專利名稱：制造平板顯示裝置的方法
技術(shù)領域：
'
本發(fā)明的各方面涉及一種制造平板顯示裝置的方法，更具體地講，涉及 一種制造以玻璃密封材料密封的平板顯示裝置的方法。
背景技術(shù)：
通常，諸如有機發(fā)光顯示裝置或薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)的 平板顯示裝置可^^制造為具有薄而有彈性的結(jié)構(gòu)。由于這些有用的性質(zhì)，對 平板顯示裝置的研究正在積極進行。
通常，有機發(fā)光顯示裝置可能會由于濕氣而劣化。因此，需要一種密封 結(jié)構(gòu)來防止?jié)駳鉂B入。
傳統(tǒng)上，作為密封件的金屬殼體或玻璃基底^R形成為具有凹槽的帽形結(jié) 構(gòu)。然后，用干燥劑粉體填充這些凹槽，以吸收濕氣?；蛘撸衫秒p面膠 帶使干燥劑薄膜附著到這些凹槽，以吸收濕氣。然后，包括發(fā)光裝置的密封 件和基底彼此結(jié)合并用紫外(UV )硬化有機密封劑或熱硬化有機密封劑密封。
用于使密封件與基底結(jié)合的有機密封劑易受壓力的影響。此外，有機密 封劑的抗?jié)駳馓匦噪S著時間快速減弱，且密封效果減弱。
由于這些和/或其它問題，近來已經(jīng)使用玻璃密封材料代替有機密封劑， 以獲得極好的抗壓特性和密封特性。使用激光束來使玻璃密封材料熔化。
第2007/0128967號美國專利申請公開了 一種使用玻璃密封材料并利用激 光束使玻璃密封材料熔化的密封方法。
在所公開的方法中，多個發(fā)射裝置被置于一對彼此面對的母玻璃(mother glass)之間。然后，每一發(fā)射裝置被玻璃密封材料所形成的閉環(huán)結(jié)構(gòu)完全圍 繞，然后，激光束照射到閉環(huán)結(jié)構(gòu)上以使玻璃密封材料熔化。
由于激光束沿著圍繞每一發(fā)射裝置的閉環(huán)結(jié)構(gòu)照射玻璃密封材料，所以激光束經(jīng)過的照射軌跡會具有與圍繞每一發(fā)射裝置的閉環(huán)結(jié)構(gòu)的形狀相同的 形狀。因此，激光束形成數(shù)量與發(fā)射裝置的數(shù)量相同的閉環(huán)結(jié)構(gòu)。
在這一方法中，由于激光束照射期間所產(chǎn)生的熱應力，母玻璃的切割表 面可能有缺陷。
當玻璃密封材料被激光束熔化以使母玻璃結(jié)合時，在玻璃密封材料熔化 和冷卻時重復溫度的升高和降低的循環(huán)。結(jié)果是，各種熱沖擊被施加到母玻
璃上，從而在母玻璃中出現(xiàn)不均勻的應力。由于不均勻的應力，會難以精確 切割母玻璃，并且母玻璃的切割側(cè)會有突起。此外，母玻璃與發(fā)射裝置的部 件對應的部分會膨脹，并形成可見的牛頓環(huán)結(jié)構(gòu)。
此外，每當激光束照射到相鄰的發(fā)射裝置上時，母玻璃中會出現(xiàn)更多的 應力變化。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的各方面提供一種制造平板顯示裝置的方法，其中，當玻璃密封 材料被熔化以結(jié)合母玻璃時施加到母玻璃的應力變化被最小化。
根據(jù)本發(fā)明的實施例，提供一種制造平板顯示裝置的方法，該方法包括 在第一基底和第二基底之間設置多個發(fā)射單元，其中，第一基底面對第二基 底，每一發(fā)射單元形成單元顯示裝置；在第一基底和第二基底之間設置多個 墻壁，其中，每一墻壁分別圍繞一個發(fā)射單元；將激光束同時照射到沿第一 方向排列在一行中的多個第一墻壁部分；沿第二方向掃描激光束以照射所述 多個墻壁的其它墻壁部分，其中第二方向不同于第一方向；切割第一基底和 第二基底以獲得各個顯示裝置。
根據(jù)本發(fā)明的一方面，第一方向可垂直于第二方向。
根據(jù)本發(fā)明的一方面，每一個圍繞發(fā)射單元的墻壁包括沿第一方向延伸 的第一墻壁部分和沿第二方向的第二墻壁部分，其中，激光束同時照射到沿 第一方向排列在一行中的第一墻壁部分中的每一個上，并且同時照射到第二 墻壁部分的至少一部分上。
根據(jù)本發(fā)明的一方面，激光束通過掩模并到達墻壁，其中，所述掩模包 括透光區(qū)域，激光束通過該透光區(qū)域；擋光區(qū)域，遮擋激光束，圍繞透光 區(qū)域，包括多個遮擋部分，所述多個遮擋部分相分離并且沿激光束通過的方 向布置。
6根據(jù)本發(fā)明的一方面，在所述多個遮擋部分之間可設置介電層。
