支臂 上的定位孔重合，再將所述定位桿放置于兩定位孔內(nèi)，使所述支臂不能繼續(xù)圍繞所述容置 孔的中心轉(zhuǎn)動，從而達到定位的目的，結(jié)構(gòu)簡單，性能安全可靠。

圖1是本實用新型真空腔定位裝置的第一實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1所示的真空腔定位裝置應用于腔蓋對真空腔體密封時的狀態(tài)圖。圖3是圖1所示的真空腔定位裝置應用于腔蓋對真空腔體開啟時的狀態(tài)圖。圖4是本實用新型真空腔定位裝置的第二實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5是圖4所示的真空腔定位裝置應用于腔蓋對真空腔體密封時的狀態(tài)圖。圖6是圖4所示的真空腔定位裝置應用于腔蓋對真空腔體開啟時的狀態(tài)圖。
具體實施方式
如圖1所示，為本實用新型真空腔定位裝置100的第一實施例，包括支架1、支臂 2、鉸鏈軸3及一定位桿4，所述支架1的起始端與所述真空腔體202固定連接，所述支臂2 的起始端與所述腔蓋201固定連接，所述支架1的末端與所述支臂2的末端相互重疊且均 開設有相互對應的容置孔5，所述鉸鏈軸3樞接地穿過所述容置孔5使所述支架1與所述支 臂2樞接，所述支臂2的末端及所述支架1的末端以所述容置孔5的中心為圓心等徑地開 設有支臂定位孔21及數(shù)個支架定位孔11，所述定位桿4可插拔的插入所述支臂2的末端 及所述支架1的末端的所述支臂定位孔21及支架定位孔11內(nèi)實現(xiàn)所述支臂2與支架1的 固定。當所述支臂2繞所述鉸鏈軸3轉(zhuǎn)動一定角度時，所述支臂定位孔21可與在該角度對 應的所述支架定位孔11重合，所述定位桿4容置于相重合的所述支臂定位孔21及支架定 位孔11內(nèi)。所述支架1上設置有與所述定位桿4數(shù)量相等的暫存孔13，所述暫存孔13容
4置所述定位桿4，當腔蓋201上升或者腔蓋201下降過程及關閉時，不需要使用所述定位桿 4對真空腔蓋202進行鎖定，所述定位孔4放置于所述暫存孔13內(nèi)，可以防止所述定位桿4 丟失。如圖2及圖3所示，為本實用新型應用于真空腔體202時的結(jié)構(gòu)示意圖，所述支架 1安裝于真空腔體202側(cè)壁上，所述支臂2與所述支架1鉸接，腔蓋201固定于所述支臂2 上，所述腔蓋201關閉時，所述定位桿4放置于所述暫存孔13內(nèi)，所述真空腔定位裝置100 解鎖，整個真空腔體202處于密封狀態(tài)。當需要對真空腔體202內(nèi)部進行清理或維護時，所 述腔蓋201打開，所述支臂2帶動所述腔蓋201繞所述鉸鏈軸3轉(zhuǎn)動一定角度，當調(diào)整到合 適角度時，所述支架定位孔11與所述支臂定位孔21重合，這時即可將存放于所述暫存孔13 內(nèi)的所述定位桿4拔出并放置于重合的所述支架定位孔11及支臂定位孔21內(nèi)，即可鎖定 真空腔定位裝置100，腔蓋201即被鎖定在該位置。所述腔蓋201的定位角度可任意調(diào)整， 只需要將所述支臂定位孔21調(diào)整到與其他支架定位孔11重合再將所述定位桿4置于其內(nèi) 即可。當關閉時，將所述定位桿4拔出放回所述暫存孔13內(nèi)再關閉所述真空腔體202即可。所述支臂2上也可設置多個所述支臂定位孔21，當所述支臂2繞所述鉸鏈軸3轉(zhuǎn) 動一定角度進行定位時，數(shù)個所述支臂定孔21可分別同時與在該角度對應的數(shù)個所述支 架定位孔11重合，當然，此時也需要增加所述定位桿4的數(shù)量，數(shù)個所述定位桿4側(cè)分別容 置于相重合的所述支架定位孔11及支臂定位孔21內(nèi)。所述暫存孔13應在所述支架1上 設置與所述定位桿4相等的數(shù)量，以便在不需要定位時儲存所有所述定位桿4。如圖4、圖5及圖6所示，為本實用新型真空腔定位裝置100的第二實施例，在第一 實施例的基礎上增架支架加強塊12及支臂加強塊22，所述支架加強塊12及所述支臂加強 塊22固定連接在所述支架1及所述支臂2的末端并相互重疊，所述容置孔5、支架定位孔11 及支臂定位孔21開設于所述支架加強塊12及所述支臂加強塊22上。