根據(jù)本發(fā)明的一方面，所述掩?？砂ㄍ该鞑Ａ?，具有第一表面和第 二表面，其中第一表面面向第二表面，擋光區(qū)域可包括形成在透明玻璃的第 一表面上的第一遮擋部分和形成在透明玻璃的第二表面上的第二遮擋部分。 根據(jù)本發(fā)明的一方面，第 一遮擋部分和第二遮擋部分可具有不同的圖案。 根據(jù)本發(fā)明的一方面，透光區(qū)域和墻壁可具有相同的圖案。 根據(jù)本發(fā)明的一方面，透光區(qū)域和墻壁可具有不同的圖案。 根據(jù)本發(fā)明的一方面，透光區(qū)域可具有暴露每一墻壁的圍繞部分的圖案。 根據(jù)本發(fā)明的一方面，擋光區(qū)域可包括反射激光束的光反射層。 根據(jù)本發(fā)明的一方面，擋光區(qū)域可包括吸收激光束的光吸收層。 根據(jù)本發(fā)明的一方面，可通過多個激光發(fā)射二極管來發(fā)射激光束，所述 多個激光發(fā)射二^l管彼此連接并排列成一行，并且同時發(fā)射光。
根據(jù)本發(fā)明的一方面，所述激光束是矩形線激光束，其中，該線激光束 的長邊具有與沿第 一方向排列的多個第 一墻壁部分的寬度對應的長度。
根據(jù)本發(fā)明另一實施例，提供一種制造平板顯示裝置的方法，該方法包 括提供第一基底、第二基底、設置在第一基底或第二基底上的多個發(fā)射單 元以及激光密封材料的多個墻壁，其中，第一基底面向第二基底，每一發(fā)射 單元形成單元顯示裝置，每一發(fā)射單元^皮所述多個墻壁之一圍繞，所述多個 墻壁中的每一個包括沿第 一方向延伸的第 一墻壁部分和沿不同于第 一方向的 第二方向延伸的第二墻壁部分，所述多個發(fā)射單元被布置成提供沿第一方向
排列在一行中的多個第一墻壁部分；提供激光照射器，該激光照射器包括沿
第一方向延伸的多個激光發(fā)射器；沿第二方向掃描激光照射器，以使得沿第 一方向排列在一行中的第 一墻壁部分被同時照射，沿第二方向延伸的第二墻 壁部分隨著激光照射器掃描而被逐步照射，從而每一發(fā)射單元被密封以提供 單元顯示裝置。
本發(fā)明另外的方面和/或優(yōu)點將通過下面的描述部分地被闡述，并且部分 地將通過描述變得明顯，或者可通過本發(fā)明的實踐而了解。


通過下面結(jié)合附圖對實施例的描述，本發(fā)明的這些和/或其他方面和優(yōu)點 將變得明顯并更容易理解，附圖中圖1是根據(jù)本發(fā)明實施例的制造平板顯示裝置的過程中使用的基底和激
光照射器的俯-見圖2是示出沿圖1的線II-II截取的圖1的基底的剖視圖、掩模的剖視圖
和激光照射器的剖視圖的示圖3是設置在圖1中示出的基底上的發(fā)射單元的剖視圖4是圖1中示出的激光照射器的仰視圖5是根據(jù)本發(fā)明實施例的圖2中示出的掩模的俯視圖6是根據(jù)本發(fā)明另一實施例的圖2中示出的掩模的俯視圖7是根據(jù)本發(fā)明實施例的用激光束執(zhí)行的掃描處理的示意圖8是根據(jù)本發(fā)明另一實施例的用激光束執(zhí)行的掃描處理的示意圖9是根據(jù)本發(fā)明實施例的激光束所通過的掩模的剖視圖IO是根據(jù)本發(fā)明另一實施例的掩模的剖視圖，其中激光束以傾斜角度
入射；
圖ll是根據(jù)本發(fā)明另一實施例的掩模的剖視圖12是根據(jù)本發(fā)明實施例的使用制造平板顯示裝置的方法制造的平板 顯示裝置中所使用的基底的另 一示例的俯視圖。
具體實施例方式
現(xiàn)在將詳細說明本發(fā)明的當前實施例，其示例示出于附圖中，在附圖中， 相同的標號始終表示相同的部件。下面，參照附圖描述實施例以解釋本發(fā)明。
應該理解的是，當一個層在此被稱作"形成在"或"設置在"第二層"上" 時，第一層可以直接形成在或直接設置在第二層上，或者在第一層和第二層 之間可存在中間層。此外，如這里所使用的，術(shù)語"形成在......上"以與"位
于......上"或"設置在......上"相同的含義使用，而不意味著被限制為關(guān)于
任何特定制造工藝。
以下，將參照附圖詳細描述本發(fā)明的實施例。
圖1是根據(jù)本發(fā)明實施例的制造平板顯示裝置的方法中所使用的基底和 激光照射器的俯視圖，圖2包括沿圖1的線n-II截取的剖視圖、掩模的剖視 圖和激光照射器的剖視圖。
參照圖1和圖2,第一基底1面向第二基底2。第一基底1具有形成在其 上的多個發(fā)射單元3。第一基底1和第二基底2是形成多個單元裝置的母玻
8璃。
第一基底1和第二基底2中的每一個可以是透明基底。或者，第一基底
1和第二基底2中的任何一個可以是不透明基底，同時第一基底1和第二基 底2中的另一個是透明基底。
每一發(fā)射單元3可包括多個發(fā)射裝置。例如，每一發(fā)射單元3可以是包 括多個有機發(fā)射裝置的有機發(fā)射單元。
圖3是示出發(fā)射單元3中可包括的有機發(fā)射裝置的示例，具體地講，有 源驅(qū)動的有機發(fā)光裝置(OLED)的剖視圖。
參照圖3,在第一基底1上設置絕緣層11。絕緣層11可以是用于防止雜 質(zhì)離子擴散并且/或者防止?jié)駳饣蛲獠繗怏w滲入，并且用于使所得結(jié)構(gòu)的表面 平坦化的隔層。
由半導體材料形成的薄膜晶體管(TFT)的有源層12設置在絕緣層11 上，柵極絕緣層13覆蓋有源層12。有源層12可由無機半導體(如非晶硅或 多晶硅)或有機半導體形成。有源層12包括源區(qū)12b、漏區(qū)12c以及形成在 源區(qū)12b和漏區(qū)12c之間的溝道區(qū)12a。
柵電極14設置在柵極絕緣層13上，層間絕緣層15覆蓋柵電極14。源 電極16a和漏電極16b設置在層間絕緣層15上，平坦化層17和像素限定層 18依次形成在所得結(jié)構(gòu)上。
柵極絕緣層13、層間絕緣層15、平坦化層17和像素限定層18可由絕緣 材料形成。柵極絕緣層13、層間絕緣層15、平坦化層17和像素限定層18中 的每一個可形成為單層，或者可包括多層。此外，柵極絕緣層13、層間絕緣 層15、平坦化層17和像素限定層18中的每一個可由有機材料、無機材料或 有機/無機復合物形成。
TFT的堆疊結(jié)構(gòu)不限于上述結(jié)構(gòu)，TFT可具有其它堆疊結(jié)構(gòu)。
作為OLED的電極的像素電極31設置在平坦化層17上，像素限定層18 設置在像素電極31上。像素限定層18具有暴露像素電極31的開口。 OLED 的有機發(fā)射層32形成在像素電極31上。
OLED根據(jù)電流發(fā)射紅光、綠光或藍光，并顯示預定圖像信息。OLED 包括通過接觸孔與TFT的漏電極16b接觸的像素電極31、覆蓋所有像素的相 對電極33以及設置在像素電極31和相對電極33之間的有機發(fā)射層32。有 機發(fā)射層32發(fā)射光。像素電極31通過有機發(fā)射層32與相對電極33絕緣。像素電極31和相 對電極33將具有不同極性的電壓施加到有機發(fā)射層32，以使得有機發(fā)射層 32發(fā)光。
有機發(fā)射層32可以是小分子有機層或聚合物有機層。當有機發(fā)射層32 是小分子有機層時，有機發(fā)射層32可包括空穴注入層(HIL)、空穴傳輸層 (HTL)、發(fā)射層(EML)、電子傳輸層(ETL)和電子注入層(EIL),其中 每一層可以是單層，或者可具有多層。可用的小分子有機材料的例子包括 銅酞菁(CuPc)、 NPB (N，N'-di naphthalene-l-yl-N，N'-diphenyl-benzidine)和 三-8-羥基p奎啉鋁(tris-8-hydroxyquinoline aluminum (Alq3))。小分子有機層可 通過真空沉積而形成。HIL、 HTL、 ETL和EIL是紅像素、綠像素和藍像素 的公共層。因此，與圖3中所示的結(jié)構(gòu)不同，這些公共層可形成為以與相對 電極33相同的方式覆蓋發(fā)射單元3的所有像素。
像素電極31可用作陽極，相對電極33可用作陰極?；蛘撸袼仉姌O31 可用作陰極，相對電極33可用作陽極。
在底部發(fā)射型有機發(fā)光顯示裝置，即在第一基底1那一側(cè)形成圖像的顯 示裝置的情況下，像素電極31可以是透明電極，相對電極33可以是反射電 極。像素電極31可以由具有高功函數(shù)的材料，如ITO、 IZO、 ZnO或ln203 形成，相對電極33可由具有低功函數(shù)的金屬，如Ag、 Mg、 Al、 Pt、 Pd、 Au、 Ni、 Nd、 Ir、 Cr、 Li或Ca形成。
在頂部發(fā)射型有機發(fā)光顯示裝置，即在相對電才及33那一側(cè)形成圖像的顯 示裝置的情況下，像素電極31可以是反射電極，相對電極33可以是透明電 極。像素電極31可包括由金屬(如Ag、 Mg、 Al、 Pt、 Pd、 Au、 Ni、 Nd、 Ir、 Cr、 Li、 Ca或其混合物)以及具有高功函數(shù)的材料(如ITO、 IZO、 ZnO或 111203 )形成的反射層。相對電極33可通過這樣的方式形成沉積具有低功函 數(shù)的金屬(如Ag、 Mg、 Al、 Pt、 Pd、 Au、 Ni、 Nd、 Ir、 Cr、 Li、 Ca或其混 合物)并在其上沉積透明導電材料(如ITO、 IZO、 ZnO或ln203 )，以形成輔 助電極層或匯流電極線。
在于兩個方向上形成圖像的發(fā)射型有機發(fā)光顯示裝置中，像素電極31 和相對電極33可以是透明電極。
像素電極31和相對電極33還可由其它材料形成。例如，像素電極31 和相對電極33可由導電有機材料或包含例如Ag、 Mg或Cu的導電顆粒的導
10電漿料形成?？梢岳脟娔∷⒎椒ㄍ糠髮щ姖{料，然后可在導電漿料上執(zhí) 行燒結(jié)工藝以形成電極。
鈍化層34設置在相對電極33上，以覆蓋發(fā)射單元3。鈍化層34可由無