所述支架加強塊12 及支臂加強塊22可以增加所述支架1及所述支臂2的強度，從而使所述支架1及所述支臂 2具有足夠的支撐力支撐重量較大的腔蓋201，保證整個真空腔定位裝置100具有足夠的穩(wěn) 定性及可靠性，防止所述支臂2斷裂對正在進在清理或維護真空腔體202的工作人員造成 傷害。本實用新型所述支架1及所述支臂2通過鉸鏈軸3鉸接，并在所述支架1及所述 支臂2的所述容置孔5周圍以所述容置孔5的中心為圓心等徑地設置定位孔，定位時，通過 轉(zhuǎn)動所述支臂2，所述支臂2圍繞所述容置孔5的中心轉(zhuǎn)動，使所述支架1及所述支臂2上 的定位孔重合，再將所述定位桿4放置于所述支架定位孔11及支臂定位孔21內(nèi)，使所述支 臂2不能繼續(xù)圍繞所述容置孔5的中心轉(zhuǎn)動，從而達到定位的目的，且由于定位桿4獨立于 所述支架1，因此設置所述暫存孔13放置所述定位桿4，可防止所述定位桿4丟失，并且在 所述支架1及所述支臂2的末端增加支架加強塊12及支臂加強塊22，可以增加所述支架 1及所述支臂2的強度，防止因腔蓋201太重而導致支架1及支臂2出現(xiàn)彎曲變形，甚至斷 裂，對正在進在清理或維護腔體的工作人員造成傷害，結(jié)構(gòu)簡單，性能安全可靠。本實用新型真空腔定位裝置100所涉及到的腔蓋201及真空腔體202的尺寸大小 及安裝方法均為本領域普通技術(shù)人員所熟知，在此不再做詳細的說明。以上所揭露的僅為本實用新型的較佳實例而已，當然不能以此來限定本實用新型之權(quán) 禾瞞圍，因此依本實用新型申請專利范圍所作的等同變化，仍屬于本實用新型所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求一種真空腔定位裝置，適用于對提供真空環(huán)境的真空腔體進行密封的腔蓋進行定位及支撐，其特征在于所述真空腔定位裝置包括支架、支臂、鉸鏈軸及定位桿，所述支架的起始端與所述真空腔體固定連接，所述支臂的起始端與所述腔蓋固定連接，所述支架的末端與所述支臂的末端相互重疊且均開設有相互對應的容置孔，所述鉸鏈軸樞接地穿過所述容置孔使所述支架與所述支臂樞接，所述支臂的末端及所述支架的末端以所述容置孔的中心為圓心等徑地開設有定位孔，所述定位桿可插拔的插入所述支臂的末端及所述支架的末端的定位孔內(nèi)實現(xiàn)支臂與支架的固定。
2.如權(quán)利要求1所述的真空腔定位裝置，其特征在于所述支架上開設有與所述定位 桿數(shù)量相等的暫存孔，所述暫存孔容置所述定位桿。
3.如權(quán)利要求1所述的真空腔定位裝置，其特征在于所述支架的末端還固定連接有 支架加強塊，所述支臂的末端還固定連接有支臂加強塊，所述支架加強塊及所述支臂加強 塊相互重疊，所述容置孔及定位孔開設于所述支架加強塊及所述支臂加強塊上。
專利摘要本實用新型公開了一種真空腔定位裝置，適用于對提供真空環(huán)境的真空腔體進行密封的腔蓋進行定位及支撐，所述真空腔定位裝置包括支架、支臂、鉸鏈軸及定位桿，所述支架的起始端與所述真空腔體固定連接，所述支臂的起始端與所述腔蓋固定連接，所述支架的末端與所述支臂的末端相互重疊且均開設有相互對應的容置孔，所述鉸鏈軸樞接地穿過所述容置孔使所述支架與所述支臂樞接，所述支臂的末端及所述支架的末端以所述容置孔的中心為圓心等徑地開設有定位孔，所述定位桿可插拔的插入所述支臂的末端及所述支架的末端的定位孔內(nèi)實現(xiàn)支臂與支架的固定。本實用新型具有定位及支撐功能，結(jié)構(gòu)簡單、性能安全可靠。
文檔編號H01L21/00GK201608165SQ200920274209
公開日2010年10月13日 申請日期2009年12月1日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月1日
發(fā)明者劉惠森, 葉宗鋒, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良, 郭遠倫 申請人:東莞宏威數(shù)碼機械有限公司