機材料、有機材料或有機/無機復合物形成。
應理解的是，有機發(fā)射裝置的結(jié)構(gòu)不限于上面的描述，可使用其它結(jié)構(gòu)。 如圖l所示，在每一發(fā)射單元3附近設置焊盤單元4。焊盤單元4將相
應的發(fā)射單元3連接到外部裝置(未示出)，如集成電路(IC)或其它電路裝置。
沿第一方向X排列的發(fā)射單元3-焊盤單元4對的數(shù)量可為m,沿第二方 向Y排列的發(fā)射單元3-焊盤單元4對的數(shù)量可為n。 一個發(fā)射單元3和一個 焊盤單元4形成一個單位(cell)。在如圖l所示的單位中，發(fā)射單元3設置 在焊盤單元4附近，并且發(fā)射單元3和焊盤單元4沿第二方向Y彼此對齊。 然而，發(fā)射單元3設置在焊盤單元4附近并且發(fā)射單元3和焊盤單元4沿第 一方向X;f皮此對齊也是可以的。還可以使焊盤4圍繞發(fā)射單元3。應該理解 的是，包括發(fā)射單元3和焊盤單元4的單位的結(jié)構(gòu)不限于上面的描述，可使 用其它結(jié)構(gòu)。
在形成平板顯示裝置的過程中，以閉環(huán)結(jié)構(gòu)(即，圍墻結(jié)構(gòu))的形狀將 漿料狀態(tài)的玻璃密封材料涂敷到面向第一基底1的第二基底2的表面，使得 每一發(fā)射單元3被玻璃密封材料圍繞，然后玻璃密封材料-故預燒結(jié)以形成墻 壁5?；蛘撸瑝Ρ?可形成在面向第二基底2的第一基底1的表面上。在每 一單位中，墻壁5包括兩個第一墻壁51和兩個第二墻壁52?？衫梅炙推?(dispenser)將漿料狀態(tài)的玻璃密封材料順序施加到每一單位，或者可通過 絲網(wǎng)印刷將漿料狀態(tài)的玻璃密封材料同時施加到所有單位。
漿料狀態(tài)的玻璃密封材料可包括玻璃料。玻璃料可包括吸收激光束的工 作波長的吸收材料，如鐵、銅、釩或釹。此外，考慮到第一基底1和/或第二 基底2的熱膨脹系數(shù)，玻璃料還可包括填充材料。玻璃密封材料還可包括任 何其它已知的玻璃料。
然后，設置有墻壁5的第二基底和第一基底1被適當?shù)夭贾?，激光照?器7將激光束照射到每一單位的墻壁5,以使玻璃密封材料熔化。然后，熔 化的玻璃密封材料被冷卻，從而使第一基底與第二基底2結(jié)合?？蓪㈩A定的 壓力施加到第一基底1和第二基底2，以使得第一基底1和第二基底2與墻壁5充分接觸。
如圖2所示，激光束照射到第一基底1。然而，激光束的照射方向不限
于此。作為替代方式，激光束可照射到第二基底2。作為另一個替代方式， 激光束可同時照射到第一基底1和第二基底2。
根據(jù)本發(fā)明的多個方面，如圖1所示，激光束可照射到圍繞沿第一方向 X排列的一行中的發(fā)射單元3的第一組墻壁51。然后，如圖l所示，激光照 射器7可移動，以沿掃描方向S(即，第二方向Y)掃描其它墻壁52。
即，激光照射器7將激光束同時照射到圖1的沿第一方向X排列的一行 發(fā)射單元3的第一組墻壁51,然后在沿第二方向Y移動的同時將激光束照射 到這一行發(fā)射單元3的其它墻壁52。然后，當激光照射器7完全掃描這一行 發(fā)射單元3時，激光照射器7將激光束同時照射到圖1的沿第一方向X排列 的發(fā)射單元3的第二組墻壁51。然后，隨著激光照射器7繼續(xù)在S方向上掃 描，對第二及后續(xù)行的發(fā)射單元3重復這一過程。
由于激光束同時照射到沿第一方向X排列在一行中的發(fā)射單元3的墻壁 51,然后沿第二方向Y掃描以照射其它墻壁52,所以熱應力可均勻施加到作 為母玻璃的第一基底1和第二基底2。
因此，第一基底1和第二基底的與沿第一方向X排列在一行中的發(fā)射單 元3對應的部分受到相同強度的熱應力的影響。此外，由于整個一行的發(fā)射 單元3被同時照射，而非依次單獨地照射每一個發(fā)射單元3，所以第一基底l 和第二基底2暴露于熱應力n次，而非mxn次。因此，第一基底1和第二 基底2較少暴露于當激光束照射到相鄰單位時所產(chǎn)生的額外熱應力。
在第一基底1和第二基底2上沿第一方向X排列在一行中的墻壁51可 同時暴露于圖4所示的激光照射器7所照射的激光束?？赏ㄟ^將布置成一行 的多個激光發(fā)射二極管72連接，然后使激光發(fā)射二極管72在基底71上排列 來形成激光照射器7。
每一激光發(fā)射二極管72可發(fā)射具有400nm至1200nm的波長的激光束， 并具有線-條結(jié)構(gòu)(line-bar structure )。由于激光發(fā)射二極管72彼此連接并且 布置成一行，所以激光照射器7可發(fā)射具有均勻強度的激光束。對此，從激 光發(fā)射二極管72發(fā)射的激光束所形成的束點可重疊，從而可獲得均勻的線激 光束。對于所有激光束，線激光束的均勻性可在±5%內(nèi)，但不限于此。
激光照射器7還可包括聚焦激光束并發(fā)射均勻線光束的光學系統(tǒng)(未示出)。該光學系統(tǒng)可包括準直透鏡、均勻化透鏡和投影透鏡。當通過該光學系 統(tǒng)對激光束聚焦時，與僅使用激光二極管時相比，可獲得高效率。
即，激光束可被聚焦以形成具有幾百pm至2mm束寬的線激光束。
該線激光束可具有矩形截面。矩形截面的長邊的長度可與沿第一方向X 排列在一行中的墻壁51中最左側(cè)的墻壁和最右側(cè)的墻壁之間的距離對應。
矩形截面的長邊可具有平頂形狀能量分布，矩形截面的短邊可具有高斯 形狀或平頂形狀能量分布。
如圖1和圖4所示，激光照射器7可沿第一方向X延伸一定距離，以使 得最左側(cè)的激光發(fā)射二極管72與最右側(cè)的激光發(fā)射二極管72之間的距離與 第 一基底1沿第 一方向X的寬度以及第二基底2沿第 一方向X的寬度對應。 如圖1所示，最左側(cè)和最右側(cè)的發(fā)射單元3沿X方向與第一基底1和第二基 底2的邊緣分離開預定距離，因此作為替代方式，激光照射器7沿第一方向 X的寬度可與最左側(cè)單位的最左端與最右側(cè)單位的最右端之間的距離對應， 其中該最左側(cè)單位和最右側(cè)單位排列在同 一行中。
然而，如上所述，當激光照射器7包括分離的光學系統(tǒng)時，該光學系統(tǒng) 可使線激光束發(fā)散或聚焦。因此，激光照射器7沿第一方向X的長度可小于 第一基底1和第二基底2沿第一方向X的寬度。
如圖4所示連接成一行的預定數(shù)量的激光發(fā)射二極管72被定義為單元， 這些單元被適當?shù)亟M合以掃描更大的基底或更小的基底。因此，可對應于母 玻璃的大小來控制單元的數(shù)量，從而激光束可同時照射到母玻璃上沿預定方 向排列的被選裝置。此外，即使從激光照射器7發(fā)射的激光束的X方向上的 線激光束的寬度短于母玻璃在X方向上的寬度，也可通過沿第二方向Y執(zhí)行 若干次掃描處理來完全掃描母玻璃。因此，激光照射器7也可較小。
如圖2所示，掩模6可設置在激光照射器7和第一基底l之間，以使得 激光束通過掩模6并到達墻壁5。
掩模6包括具有透光區(qū)域64和擋光區(qū)域65的透光透明玻璃61。掩模6 可布置為使得激光束僅照射到墻壁5上，并且使得發(fā)射單元3免受激光束的 影響。
如圖5所示，透光區(qū)域64和擋光區(qū)域65被圖案化為與結(jié)合的第一基底 l和第二基底2的單位對應。具體地講，擋光區(qū)域65可被圖案化為使得激光 束不照射到第一基底1的邊緣和發(fā)射單元3。因此，如圖2所示，透光區(qū)域64具有與相鄰單位之間的墻壁5對應的開口圖案，因此透光區(qū)域64具有足 夠大的寬度以使得激光束充分照射到墻壁5。
然而，透光區(qū)域64的圖案不限于上面描述的圖案結(jié)構(gòu)。對此，如圖6 所示，透光區(qū)域64可具有與墻壁本身的圖案對應的圖案。
透光區(qū)域64的最小寬度可大于墻壁5的最大寬度。這是因為在激光束 的束剖面(beam profile )中，激光束的強度在中心處最大，隨著遠離中心強 度降低很多。因此，可適當調(diào)節(jié)透光區(qū)域64的寬度以便于用具有均勻強度的 激光束來掃描墻壁5。
當激光照射器7通過如圖1所示的掩模6照射激光束，并且如圖7所示， 線激光束L在X方向上的長度足夠大以使得排列在一行中的所有單位可被同 時掃描時，僅需要一個掃描處理S來將激光束照射到排列在一行中的所有單 位。
另一方面，如圖8所示，如果線激光束L在X方向上的長度使得排列在 一行中的所有單位不被同時掃描，例如，如果線激光束L的長度使得僅排列 在一行中的單位的一半^C同時掃描，則在第一區(qū)域中執(zhí)行第一掃描處理Sl， 然后在位于第一區(qū)域附近的第二區(qū)域中執(zhí)行第二掃描處理S2,從而用激光束 完成所有單位的掃描。
根據(jù)本發(fā)明的多個方面，掩模6的擋光區(qū)域65可包括至少兩個遮擋部分。 例如第一遮擋部分62和第二遮擋部分63。第一遮擋部分62和第二遮擋部分 63可以在激光束通過掩才莫6的方向上彼此分離。因此，當沿第一方向X延伸 的線激光束被照射時，發(fā)射單元3可免受傾斜激光束的影響。
即，根據(jù)本發(fā)明的多個方面，激光束同時照射到沿第一方向X排列在一 行中的單位上。因此，單位可能被暴露于從相鄰單位正上方的激光發(fā)射二極 管72發(fā)射的傾斜激光束。根據(jù)本發(fā)明的多個方面，擋光區(qū)域65的第一遮擋 部分62和第二遮擋部分63依次布置在激光束通過的方向上，以遮擋相鄰單 位的傾斜激光束。
具體地講，如圖9所示，由于第一遮擋部分62形成在透光透明玻璃61 的一個表面上，第二遮擋部分63形成在透光透明玻璃61的相對表面上，所 以第一遮擋部分62阻擋以傾斜角度入射到擋光區(qū)域65上的激光束，第二遮 擋部分63阻擋通過第一遮擋部分62的激光束或者以傾斜角度入射到透光區(qū) 域64上的激光束。因此，激光束僅照射到墻壁5上，而不損壞發(fā)射單元3。即，根據(jù)圖9的實施例，90°角的激光束入射在第一基底1和第二基底2上， 不同于90。的角度的激光束被第一遮擋部分62和第二遮擋部分63阻擋。
或者，掩模6可配置為允許與90。不同的角度的激光束入射在第一基底1
和第二基底2上。如圖IO所示，激光束可以以相對于法線的入射角e入射在
第一基底1和第二基底2上。在這種情況下，可以保護激光照射器免受從該 激光照射器照射然后向著該激光照射器反射回的激光束的沖擊。例如，入射 角0可以是3O?；蚋　?br> 如圖10所示，第一遮擋部分62和第二遮擋部分63可被布置為不同的圖 案，以使得以角度e入射在掩模6上并且在通過掩才莫6的透光透明玻璃61時 被折射的激光束入射到第一基底1和第二基底2上。
由于第一遮擋部分62和第二遮擋部分63具有不同的圖案，所以由第一 遮擋部分62限定的第一透光區(qū)域64a和第一擋光區(qū)域65a的圖案位置不同于 由第二遮擋部分63限定的第二透光區(qū)域64b和第二擋光區(qū)域65b的圖案位
置?？筛鶕?jù)用于形成透光透明玻璃61的材料和激光束的入射角e來確定這種
圖案位置的變化。
作為另一個替代方式，第一遮擋部分62和第二遮擋部分63中的至少一 個可包括多個遮擋部分。例如，如圖11所示，第一遮擋部分62可包括多個 第一遮擋部分62a和62b,第二遮擋部分63可包括多個第二遮擋部分63a和 63b,在第一遮擋部分62a和62b之間以及/或者在第二遮擋部分63a和63b 之間可插入介電層66。盡管圖11示出形成在整個掩模6中的介電層66，但 是本發(fā)明不限于此。因此，介電層66可僅形成在第一遮擋部分62a和62b之 間以及/或者第二遮擋部分63a和63b之間。
可考慮激光束的入射角e、束剖面、波長或者折射角來設計這些遮擋部 分的層間結(jié)構(gòu)。
第一遮擋部分62和第二遮擋部分63中的每一個可包括光反射層或光吸 收層。如果第一遮擋部分62和第二遮擋部分63包括光反射層，則第一遮擋 部分62和第二遮擋部分63可防止激光束照射到發(fā)射單元3，并且還可防止 由激光束引起的掩模6的溫度的升高。如果第一遮擋部分62和第二遮擋部分 63包括光吸收層，則可防止由激光束引起的執(zhí)行該制造方法的室中的溫度的 增力口。
如圖1和圖7所示，通過掩才莫6，激光束同時照射到沿第一方向X排列在一行中的第一墻壁51上，然后繼續(xù)照射到沿第一方向X排列在一行中的 第二墻壁52上，其中第一墻壁51垂直于第二墻壁52。即，與激光束沿著墻 壁5的閉環(huán)結(jié)構(gòu)照射每一個單位時的情況不同，在根據(jù)本發(fā)明多個方面的方 法中，對于每一單位，激光束同時照射到介于第二墻壁52之間的彼此面對的 第一墻壁51中的一個上，依次照射到第二墻壁52上，然后同時照射到另一 第一墻壁51上。即，在每一單位中，第一墻壁51中的每一個沿著其整個長 度被同時(而非依次)照射、熔化和硬化，從而提高粘合力。
盡管在先前描述的實施例中，激光束同時照射到沿第一方向X排列在一 行中的單位上，然后沿第二方向Y執(zhí)行掃描，但是本發(fā)明不限于此。如圖12 所示，激光束可同時照射到沿第二方向Y排列在一行中的單位上，然后可沿 第一方向X執(zhí)行掃描。
已經(jīng)參照有機發(fā)光顯示裝置描述了本發(fā)明的實施例。然而，本發(fā)明的多 個方面還可應用于其它平板顯示裝置，如液晶顯示裝置或無機電致發(fā)光顯示 裝置。
在以如上所述的方式使墻壁硬化之后，第 一基底和第二基底被切割并被 分為多個顯示裝置。
根據(jù)本發(fā)明的多個方面，作為母玻璃的第 一基底和第二基底具有更均勻 的熱應力，并且較少暴露于當激光束照射到相鄰單位時引起的額外熱應力。 結(jié)果，可防止諸如切割缺陷或牛頓環(huán)缺陷的裝置缺陷。
由于激光發(fā)射二極管被連接并沿第一方向排列，可獲得具有均勻強度的 線激光束。此外，可對應于不同母玻璃的大小容易地改變線激光束的大小。
掩模的擋光區(qū)域可包括彼此分離并在激光束通過的方向上布置的至少兩 個遮擋部分。因此，當用沿第一方向延伸的線激光束照射基底時，發(fā)射單元 可免受傾斜激光束的影響。
當擋光區(qū)域包括第一遮擋部分和第二遮擋部分，并且第一遮擋部分和第 二遮擋部分包括光反射層時，發(fā)射單元可免受激光束的影響，并且還可防止 由激光束f I起的掩模的溫度的增加。
當?shù)谝徽趽醪糠趾偷诙趽醪糠职ü馕諏訒r，可防止由激光束引起 的執(zhí)行該制造方法的室中的溫度的增加。
對于每一單位，沿第一方向排列的第一墻壁同時熔化和硬化，從而提高 了粘合力。盡管已經(jīng)顯示和描述了本發(fā)明的幾個實施例，但是本領域技術(shù)人員應該 理解，在不脫離本發(fā)明的遠離和精神的情況下，可對該實施例進行改變，本 發(fā)明的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。
權(quán)利要求
1、一種制造平板顯示裝置的方法，該方法包括在第一基底和第二基底之間設置多個發(fā)射單元，其中，第一基底面對第二基底，每一發(fā)射單元形成單元顯示裝置；在第一基底和第二基底之間設置多個墻壁，其中，每一墻壁分別圍繞一個發(fā)射單元；將激光束同時照射到沿第一方向排列成一行的多個第一墻壁部分；沿第二方向掃描激光束以照射所述多個墻壁的其它墻壁部分，其中第二方向不同于第一方向；切割第一基底和第二基底以獲得各個單元顯示裝置。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，第一方向垂直于第二方向。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，每一個圍繞發(fā)射單元的墻壁包括 沿第一方向延伸的第一墻壁部分和沿第二方向的第二墻壁部分，其中，激光 束同時照射到沿第一方向排列在一行中的第一墻壁部分中的每一個上，并且 同時照射到第二墻壁部分的至少 一部分上。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，激光束通過掩模并到達墻壁，其 中，所述掩模包括透光區(qū)域，激光束通過該透光區(qū)域；擋光區(qū)域，遮擋激光束，圍繞透光區(qū)域，包括多個遮擋部分，所述多個 遮擋部分相分離并且沿激光束通過的方向布置。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中，在所述多個遮擋部分之間設置介 電層。
6、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中，所述掩模包括透明玻璃，具有 第一表面和第二表面，其中在透明玻璃的相對側(cè)上，擋光區(qū)域包括形成在透 明玻璃的第一表面上的第一遮擋部分和形成在透明玻璃的第二表面上的第二 遮擋部分。
7、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中，所述掩模包括透明玻璃，該透明 玻璃在透明玻璃的相對側(cè)上具有第一表面和第二表面，其中，擋光區(qū)域包括 形成在透明玻璃的第一表面上的第一遮擋部分和形成在透明玻璃的第二表面 上的第二遮擋部分，并且第一遮擋部分和第二遮擋部分中的至少一個包括通過介電層分離的多個遮擋部分層。
8、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中，所述掩模包括透明玻璃，該透明 玻璃在透明玻璃的相對側(cè)上具有第一表面和第二表面，其中，擋光區(qū)域包括 形成在透明玻璃的第 一表面上的第 一遮擋部分和形成在透明玻璃的第二表面 上的第二遮擋部分，并且第一遮擋部分和第二遮擋部分中的每一個包括通過 介電層分離的多個遮擋部分層。
9、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中，第一遮擋部分和第二遮擋部分具 有不同的圖案。
10、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中，透光區(qū)域和墻壁具有相同的圖案。
11、 才艮據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中，透光區(qū)域和墻壁具有不同的圖案。
12、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中，透光區(qū)域具有暴露每一墻壁的 圍繞部分的圖案。
13、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中，擋光區(qū)域包括反射激光束的光 反射層。
14、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中，擋光區(qū)域包括吸收激光束的光 吸收層。
15、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，通過多個激光發(fā)射二極管來發(fā) 射激光束，所述多個激光發(fā)射二極管彼此連接并排列成一行，并且同時發(fā)射光。
16、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述激光束是矩形線激光束， 其中，該線激光束的長邊具有與沿第一方向排列的多個第一墻壁部分的寬度 對應的長度。
17、 一種制造平板顯示裝置的方法，該方法包括提供第一基底、第二基底、在第一基底或第二基底上設置的多個發(fā)射單 元以及激光密封材料的多個墻壁，其中，第一基底面向第二基底，每一發(fā)射 單元形成單元顯示裝置，每一發(fā)射單元被所述多個墻壁之一圍繞，所述多個 墻壁中的每一個包括沿第一方向延伸的第一墻壁部分和沿不同于第一方向的 第二方向延伸的第二墻壁部分，所述多個發(fā)射單元被布置成提供沿第一方向排列成一行的多個第 一墻壁部分；提供激光照射器，該激光照射器包括沿第一方向延伸的多個激光發(fā)射器； 沿第二方向掃描激光照射器，以使得沿第一方向排列在一行中的第一墻 壁部分被同時照射，沿第二方向延伸的第二墻壁部分隨著激光照射器掃描而 被逐步照射，從而每一發(fā)射單元被密封以提供單元顯示裝置。
18、 才艮據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，所述方法還包括切割第一基底和第 二基底，以分離單元顯示裝置。
19、 根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，所述方法還包括提供掩模，該掩模 允許來自激光照射器的激光束照射到所述多個墻壁并且阻止來自激光照射器 的激光束照射到發(fā)射單元。
20、 根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中，所述掩模包括遮擋部分，所述 遮擋部分在來自激光照射器的激光束通過的方向上彼此分離，所述遮擋部分 被布置成使得以與90°不同的預定角度入射在掩模上的激光束照射到所述多 個墻壁。
21、 根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中，所述掩模包括遮擋部分，所述 遮擋部分在來自激光照射器的激光束通過的方向上彼此分離，所述遮擋部分 被布置成使得以與90°不同的預定角度入射在掩模上的激光束被所述掩模阻 擋。
22、 根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中，所述激光照射器的寬度使得沿 第一方向排列在一行中的整個一行第一墻壁部分凈皮同時照射。
23、 根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，其中，在第二方向上僅執(zhí)行激光照射 器的一次掃描。
24、 根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中，激光照射器的寬度小于沿第一 方向排列在一行中的整個一行第一墻壁部分的寬度，所述方法包括在第二 方向上進行激光照射器的第 一次掃描以照射包含第 一墻壁部分和第二墻壁部 分的第一區(qū)域，然后在第二方向上進行第二次掃描以照射包含第一墻壁部分 和第二墻壁部分的第二區(qū)域。
25、 根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中，激光照射器用被引導向第一基 底或第二基底的激光束來照射第一墻壁部分或第二墻壁部分。
26、 根據(jù)權(quán)利要求25所述的方法，其中，激光照射器用被引導向第一基 底和第二基底的激光束來照射第一墻壁部分或第二墻壁部分。
全文摘要
本發(fā)明提供一種制造平板顯示裝置的方法。為了減小當玻璃密封材料經(jīng)激光被熔化以結(jié)合母玻璃時施加到母玻璃的應力變化，所述制造平板顯示裝置的方法包括在第一基底和第二基底之間設置多個發(fā)射單元，其中，第一基底面對第二基底，每一發(fā)射單元形成單元顯示裝置；在第一基底和第二基底之間設置多個墻壁，其中，每一墻壁分別圍繞一個發(fā)射單元；將激光束照射到墻壁上，其中，將激光束同時照射到沿第一方向排列成一行的多個第一墻壁部分；沿第二方向掃描激光束，以照射所述多個墻壁的其它墻壁部分，其中第二方向不同于第一方向；切割第一基底和第二基底以獲得各個顯示裝置。
文檔編號H01L21/50GK101645403SQ20091015169
公開日2010年2月10日 申請日期2009年7月22日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月7日
發(fā)明者盧喆來, 姜泰旭, 樸鎮(zhèn)翰, 李炫澈, 金亨植, 金俊亨, 金成坤, 金錘大, 韓圭完 申請人:三星移動顯示器株式會社